TW200535835A - Multilayer information recording medium and process for producing the same - Google Patents

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TW200535835A
TW200535835A TW094107952A TW94107952A TW200535835A TW 200535835 A TW200535835 A TW 200535835A TW 094107952 A TW094107952 A TW 094107952A TW 94107952 A TW94107952 A TW 94107952A TW 200535835 A TW200535835 A TW 200535835A
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Taiwan
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film
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TW094107952A
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Inventor
Morio Tomiyama
Keiji Nishikiori
Original Assignee
Matsushita Electric Ind Co Ltd
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Description

200535835 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於以再生或記錄再生兔 丹玍馮目的之資訊記錄媒 體及其製造方法。 【先前技術】 以往作為藉由貢訊材、影像音響機器等之各種資 訊處理裝置所處理之資訊記錄媒體,周知者為:壓縮光碟 仰)、數位多功能光碟(DVD)、藍光光碟⑽:Blue_ray d叫 一然而,近年來,藉由前述各種資訊處理裝置所處理之 資訊夏急速增加,為了虛审古 乃ί處理问谷1之貧訊,乃需要更高密 度化之資訊記錄媒體。 作為用以達成資訊記錄媒體的高密度化之手段,藉由 使記錄資訊之資訊層捭卢 曰;而夕層化,以使資訊層增加之多 層資訊記錄媒體,正蓬勃地開發著。 /、5•的夕層資汛記錄媒體之構成示如圖2。 圖 2所示之客思:欠j b貝讯記錄媒體,係由下述者所構成: 具有形成有資訊槽之筮]— 曰 <弟1貧訊基板301、形成於第丨資訊 基板3 0 1的資訊面上 之弟1溥膜層302、形成於第1薄膜 層3 02上之具有笫9次^ 貝机面之第2訊號層303、形成於第 2訊號層303之資吨 L面上之第2薄膜層304、設置於第2 薄膜層304上之用以目卜人 Λ貼合透明基板306之透明層305及透 明基板3 0 6。 5 200535835 此處,就以往之多層資訊記錄媒體之製程用圖3加以 說明。 首先,第1資訊基板3 01,係藉由使用在模穴中安裝 有金屬壓模(stamper)之射出成形用模具進行射出(壓縮)成 形而形成(未圖示)。 第1資訊基板3 0 1,通常為由透明樹脂所構成之厚 1.1mm的程度之圓盤形狀的基板,在其一面上形成有藉由 金屬壓模所轉印的資訊面。 於前述製程中得到之第1資訊基板3〇1係藉由真空等 固定於旋轉台403上(圖3A)。 然後’於第1資訊基板3 01的資訊面上形成第i薄膜 層302(圖3B)。薄膜層,通常係藉由濺鍍或蒸鍍而形成。 第1溥膜層302為含有記錄膜及/或反射膜之薄膜層。 然後,於第1薄膜層302上,以紫外線硬化性樹脂4〇4 進行延伸塗佈(圖3C)。前述延伸塗佈可用旋塗法。 接著,藉由自延伸塗佈之紫外線硬化性樹脂4〇4之上 方以紫外線照射機405進行紫外線照射,使紫外線硬化性 樹脂404硬化(圖3D)。 另一方面,將壓模406固定於另一旋轉台4〇7上(圖 3E)。 。 然後,於壓模406上,藉由旋塗法以光硬化性樹脂4〇8 進行延伸塗佈(圖3F)。 接著’藉由自延伸塗佈之光硬化性樹脂408之上方以 紫外線照射機409進行紫外線照射,使光硬化性樹脂4〇8 6 ^200535835 硬化,形成具有第2資訊面之第2訊號層3〇3(圖3G)。 