JPH0847838A - 処理装置に対する被処理体の投入装置 - Google Patents
処理装置に対する被処理体の投入装置Info
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- JPH0847838A JPH0847838A JP6202964A JP20296494A JPH0847838A JP H0847838 A JPH0847838 A JP H0847838A JP 6202964 A JP6202964 A JP 6202964A JP 20296494 A JP20296494 A JP 20296494A JP H0847838 A JPH0847838 A JP H0847838A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、処理装置、例えば研磨機の
研磨幅と異なる幅の被処理体例えば基板を研磨しても研
磨機に片べりを生ぜしめないようにするための基板投入
装置を得るにある。 【構成】 被処理体をピックアップし、処理装置に向か
う搬送ベルト上に個別に供給し、この際被処理体の幅が
処理装置の処理幅に略等しいときは上記被処理体を上記
ベルトの中央に供給し、幅が小さいとき上記被処理体
を、上記ベルトの一側、他側、中央の何れかにずらして
供給する処理装置に対する被処理体の投入装置。被処理
体のピックアップ手段を搬送ベルトの幅方向に移動する
シリンダーと、常時上記幅方向のセンターに位置せしめ
るためのセンター復帰用スプリングと、幅方向移動位置
を規制するストッパーとにより構成した搬送手段に対す
る被処理体の位置決め装置。
研磨幅と異なる幅の被処理体例えば基板を研磨しても研
磨機に片べりを生ぜしめないようにするための基板投入
装置を得るにある。 【構成】 被処理体をピックアップし、処理装置に向か
う搬送ベルト上に個別に供給し、この際被処理体の幅が
処理装置の処理幅に略等しいときは上記被処理体を上記
ベルトの中央に供給し、幅が小さいとき上記被処理体
を、上記ベルトの一側、他側、中央の何れかにずらして
供給する処理装置に対する被処理体の投入装置。被処理
体のピックアップ手段を搬送ベルトの幅方向に移動する
シリンダーと、常時上記幅方向のセンターに位置せしめ
るためのセンター復帰用スプリングと、幅方向移動位置
を規制するストッパーとにより構成した搬送手段に対す
る被処理体の位置決め装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は処理装置に対する被処理
体の投入装置、特にセラミック基体に金属板、例えば銅
板を被着して成る半導体基板等の被研磨体を表面研磨の
ため研磨機に投入するための装置に関するものである。
体の投入装置、特にセラミック基体に金属板、例えば銅
板を被着して成る半導体基板等の被研磨体を表面研磨の
ため研磨機に投入するための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】被処理体、例えば半導体基板等の被研磨
体（以下基板と称する）としては処理装置、例えば研磨
機の幅に合致する幅のものからこれより十分に小さい幅
のもの迄種々存在する。
体（以下基板と称する）としては処理装置、例えば研磨
機の幅に合致する幅のものからこれより十分に小さい幅
のもの迄種々存在する。
【０００３】従って、研磨機の研磨幅より小さい幅の基
板を続けて搬送手段の中央部に載置して搬送せしめた場
合には、研磨機の幅方向中央部のみが研磨に使用され、
両側部は使用されない状態が続くことになる。
板を続けて搬送手段の中央部に載置して搬送せしめた場
合には、研磨機の幅方向中央部のみが研磨に使用され、
両側部は使用されない状態が続くことになる。
【０００４】このため、その後上記基板より大きい幅の
ものを上記研磨機によって研磨した場合には研磨ムラを
生じ、また研磨機には片べりを生ずるおそれがあった。
ものを上記研磨機によって研磨した場合には研磨ムラを
生じ、また研磨機には片べりを生ずるおそれがあった。
【０００５】従って従来は、上記のような場合、基板の
搬送手段に対する基板の位置を人手によって順次に変え
て研磨ムラや研磨機の片べりを生じないようにしてい
る。
搬送手段に対する基板の位置を人手によって順次に変え
て研磨ムラや研磨機の片べりを生じないようにしてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来は、
人手によって基板の位置を変えていたため面倒であると
共に、実効を伴わないことが多かった。
人手によって基板の位置を変えていたため面倒であると
共に、実効を伴わないことが多かった。
【０００７】このためリニアモーターやストップシリン
ダーを用いて基板の位置を順次変えるようにすることが
考えられているが、何れも大型で重く、コスト高となる
欠点があった。
ダーを用いて基板の位置を順次変えるようにすることが
考えられているが、何れも大型で重く、コスト高となる
欠点があった。
【０００８】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。
である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の処理装置に対す