然後’於紫外線硬化性樹脂404上以光硬化性樹脂41 2 進行延伸塗佈,在其上貼合第2訊號層3〇3(圖3H)。 接著,自壓模406的上方以紫外線照射,使光硬化性 樹脂412硬化,將光硬化性樹脂4〇4與第2訊號層3〇3貼 合(圖31)。 接著,將壓模406剝離(圖3J)。此處,由於壓模406 必須八在與第2訊號層303的界面剝離,故材料須選擇使 •光硬化性樹脂412與第2訊號層303的界面之黏著力較壓 模406與第2訊號層303的界面之黏著力高者。 然後,在剝離後露出之第2訊號層3〇3之第2資訊面 上形成第2薄膜層304(圖3K),再於其上以光硬化性樹脂 4 1 3進订延伸塗佈(圖3L),貼合上作為最外層之透明基板 306,藉由使光硬化性樹脂413以紫外線硬化形成多層資 訊記錄媒體(圖3M)。 然而,於如前述製程般使液狀之光硬化性樹脂藉由旋 籲塗法進行延伸塗佈,使其硬化形成各層的場合,欲均一地 控制膜厚是困難的,原因在於圓周方向的細微的膜厚變 動、與半徑方向的大的膜厚變動。於資訊層為複數層積層 的場合,各層的膜厚變動相加而使得全體之膜厚變動變 大如此之膜厚虻動,於訊號記錄與再生時,對於光點之 會聚變動與對訊號面上之光點之聚焦控制、以及使光點追 隨訊號列之循跡控制會產生不良影響。 作為解決前述課題之手段,乃有使用光硬化性樹脂膜 7 -200535835 以代替光硬化性樹脂之延伸塗佈的方法之開發。 作為前述光硬化性樹脂膜,可用含有主要以丙烯酸共 聚物所構成的感塵接著劑(PSA)、光硬化性樹脂和光起始 劑混合所成之黏著劑。如此之光硬化性樹脂膜,於硬化前 為南黏著性,而硬化後黏著性即消失,可顯著地提高與金 屬材料之剝離性。又,光硬化性樹脂膜,與光硬化性樹脂 之延伸塗佈相比,其形成的層之厚度的精度格外地高。 作為用光硬化性樹脂膜製造多層資訊記錄媒體的方 法’例如,於專利文獻!中所揭示之技術為:形成中心有 中心孔=大致圓盤形狀之媒體基板,在其凹凸形狀形成面 成弟1光學記錄層,在其上層形成由感光性樹腊膜所 之中間層,將一面上具有凹凸形狀的麼模貼合到前述 間層上並使其光硬化,然後只將壓模剝離,在中間層的 表面轉印上凹凸形狀。 你田作為前述所揭示之技術中之壓模,其第1實施形態係 使用由鎳等金屬所構成的壓模(段落0045)。 人如前述般於藉由金屬屡模形成凹凸形狀之場合,由於 的㈣性良好’故可容易地自樹脂膜硬化後形 成之中間層將壓模剝離。 而/方、用金屬壓模之場合,壓模本身無法讓光穿透。 ^自貼合塵权的面之相反面(亦即有透光性之媒體 二反則)進仃光之照射以施行硬化。此場合,於貼合著壓模 的尸:相反面側已形成有作為資訊層之記錄膜及/或反射膜 劳口’自媒體基板側無法使光充分地透過,故無法使樹 8 -200535835 脂膜硬化。 因而,於此種場合,只能預先另外製作資訊層,延伸 塗佈光硬化性樹脂再加以貼合。 此場合,製程變得繁複,且膜厚會不均,是其缺點。 又,於專利文獻1中,作為第2實施形態係使用由無 定形聚烯烴所構成之樹脂壓模(段落(〇〇52)〜(〇〇55))。 於用前述樹脂製之壓模的場合,可藉由透過壓模以紫 外線知、射使柄月曰膜硬化,形成新的資訊層。 然而,樹脂壓模與樹脂膜之剝離性差。因此,於使樹 脂膜硬化後將壓模剝離之時,由於媒體基板會承受必要以 上的力,故有發生翹曲或變形、或於原本不須剝離之其他 層的界面亦發生剝離的情形之顧慮。因此,得到之多層資 訊έ己錄媒體會有發生讀取與記錄錯誤的顧慮。 再者,於專利文獻丨中,作為第3實施形態係揭示下 述之技術(段落(0〇57)〜(〇〇58》。 首先,將表面有光學記錄層之樹脂製壓模壓接於樹脂 膜上,將凹凸圖案轉印到樹脂膜表面而形成中間層。然後, 在前述樹脂製壓模壓合於中間層之狀態下,以紫外線照射 使其穿越樹脂製壓模與形成於其表面之光學記錄層而使中 間層硬化'錢’藉由使樹脂製壓模與前述光學記錄層之 界面剝離’在中間層的表面轉印上凹凸圖案並形成光學記 錄層。 而方、用°玄轉印形成方法形成新的資訊層之場合, 前述光學記錄層必須比較厚(例如’ 8〇nm以上)方能使光學 9 ^200535835 記錄層自樹脂製壓模正確地剝離。 一亦17例如,於對較薄的膜(例如未滿80nm者)所形成 ::先學1己錄層轉印到凹凸形狀的表面之場合,薄膜會破 〆1膜白勺部份會殘留於樹脂製壓模的表面,欲達成 正確的薄膜層之形成有其困難。 ^ : 方面,於前述光學記錄層較厚的場合,紫外線會 叉伃不易透過’欲透過壓模而硬化有困難。又,前述方法 —、光子σ己錄層本身係由反射膜、A電體膜、記錄膜等 複數層構&所構成的場合,於前述各層間之密合力弱的 场合’會無法轉印全部的層,並有於光學記錄層的層内發 生剥離之顧慮。再者,於先成形出尺寸精度高的樹脂製塵 核,再用。玄树脂製壓模進行複數片轉印的場合,對前述樹 脂製壓模本身必須進行相應於所轉印的片數之㈣等的薄 膜,理,因此,樹脂製壓模本身之尺寸精度會因為熱經歷 而又差,故名人知到尺寸精度高的多層資訊記錄媒體會有困 難。 [專利文獻1]曰本專利特開2003-228891號公報 【發明内容】 本發明者等,為解決前述課題,發現:於多層資訊記 錄媒體之製造中,藉由用轉印面的表面以金屬薄膜被覆之 透光性樹脂壓模在光硬化性樹脂片上轉印形成資訊面,可 谷易地製得尺寸精度高的多層資訊記錄媒體。 亦即’本發明係關於一種多層資訊記錄媒體之製造方 10 200535835 法,其特徵在於,包含下述製程··第1製程,於具有第1 資訊面的基板之資訊面上以第1薄膜層被覆;第2製程, 於該第1薄膜層上載置光硬化性樹脂膜,於該樹脂膜上載 置透光性樹脂壓模並進行緊壓;第3製程,使光穿透該透 光性樹脂壓模而使該光硬化性樹脂膜硬化;第4製程,將 該透光性樹脂壓模自該硬化之光硬化性樹脂膜剝離,形成 第2貧訊面,以及第5製程,·將以該第4製程所形成的第 2貧訊面上以第2薄膜層被覆來形成資訊層;且該透光性 樹脂壓模具有用以形成第2資訊面的轉印面,於該轉印面 上形成有金屬薄膜。
依據本發明之製造方法,即使在光硬化性樹脂膜上以 透光性樹脂壓模進行緊壓(用以形成資訊面)後,再使光硬 化性树脂膜硬化的場合,亦可自透光性樹脂壓模側以紫外 f照射使其硬化。因而,於製造由複數的資訊層所形成的 夕層貝,Κ έ己錄媒體的場合,不須有將另外形成的資訊層進 仃貼合之製程,可自同一面側連續地依序積層新的資訊 層,故製程可簡化,製造成本可降低。 又’由於在透光性樹脂壓 自硬化之光硬化性樹脂膜容易 因此’其他的層不會發生剝離 層資訊記錄媒體。 模表面形成有薄膜層,故可 地將透光性樹脂壓模剝離。 ,而可得到尺寸精度高的多 再者,由於可藉由樹脂之射出(壓縮)成形得到壓模, 於複製複數壓模之場合,能以較低成本製造。 、 又,藉由在已形成之薄膜層上再反覆進行複數次之前 200535835 述第2〜第5之製程, 半』、、卜& 了更進一步形成祓數的資訊層。 因此,藉由前述掣袢古、土 . 乂 k方法可提供·於讀取或記錄用 的雷射光等通過各杳却陆士 、σ孔層日守的光路長之變動小,因像差造 成之光點會聚變動彳黑5,1 1 ^ ^ ^ 、〗抑制,♦焦控制、循跡控制得以安 定化之多層資訊記錄媒體。 【實施方式】 (實施形態1) 乂下就本务明之具體的實施形態加以說明。 圖1表不作為本發明之多層f訊記錄媒體的一例之具 有4層貢訊層的多層資訊記錄媒體之構造。 雨述多層資訊記錄媒體係由:具有第丨f訊面的基板 1〇1(以了’亦稱第1資訊基板1〇υ、形成於第1資訊基板 1 0 1之貧訊面上之H 1 ^ js 1 no 卜卜 弟1潯朕層102、弟2訊號層103、形成 於第2訊號層103的資訊面上之第2薄膜層⑽、第3訊 號層10=形成於f 3訊號層⑽的資訊面上之第3薄膜 層1〇6 :第4訊號層107、形成於第4訊號層107的資訊 面上之第4薄膜層1〇8、及形成於第4薄膜層1〇8上之透 明層109所構成。 第1貝Λ基板1 〇〗具有形成有凹坑或導槽之資訊面。 又,第2矾號層103、第3訊號層1〇5及第4訊號層⑺7, 係藉由後述的方法,用光硬化性樹脂膜所形成。 以下,作為本發明之多層資訊記錄媒體之製造方法之 例以製&具有4層的資訊層之多層資訊記錄媒體的場 12 -200535835 合作說明。 本發明之多層資訊記錄媒體之製造方法,含有:第工 製程,於具有第1資訊面的基板之資訊面上形成第1薄膜 層;第2製程,於該第丨薄膜層上載置光硬化性樹脂膜, 於該樹脂膜上載置透光性樹脂壓模,並進行緊壓;第3製 程,藉由使光穿透該透光性樹脂壓模使該光硬化性樹脂膜 硬化,第4製程,將該透光性樹脂壓模自光硬化性樹脂膜 剝離,形成第2資訊面;第5製程,於藉由該第4製程所 形成的第2資訊面上以第2薄膜層被覆以形成資訊層。 圖5表示前述製程之示意圖。 本發明中之第i製程為在第i資訊基板之資訊面上形 成第1薄膜層之製程。 圖5中’基板101為於至少一面具有資訊層之透明樹 脂基板。