る被処理体の投入装置は、被処理体のピックアップ手段
と、ピックアップされた上記被処理体を処理装置に送る
ための搬送手段と、この搬送手段に対する上記被処理体
の供給位置を制御する手段とより成り、上記制御手段が
上記被処理体の供給位置を上記搬送手段の幅方向の一
側、他側、中央の何れかに変え得ることを特徴とする。
る被処理体の投入装置は、被処理体のピックアップ手段
と、ピックアップされた上記被処理体を処理装置に送る
ための搬送手段と、この搬送手段に対する上記被処理体
の供給位置を制御する手段とより成り、上記制御手段が
上記被処理体の供給位置を上記搬送手段の幅方向の一
側、他側、中央の何れかに変え得ることを特徴とする。
【００１０】本発明の搬送手段に対する被処理体の位置
決め装置は、被処理体のピックアップ手段を搬送手段の
幅方向に移動せしめる幅方向移動シリンダーと、この幅
方向移動シリンダーを、その非付勢時常時上記幅方向の
センターに位置せしめるためのセンター復帰用スプリン
グと、上記幅方向の一側及び他側の移動位置を規制する
ストッパーと、このストッパーの位置を調節する調節手
段とより成ることを特徴とする。
決め装置は、被処理体のピックアップ手段を搬送手段の
幅方向に移動せしめる幅方向移動シリンダーと、この幅
方向移動シリンダーを、その非付勢時常時上記幅方向の
センターに位置せしめるためのセンター復帰用スプリン
グと、上記幅方向の一側及び他側の移動位置を規制する
ストッパーと、このストッパーの位置を調節する調節手
段とより成ることを特徴とする。
【００１１】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１２】図１及び図２は基板処理装置を示し、１は
ターンテーブル、２はこのターンテーブル１の外周に互
いに離間して配置した基板収納カセット、３は基板、４
は研磨機、５は上記基板３を上記研磨機４に個々に送る
ための搬送ベルト、６は上記カセット２内の基板３を上
記搬送ベルト５上に供給するための本発明の基板投入装
置である。
ターンテーブル、２はこのターンテーブル１の外周に互
いに離間して配置した基板収納カセット、３は基板、４
は研磨機、５は上記基板３を上記研磨機４に個々に送る
ための搬送ベルト、６は上記カセット２内の基板３を上
記搬送ベルト５上に供給するための本発明の基板投入装
置である。
【００１３】本発明の基板投入装置６は、図３〜図５に
示すように取り出し位置とした上記カセット２の上方に
位置している、基板３を真空吸着する真空吸着パット７
と、この真空吸着パット７を上下動せしめる上下動シリ
ンダー８と、この上下動シリンダー８を上記搬送ベルト
５の幅方向に移動せしめる幅方向移動手段９と、この幅
方向移動手段９を、リニアガイド１０に沿って上記カセ
ット２上の位置と搬送ベルト５上の位置間で往復動せし
める長さ方向移動シリンダー１１とにより構成する。
示すように取り出し位置とした上記カセット２の上方に
位置している、基板３を真空吸着する真空吸着パット７
と、この真空吸着パット７を上下動せしめる上下動シリ
ンダー８と、この上下動シリンダー８を上記搬送ベルト
５の幅方向に移動せしめる幅方向移動手段９と、この幅
方向移動手段９を、リニアガイド１０に沿って上記カセ
ット２上の位置と搬送ベルト５上の位置間で往復動せし
める長さ方向移動シリンダー１１とにより構成する。
【００１４】また、上記幅方向移動手段９は、上記上下
動シリンダー８を保持、移動する移動プレート１２と、
この移動プレート１２をリニアガイド１３に沿って搬送
ベルト５の幅方向に移動せしめる幅方向移動シリンダー
１４と、この幅方向移動シリンダー１４の両端を保持固
定するシリンダー取付け金具１５ａ，１５ｂと、シリン
ダー取付け金具１５ａと上記移動プレート１２間及びシ
リンダー取付け金具１５ｂと上記移動プレート１２間に
夫々介挿したセンター復帰用スプリング１６ａ，１６ｂ
と、上記移動プレート１２の上記幅方向の一側及び他側
の移動位置を規制するストッパー１７ａ，１７ｂと、こ
れらストッパー１７ａ，１７ｂの位置調節用つまみ１８
ａ，１８ｂと、これらつまみ１８ａ，１８ｂのための目
盛板１９ａ，１９ｂとにより構成する。
動シリンダー８を保持、移動する移動プレート１２と、
この移動プレート１２をリニアガイド１３に沿って搬送
ベルト５の幅方向に移動せしめる幅方向移動シリンダー
１４と、この幅方向移動シリンダー１４の両端を保持固
定するシリンダー取付け金具１５ａ，１５ｂと、シリン
ダー取付け金具１５ａと上記移動プレート１２間及びシ
リンダー取付け金具１５ｂと上記移動プレート１２間に
夫々介挿したセンター復帰用スプリング１６ａ，１６ｂ
と、上記移動プレート１２の上記幅方向の一側及び他側
の移動位置を規制するストッパー１７ａ，１７ｂと、こ
れらストッパー１７ａ，１７ｂの位置調節用つまみ１８
ａ，１８ｂと、これらつまみ１８ａ，１８ｂのための目
盛板１９ａ，１９ｂとにより構成する。
【００１５】本発明の基板投入装置６は上記のような構
成であるから、ターンテーブル１を回動して所望のカセ
ット２を取り出し位置に設定し、上下動シリンダー８に
よって真空吸着パット７を下降して上記カセット２内の
基板３を真空吸着せしめた後上昇せしめ、次いでこの真
空パット７の上下動シリンダー８を基板３と共に長さ方
向移動シリンダー１１によって搬送ベルト５上に移動せ