作為第!資訊基板HH之材料,可用作為光碟之透明 基板之以往所用的材料,具體而t,可列舉例如··聚碳酸 I系樹脂材料、(甲基)丙烯酸系樹脂、聚烯烴系樹脂等, 就透光性的觀點考4,以聚碳冑醋系樹脂材料為佳。 —第1資訊基板ιοί係用使金屬壓模安裝於模穴之模具, 藉由射出(慶縮)成形等所形成(未圖示)。 、 又’作為第1資訊 體而言,可列舉例如: 的有中心孔之圓盤形狀 形狀等。 基板〗01的形狀並無特別限制,具 CD、_、BD等之製造時所採用 ’或記憶卡之製造時所採用的卡片 13 -200535835 又,第1資訊基板之厚度並無特別限定,於前述圓盤 形狀的場合,就與CD、DVD、BD等之互換性考量,厚度 以1.0〜1.1mm的程度為佳。 斤Ί 1製程中,於第1資訊基板101的資訊面上形成 第1薄膜層1〇2(參照圖5A)。 乐1薄膜層102為含有記錄膜與反射膜之薄膜層,可 藉由滅鍍或蒸鍍等方法形成。 作為第1薄膜層102的構成之具體例可舉出下述者: 於製造作#多層資訊記錄媒體之R〇M(Read only mem〇ry)之場合,係形成對再生之雷射光有反射性之薄膜, J A1 Ag、心、Sl°2等之金屬薄膜或半導體薄膜、介 電體薄膜。 < ' η 方面,於製造作為多層資訊記錄媒體之—次寫入 ^ 記㈣體的場合’係形成如圖4所示之相變化 i σ己錄月莫。 Α1所圖禮I* ’係在弟1資訊層501之資訊面5〇2上形成由 所構成之反射膜503、由m 社 5Q4、 SeSl〇2所構成之介電體膜 b Te等所構成之相變化型之記錄膜505及 ZnS_S】〇2所構成之介電體膜506。 反射膜503,為了可於邻骑〜垃士 ^ + 〇 於Λ號兄錄時對發生的熱適度地 放熱來最適地形成靖標記,而形^最適的厚度。 尸八又,於前述多層資訊記錄媒體為w〇(wnte省e)型之 每σ,可形成色素膜等作為記錄膜。 本發明中之第2製程, 马在弟1溥膜層上載置光硬化 14 -200535835 陡树知膜,於其上載置透光性樹脂壓模,並進行緊慶之製 程。 於第2製程中,可用之方法為··在前述薄膜層上載置 鈾述光硬化性树$曰膜,進行緊壓使其貼合於前述薄膜層上 之後,再於其上載置前述透光性樹脂壓模之後,對前述透 光性樹脂壓模進行緊壓之方法(以下,稱為第2製程A); 或在前述薄膜層上載置前述光硬化性樹脂膜與前述透光性 樹脂壓模之後,對前述透光性樹脂壓模進行緊壓之方法(以 鲁下,稱為第2製程B)。 又,作為其他的方法,亦可用··將前述光硬化性樹脂 膜上I緊壓W述壓模而轉印形成有轉印面者載置於前述薄 膜層上,再進行緊壓的方法等。 於本實施形態2中,茲以第2製程A作為代表例作說 明。 使光硬化性樹脂薄膜604載置於第1薄膜層1〇2上, 日保σ蔓片606上用報605對光硬化性樹脂薄膜進行緊 壓’使其貼合(參照圖5 Β)。 然後,將保護片606剝離,載置透光性樹脂壓模61〇, 自透光性樹脂壓模610之上用輥605進行緊壓(參照圖 5D) 〇 然後,對透光性樹脂壓模610以光照射,使光穿透, 使光硬化性樹脂膜硬化(參照圖5Ε)。 又,作為第2製程Β,可採用··將光硬化性樹脂薄膜 載置方、第1溥膜層102上後,於需要時將保護片6〇6 15 200535835 剝離,載置透光性樹脂壓模61G,自透光性樹脂壓模6i〇 之t用輕’進行緊壓,然後,對透光性樹脂壓模610以 光照射使光穿透而使光硬化性樹脂膜硬化的方法。 第2製程B,就簡化製程而言係較佳者。 所前述光硬化性樹脂膜,係具有藉由光之照射而硬化的 性質之樹脂膜,可舉出例如··藉由紫外線而硬化之紫外線
硬化H树脂膜等。具體而言,可列舉例如:犯(杜 =公>司製)、紫外線硬化性之uv膠帶(例如,古河電工(股) 衣)等之由來烯烴系等之基材與光硬化性之丙烯酸系黏著劑 等所構成之紫外線硬化性樹脂膜等。 光硬化性樹脂膜之厚度以5〜25 # m為佳。於該膜厚未 滿5 // m的場合,會因為壓模所施予之緊壓力或緊壓所用 的輥的熱而有破壞光硬化性樹脂膜的顧慮,於超過25#m 的場合,由於光硬化所致之硬化收縮變大,故得到之多層 資訊記錄媒體之平坦性的調整會有困難,又,於厚度方向 幵乂成複數層的資訊層之場合,多層資訊記錄媒體會有過厚 的傾向。 作為一例,可使光硬化性樹脂薄膜604以下述方法貼 合0 光硬化性樹脂薄膜604,可在兩面的表面以保護片606 保‘的狀悲(用以保護其免於受到來自外部的衝擊或粉塵等 附著)來取得。保護片6〇6,可由厚度為m的程度之 聚乙稀或聚對苯二曱酸乙二醇酯之樹脂膜形成。 光硬化性樹脂薄膜604,於載置到第1薄膜層1 〇2上 16 200535835 之w,才將要載置的面之保護片6〇6剝離去除,再於第^ 薄膜層402上載置光硬化性樹脂薄膜604(未圖示)。' 接者,在未剝離除去的面之保護片6〇6上移動輥6的 而將光硬化性樹脂薄膜_貼合到第i薄膜層術上(袁昭 圖5B)。 〆 於光硬化性樹脂薄膜604貼合至第i薄膜層4〇2之後, 將保護片606剝離除去(參照圖5C)。 然後,於光硬化性樹脂薄膜604 <上貼合透光性樹脂 壓模61〇(參照圖5D)e此時,透光性樹脂麼模㈣,係以 使資訊面與光硬化性樹脂賴_相向的方式載置,於透 光性樹脂麗模61〇上以親605邊緊塵邊移動而貼合(參照圖 於此,再就本發明中之透光性樹脂麼模作說明。 本發明中之透光性樹脂壓模,可藉由在壓模(於至少】 面有轉印面之由透光性樹脂所構成者)之轉印面上形成金屬
:膜而得到。X,該轉印面’係用以在光硬化性樹脂膜上 ^印形成凹坑與導槽等資訊槽的面。 前述透光性樹脂麗模,由於在其轉印面形成有金屬薄 胰’故與硬化後之光硬化性樹脂膜的剝離性優異。因而, 可容易地只在透光性樹㈣模與光硬化性樹脂膜的界面剝 不會使其他的面剝離,故可得到尺寸精度優異之多層 為訊記錄媒體。 又’㈣前述透光性樹脂塵模形成新的資訊面之場合, 不須有將另外形成的資訊面以光硬化性樹月旨等進行貼合之 17 -200535835 製程,可於已形成的資訊層上以連續之製程依序積層形成 新的資訊層,故製程可簡化。 由W述透光性樹脂所構成之壓模,可用金屬壓模安裝 於杈穴之模具,使透明樹脂射出(壓縮)成形而形成。 作為透明樹脂,可選擇聚碳酸酯系樹脂、或(曱基)丙 性)優異之材料。 由則述透光性樹脂所構成之壓模的厚度並無特別限 定,=體而言,就可使光(尤其是紫外線)充分地穿透的觀 點考里,以〇·3〜ι·ιmm的程度為佳。 、尺就方;别述透光性樹脂壓模所構成之壓模的轉印 面上形成金屬薄膜作說明。 金屬薄膜係用以自光硬化性樹脂膜之硬化物容易 離壓模而形成者。
、則述孟屬薄朕可藉由在前述轉印面上以金屬材料進 錢錢或蒸鑛來形成。 作為刚述金屬材料,可舉出與光硬化性樹脂薄膜的* 士匕物之剝離性良好的金屬材#,具體而言,可舉出例 :以銀(Ag)、鋁(A1)、金(An)、鎳(Ni)、銅(Cu)等為主成 托之金屬材料。 取 柃方、刖述金屬材料之中,丨以以銀(Ag)或鋁(A1)為主成 、,屬材枓,就前述剝離性之觀點考量為較佳者。 又’形成於透光性樹脂壓模61〇上之金 者為所選擇之姑#々+ 1土 材枓或表面性可使光硬化性樹脂薄膜604之 18 -200535835 硬化物與透光性樹脂慶模61〇之密合力較第^薄膜層 與光硬化性樹脂薄膜604之硬化物之密合力小的材料。理 ^於’於光硬化性㈣薄膜_之硬化物與透光性樹脂 座拉㈣之密合力較第1薄膜層102與光硬化性樹脂薄膜 6〇4之硬化物之密合力大的場合,會於第!薄膜層⑽與 光硬化性樹脂薄膜6 〇 4的硬化物之辰而名丨私 化物之界面剝離致無法形成新 的貧訊面之故。 士透光性樹μ模,必須可使充分量的透光以使光硬化 =樹脂膜能硬化。具體而言,於前述光為紫外線的場合, 宜形成為穿透率為5〜8G%,而以形成為穿透率為〜贈。 為佳。於前述紫外線穿透率未滿5%的場合,欲使光硬化 性樹脂薄膜_有效地硬化會有困難,於超過8()%的場合, 由於硬化效率會顯著地降低’故非為符合實用之製造條 件。 作為形成於透光性樹脂壓模㈣上之薄膜層的厚度, 只要是麼模可使紫外線等的光穿透皆可,並無特別限定, 以5〜50nm為佳’尤以1〇〜2〇賊的程度為更佳。前述厚度 於未滿W的場合’與光硬化性樹脂膜的硬化物之剝離性 會有不充分的傾向,於超過50nm的場合,不僅光難以穿 透’且於與光硬化性樹脂膜的硬化物之剥離之時,會有形 成於透光性樹脂壓模之金屬薄膜附著到紫外線硬化性樹脂 膜上而轉印的顧慮,故非良好。 然後,就使用前述透光性樹脂塵模將其轉印面緊壓至 光硬化性樹脂膜以形成轉印的方法作說明。 19 -200535835 前述轉印之形成,係採用:於已貼合之光硬化性樹脂 膜604上載置透光性樹脂壓模610,對其表面以輥6㈦緊 壓之方法(參照圖5D)。 、 輥605的輥面以可進行溫度調整為佳。亦即,藉由幸曰 605對光硬化性樹脂薄膜604加熱,可使光硬化性樹脂薄 膜604軟化。此場合,由於可用比較低的緊壓力進行轉印 面之轉印,故紫外線樹脂薄膜604的厚度可保持為較均一, 其結果’得到之多層資訊記錄媒體之翹曲可較小。 籲 又,於輥面的溫度過高的場合,片材之尺寸會改變、 或因第1資訊基板1〇1之翹曲而造成多層資訊記錄媒體之 翹曲變大之傾向。