しめ、この移動の前，後またはその中間において上記幅
方向移動シリンダー１４によって幅方向の任意の位置に
移動せしめる。
成であるから、ターンテーブル１を回動して所望のカセ
ット２を取り出し位置に設定し、上下動シリンダー８に
よって真空吸着パット７を下降して上記カセット２内の
基板３を真空吸着せしめた後上昇せしめ、次いでこの真
空パット７の上下動シリンダー８を基板３と共に長さ方
向移動シリンダー１１によって搬送ベルト５上に移動せ
しめ、この移動の前，後またはその中間において上記幅
方向移動シリンダー１４によって幅方向の任意の位置に
移動せしめる。
【００１６】例えば、基板３の幅が研磨機４の研磨幅に
略等しい場合には上記真空吸着パット７の位置は搬送ベ
ルト５の幅方向の中心とし、基板３の幅がこれより小さ
い場合には、最初の基板３は例えば幅方向の一側にずら
し、２枚目の基板３は幅方向の他側にずらし、３枚目の
基板３は幅方向の中心とし、以下このような操作を順次
繰り返すようにする。
略等しい場合には上記真空吸着パット７の位置は搬送ベ
ルト５の幅方向の中心とし、基板３の幅がこれより小さ
い場合には、最初の基板３は例えば幅方向の一側にずら
し、２枚目の基板３は幅方向の他側にずらし、３枚目の
基板３は幅方向の中心とし、以下このような操作を順次
繰り返すようにする。
【００１７】上記各操作は図１及び図２に示す操作盤２
０を操作して行なう。
０を操作して行なう。
【００１８】この場合、基板３を幅方向の一側または他
側にずらす操作及び程度は、つまみ１８ａ，１８ｂ、目
盛板１９ａ，１９ｂ及びストッパー１７ａ，１７ｂ及び
リニアガイド１３によって正確に且つ微細に調節するこ
とができる。
側にずらす操作及び程度は、つまみ１８ａ，１８ｂ、目
盛板１９ａ，１９ｂ及びストッパー１７ａ，１７ｂ及び
リニアガイド１３によって正確に且つ微細に調節するこ
とができる。
【００１９】カセット２内に基板３が無い状態では真空
吸着パット７は非吸着状態を一定時間以上継続すること
になるが、この状態は真空スイッチ等で検知できるか
ら、この場合にはターンテーブル１を回動し次のカセッ
ト２を取り出し位置にセットせしめる。
吸着パット７は非吸着状態を一定時間以上継続すること
になるが、この状態は真空スイッチ等で検知できるか
ら、この場合にはターンテーブル１を回動し次のカセッ
ト２を取り出し位置にセットせしめる。
【００２０】上記幅方向移動手段９によれば、極めて簡
単な構成によって常時移動プレート１２を搬送ベルト５
の幅方向中心に位置し、必要に応じて幅方向一側または
他側に移動できるようになる。
単な構成によって常時移動プレート１２を搬送ベルト５
の幅方向中心に位置し、必要に応じて幅方向一側または
他側に移動できるようになる。
【００２１】本発明の他の実施例においては上記搬送ベ
ルト５の上部に搬送ベルト５上の基板３の後縁を検知す
るセンサー（図示せず）を設け、このセンサーが基板３
の後縁を検知した時点で、この基板３の次に搬送すべき
基板３をその前縁が上記基板３の後縁に重ならないが接
近した位置関係で上記搬送ベルト５上に載置されるよう
上記基板投入装置６を制御せしめる。
ルト５の上部に搬送ベルト５上の基板３の後縁を検知す
るセンサー（図示せず）を設け、このセンサーが基板３
の後縁を検知した時点で、この基板３の次に搬送すべき
基板３をその前縁が上記基板３の後縁に重ならないが接
近した位置関係で上記搬送ベルト５上に載置されるよう
上記基板投入装置６を制御せしめる。
【００２２】
【発明の効果】上記のように本発明の第１の実施例によ
れば、極めて簡単な構成により基板３の幅が研磨機４の
研磨幅より十分小さい場合でも研磨機４の片べりを防ぐ
ことができるようになる。また、搬送ベルト５に対する
基板３の位置決めを容易になし得るようになる。
れば、極めて簡単な構成により基板３の幅が研磨機４の
研磨幅より十分小さい場合でも研磨機４の片べりを防ぐ
ことができるようになる。また、搬送ベルト５に対する
基板３の位置決めを容易になし得るようになる。
【００２３】また、上記第２の実施例によれば短時間に
多数の基板を研磨機内に送り込むことができるようにな
る大きな利益がある。
多数の基板を研磨機内に送り込むことができるようにな
る大きな利益がある。
【図１】本発明の基板投入装置の正面図である。
【図２】本発明の基板投入装置の平面図である。
【図３】本発明の基板投入装置における幅方向移動手段
の要部の正面図である。
の要部の正面図である。
【図４】同じく幅方向移動手段の要部の平面図である。
【図５】同じく幅方向移動手段の要部の側面図である。
１ ターンテーブル ２ 基板収納カセット ３ 基板 ４ 研磨機 ５ 搬送ベルト ６ 基板投入装置 ７ 真空吸着パット ８ 上下動シリンダー ９ 幅方向移動手段 １０ リニアガイド １１ 長さ方向移動シリンダー １２ 移動プレート １３ リニアガイド １４ 幅方向移動シリンダー １５ａ 取付け金具 １５ｂ 取付け金具 １６ａ スプリング １６ｂ スプリング １７ａ ストッパー １７ｂ ストッパー １８ａ つまみ １８ｂ つまみ １９ａ 目盛板 １９ｂ 目盛板 ２０ 操作盤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 敏和 東京都千代田区丸の内一丁目８番２号 同 和鉱業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 被処理体のピックアップ手段と、ピック