又,於前述溫度過低的場合,由於無法 使光硬化性樹脂膜充分地軟化,故欲完全地轉印形成須較 高的緊壓力,致得到的多層資訊記錄媒體之翹曲有增大的 傾向。 其次,就本發明中之第3製程之藉由使光穿透透光性 樹脂壓模使光硬化性樹脂膜硬化的製程作說明。 籲 貼合有透光性樹脂壓模ό 1 0之光硬化性樹脂薄膜6〇4, 藉由使光穿透透光性樹脂壓模6 1 〇而硬化。 具體而言,係藉由對透光性樹脂壓模6 1 0以光照射機 6〇7照射’使光穿透透光性樹脂壓模61〇到達光硬化性樹 月曰薄膜604而使光硬化性樹脂薄膜604硬化(參照圖5Ε)。 其次’就本發明中之第4製程之自前述光硬化性樹脂 膜將4述透光性樹脂壓模剝離以形成第2資訊面的製程作 說明。 20 200535835 藉由將於前述第3製程中經硬化之也 硬化性樹脂膜604 上所存在的透光性樹脂壓模610剝離 雕I示去,可形成第2訊 號層103的表面(未圖示)。 前述剝離除去,可用將壓縮空氧岭 乳人入透光性樹脂壓模 6 1 0與光硬化性樹脂薄膜604之間的方法等。 其次,作為第5製程,係藉由對前述第2資訊面之第 2訊號層H)3的表面以第2薄膜層被覆形成第2薄膜層ι〇4 而可形成第2資訊層(參照圖5F)。 、又,第2薄膜層104之形成可與第i薄膜層之形 成同樣地施行。 之薄膜層上,更 5製程之相同的 圖 5G) 〇 於本貫施形態中,在第2製程中形成 進一步反覆施行2次之前述第2製程至第 衣私’於厚度方向形成4層的資訊層(參照 么於用本發明之多層資訊記錄媒體之製造方法的場合, 如前述般在已形成的資訊層上每次反覆施行第2至第5製
程可容易地形成新的資訊層。 而且,於如前述般形成的複數之資訊層中,藉由在其 取外層之資訊層上形成透明層,可得到多層資訊記 體。 於本實施形態中,於第丨資訊基板1〇1上所形成之斗 層資訊層中之最外層之第4薄膜層1〇8上形成透明層1〇9, 可得到有4層的資訊層之多層資訊記錄媒體(參照圖5h)。 透明層1 09為對於記錄再生光有高穿透性的層,為用 以保護各資訊層並使讀取的光穿透的層。 21 200535835 透明層109可藉由使液狀的光硬化性樹脂藉由旋塗法 進行延伸塗佈,再藉由使其光硬化而形成。 士作為前述光硬化性樹脂,可用透明性的紫外線硬化性 树月日具版而a ,可用由(甲基)丙烯酸樹脂作為主成份之 液狀的紫外線硬化性樹脂等。 光硬化性樹脂之硬化,可藉由在第4薄膜層1〇8上用 分配器,於所要的半徑上滴下成同心圓狀後,藉由旋塗法 延伸塗佈,並照射紫外線等的光而硬化。 •透明層109之厚度,以3。〜6一的程度為佳。 透月層109 ’較佳者為,如圖5H所示般將於透明層 與具有前述第1資訊面的基板之間所形成的資訊層包住而 形成。理由在於,藉由如此般地形成透明層丨,可將全 部的層藉由透明層109密封,可防止各層間的剝離之故。 圖6中所示者為,例如,於多層資訊記錄媒體的形狀 為在中心部設置有用以保持多層資訊記錄媒體的中心孔之 CD、DVD及BD中所採用的圓盤形狀(以下亦成為碟片形 狀)之場合中之前述透明層的形成狀態之一例。 圖6中,於第1資訊基板6〇1的中心孔6⑻的外圍起 至第1資訊基板601的邊緣部為止以光硬化性樹脂塗佈, 藉由以將全部的資訊層602包圍的方式進行貼合,將由光 硬化性樹脂膜等所形成之資訊層602封閉,可防止各層的 剝離。尤其於第1資訊基板601為聚碳酸醋系樹脂的場|, 由於與光硬化性樹脂之接合性高,故為較佳。 又,為了將全部的資訊層包住,較佳者為,例如,使 22 200535835 :成各資訊層之光硬化性樹脂膜的外 -貝讯面的基板之外緣及透明層的外緣小。 1乂,、有弟』 再者,較佳者為’如圖6所示般,具 i 基板為有中心孔的圓盤形狀,i,於寸; 貝訊面的 為”心孔的圓盤形狀之場合中,前述光硬化: 内徑係形成為較前述具有第丨資 、、 在進行延伸塗料m 的基板的内徑大,並 使則述光硬化性樹脂塗佈至較 硬化性樹脂膜的中心孔更内側先 板上。 引(有第1貧訊面的基 猎由如前述般形成光硬化性樹脂膜,即使於第… 面上之周緣部亦可塗佈上光硬化性樹月旨,由於光硬 脂膜受到包住,故可儘量避免光硬化性樹脂膜自多 層貝訊^己錄媒體的周緣部滲出。 又方、第1貧訊基板的外緣(稱為外徑)與光硬化性樹 脂膜的外緣t間所形成之尺寸差為0·5〜lmm的程度,理由