アップされた上記被処理体を処理装置に送るための搬送
手段と、この搬送手段に対する上記被処理体の供給位置
を制御する手段とより成り、上記制御手段が上記被処理
体の供給位置を上記搬送手段の幅方向の一側、他側、中
央の何れかに変え得ることを特徴とする処理装置に対す
る被処理体の投入装置。 - 【請求項２】 被処理体のピックアップ手段を搬送手段
の幅方向に移動せしめる幅方向移動シリンダーと、この
幅方向移動シリンダーを、その非付勢時常時上記幅方向
のセンターに位置せしめるためのセンター復帰用スプリ
ングと、上記幅方向の一側及び他側の移動位置を規制す
るストッパーと、このストッパーの位置を調節する調節
手段とより成ることを特徴とする搬送手段に対する被処
理体の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6202964A JPH0847838A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 処理装置に対する被処理体の投入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6202964A JPH0847838A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 処理装置に対する被処理体の投入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0847838A true JPH0847838A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16466085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6202964A Pending JPH0847838A (ja) | 1994-08-05 | 1994-08-05 | 処理装置に対する被処理体の投入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0847838A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102530549A (zh) * | 2012-02-03 | 2012-07-04 | 山东力诺瑞特新能源有限公司 | 一种太阳能水箱外桶印刷线自动上料定位装置 |
| CN103084946A (zh) * | 2011-10-31 | 2013-05-08 | 鸿准精密模具（昆山）有限公司 | 去毛刺机 |
| CN106739137A (zh) * | 2017-03-08 | 2017-05-31 | 扬州硕包新材料科技有限公司 | 一种全自动柔软线分段模切机及其工作方法 |
| CN107932249A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-04-20 | 武汉华星光电技术有限公司 | 面板研磨装置及研磨方法 |
| CN109605172A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-12 | 滁州市云米工业设计有限公司 | 一种用于航空装备零部件生产的循环式修平装置及其工作方法 |
-
1994
- 1994-08-05 JP JP6202964A patent/JPH0847838A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103084946A (zh) * | 2011-10-31 | 2013-05-08 | 鸿准精密模具（昆山）有限公司 | 去毛刺机 |
| CN102530549A (zh) * | 2012-02-03 | 2012-07-04 | 山东力诺瑞特新能源有限公司 | 一种太阳能水箱外桶印刷线自动上料定位装置 |
| CN106739137A (zh) * | 2017-03-08 | 2017-05-31 | 扬州硕包新材料科技有限公司 | 一种全自动柔软线分段模切机及其工作方法 |
| CN107932249A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-04-20 | 武汉华星光电技术有限公司 | 面板研磨装置及研磨方法 |
| CN109605172A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-12 | 滁州市云米工业设计有限公司 | 一种用于航空装备零部件生产的循环式修平装置及其工作方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040430 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040622 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040823 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041124 |