可使貝Λ面確保為最大,且可抑制光硬化性樹脂膜 之貼合時之偏移所致之膜片之外露。 又藉由力疋塗法以光硬化性樹脂進行延伸塗佈形成透 日:層的場合,於透明層的上面之外圍#,光硬化性樹脂有 ^:因表面張力而隆起。於在平坦的基板上施行光硬化性 树月曰之延伸塗佈的場合,於基板之外圍部因表面張力導致 “ 丨生树知的隆起是周知的。如此之隆起會因樹脂的厚 膜化導致訊號記錄與再生特性之劣化、及碟片與記錄再生 磁頭之接觸等問題之發生。 23 200535835 t ’為抑制前述因表面張力所致之光硬化性樹脂之隆 乂么者為,例如’於多層資訊記錄媒體的形狀為碟片 形狀之場合,較佳者為,如圖6所示般使構成資訊層6〇2 :各光硬化性樹脂膜的外徑形成為愈遠離第I資訊基板60〗 恩小’且使形成於光硬化性谢 …甘 ①更化’生树月曰艇之内徑形成為愈遠離第 1貝吼基板601側愈大。亦即, 权佳者為,自第1資訊基 二 = 起隨著愈接近透明層109,使光硬化性樹脂膜的 外爾為愈小,使光硬化性樹脂膜的内徑形成為愈大。 又方;如則述般形成之光硬化性樹脂膜中 層的光硬化性樹脂膜之各内 4之各 合闷枉及外控的尺寸差為 士. ~ <系就使資訊面確保為最大,且可抑制光硬化性 :月曰艇之貼合時之偏移所致之膜片之外露的考量之較佳 首° :由前述本發明之製造方法所得之多層資 月丑,由於係用光硬化性樹脂 、 • 貝σ扎層的形成,故尺寸精 …又,由於係使用與光硬化性樹脂膜 :::形成之透光性樹脂壓模所得到,故於壓模剥離時: 員起過必要的力,因而,可得到尺寸安定 = 訊記錄媒體。 J夕層貝 之多:ί本發明之多層資訊記錄媒體之厚度,於碟片形狀 之夕層貝讯記錄媒體的場合,為保有與cd、dvd、b 之各的再生互通性,以116~15_的程度為佳。 产产知本發明之多層資訊記錄媒體中,較佳者為,於 子…有4層的資訊層之可自單側對4層的資訊層進行 24 •200535835 存取之多層資訊記錄媒體。 媒4者二在厚度方向有4層的資訊層之多層資訊記錄 ^ 貝讯層的厚度以5〜25"m為佳。為了使在厚度 ^方向積層更多層的資訊層,並使對光硬化性樹脂膜進行次 :::曹之轉印形成的製程中之因光硬化所致的硬 : 於幸父小,資訊層的厚度以儘可能較薄為佳,惟,為防止PfJ 2 =樹脂壓模所施加的緊壓力與緊壓所用的 f上為佳更幻生树月❽成之破壞,資訊層的厚度以5心以 於本實施形態中,主要係以4層的光 例所作的說明,惟,藉、…己錄媒體為 稭由弟1貝吼基板與各資訊芦、、悉M ^的厚度之調整亦可得到、曰 ,, 稱k的貝矾記錄媒體。 作為如此得到的本發明之多層資訊記錄媒體 DVD、BD等所採用之光碟的形狀之外,亦可、 應於例如記憶卡等之卡月 ’…用於具有對 之卡片的形狀之記錄媒體。 (實施形態2) 於多層資訊記錄媒體中,由於係 的層,故較以往之單層資訊記錄媒體須^^向形成複數 然而’由於資訊層為多層之故,較的精度。 記錄媒體於尺寸精度方面,尤其 ;:層之資訊 難。 妁匕制方面更為困 於本發明之多層資訊記錄媒體之 整使用透光性樹脂壓模之資訊槽的轉二方法中,藉由調 也成條件可使翹曲 25 200535835 的 情形抑制於較低 又作為第I資訊基板係# 狀者來製造多層資訊記錄媒:二用:二面?上時呈凸魉形 訊記錄媒體。本發明者等,针對二使:件到勉曲小的資 曲減少的方法,就使用透光性行月貝訊記錄媒體之翹 成條件作了各種檢討之結果,二:二:貧訊槽的轉印形 緊厂堅力調整於-定的範圍中,;;=將輕面的溫度與 錄媒體。 τ侍到翹曲小的多層資訊記 ,由以特方、传到之多層資訊記錄媒體有翹曲的場合, 猎由以特疋的條件進行退火處理可矯正趣曲。 以下,就其檢討的内容加以說明·· 猎由调H面之溫度與緊壓力以減低趣曲的方法〉 於本發明之製造方法中之資訊層的形成製程中,於在 科更t &树脂片上貼合透光性樹脂壓模後使得輕於透光性 壓模上移動以轉印形成透光性樹脂壓模之資訊槽之 τ就輪面的溫度與緊壓力改變時所得到之轉印槽的深度 作評價。 圖7為表不較溫度與緊壓力❹時所形成之轉印槽的 深度之曲線圖。 :本榀讨中,作為第丨資訊基板係用有中心孔之 直徑12〇mm之碟狀、厚度llmm之聚碳酸酯樹脂製透明 基板。又,作為光硬化性樹脂膜,係用由聚烯烴系樹脂基 材與光硬化性丙烯酸系、貼合劑等所構成的厚度2G // m之紫 外線硬化性樹脂膜(古河電工(股)製之uv膠帶)。又,作為 26 200535835 轉印形成第2訊號層之透光性樹脂壓模的轉印面,係用具 有槽深20nm、槽寬170nm及執距〇 32//m之螺旋狀的槽 之透光性樹脂壓模。 θ 依據圖7,於輥溫度為2(rc以上,緊壓力為 以上的場合,形成於透光性樹脂壓模之轉印面可良好地轉 印〇 另一方面,圖8為表示與前述同樣地形成各資訊層之
犄,於資訊層的形成製程中對輥溫度及緊壓力作各種改 變,製造含有用光硬化性樹脂膜形成之3層的資訊層之具 有4層的資訊層之記錄媒體的場合之多層資訊記錄^體: 魅曲量之曲線圖。 .又,前述麵曲量之評價’係如圖9所示般,將形成有 第2訊號層@資訊記錄媒體利用&中心孔固定於直經咖m 的台座上,對前述帛i資訊基板之形成有資訊槽的面以雷 射光照射’捕捉照射時之反射光,藉由由入射光與反射光 :形成的角度(Θ)作評價。x,前述評價,係對於自外緣 算起往中心方向lmm的内側部分’在外周方向均等分的Η 點測定所得的角度之中,以最大的值作為角度⑺刀 0 -0,隨著輕曲量之增大0亦變 於沒有翹曲的場合 大。 依據圖8’於緊壓力# 120kg/cm2以上時,翹曲量變 得非常大,又,於輥溫度為1〇代以上的場合中,即使緊 壓力為H)〇kg/cm2以下,輕曲量亦大。吾人認為其理由在 方…昆溫度若超過戰’帛1資訊基板本身會因樹脂之 27 200535835 應力缓和與耐熱性之影響而容易變形。 就圖7及圖8的結果考量,可知··可得到轉印精度較 佳、翹曲較小的多層資訊記錄媒體之條件為,輥溫度為 (而以25〜8(rc更佳)、加塵力為2〇〜i〇〇 kg/cm2(而 以20〜80kg/cm2更佳)。 <藉由用凸形狀的第丨資訊基板以減低翹曲的方法〉 於本發明之製造方法中,於第1資訊基板上載置光硬 化性樹脂膜’對光硬化性樹脂膜以透光性樹脂壓模形成資 訊槽之後’使光硬化性樹脂膜硬化,藉此可形成各資訊層。 又,形成於最外層之資訊層上的透明層,可藉由旋塗法等 以液狀的光硬化性樹脂進行延伸塗佈後進行光硬化而形 光硬化性樹脂膜及液狀的光硬化性樹脂於硬化之時, 由於收縮(以下稱為硬化收縮)之故,於用平坦的透明樹脂 基板的場合,會因硬化收縮而發生翹曲。
#因而,為得到翹曲少的多層資訊記錄媒體,於使用以 第1資訊基板的資訊面朝上的場合原已具有凸形狀的翹曲 者之場合,可與前述凹形狀的翹曲相抵,而可得到平坦度 比較南的多層資訊記錄媒體。 前述凸形狀的翹曲,於製造第丨資訊基板之場合,藉 由調整射出(壓縮)成形之各種條件,亦即,射出壓力、^ 度、與圓筒溫度、模具溫度、模具壓力等,可得 第1資訊基板。 、 方'本榀。寸中,在原已具有凸形狀的翹曲之圓盤狀的第 28 *200535835 之製造方法逐層形成資訊層, 為3層之資訊層,就其翹曲量 如表1。 1資訊基板上,使用本發明 用光硬化性樹脂膜形成合計 的變化加以測定。其結果示 [表1] 積層製程 無積層 第1層 第2層 第3層 赵曲量(9(度) 1.0 —-—-~-— — « __0.5 0.3 ---—-----— ^Lan/m 一 0 弟 1資訊基板之為| ώ^ ^ 涊曲里θ於資訊層之積層前為0 =1.0 度,二光硬化性樹脂膜形成第1層的資訊層時,S 08度, 形成第2層日寸為0 5度,形成第3層時為w度,最後, 藉由於最外層的資訊層上以光硬化性樹脂進行旋塗形成透 明層,Θ成為〇度,可得到幾無輕曲的多層資訊記錄媒體。 可知:如此般,藉由用原已具有凸形狀的麵曲之第! 成多層資訊記錄媒體’最終得到之多層資訊記 錄媒體的翹曲可得到控制。 <用退火處理之翹曲控制的方法〉 “其次,就使用退火處理之龜曲控制的方法加以說明。 2由ί發明之製造方法得到之多層資訊記錄媒體,亦更進 一步藉由施行作為後處理掣条 划广上 匆里衣耘之退火處理(其目的為緩和内 邛應力,消除翹曲、變形等)來控制翹曲量為俨 =討,’與上述「用凸形狀的第“訊基板以減 之二 」的檢討同樣地,在原已具有凸形狀的龜曲 之㈣的第1資訊基㈣】上,用本發明之製造方法逐 29 •200535835 層形成資訊層’用光硬化性樹脂薄膜6〇4形成合 之資訊層,並争;隹—丰/ 、 層 更進步形成透明層,製造成具有4厣 訊層之貪訊記錄媒體,對其翹曲量進行測定。 " 又,於本實施形態中,考量退火處理之施行,而 遇曲里Θ =〇.5度之凸形狀的第i資訊基板。對此第1次用 基板101以光硬化性樹脂薄膜6G4依序形成3層之 曲量<9的變化示如表2。 守巧 --—-- 積層製程 無積層 —---- 第1層 —------ 第2層 第3層 —----- 曲量6> (度) 0.5 0.3 —-~~.— —〇__ 0.3 _ _ [表 2] 、皮於用前述翹曲量卜〇·5度的凸形狀之第!資訊基板製 造4層之多層資訊記錄媒體的場合,最終得到之多層資訊 记錄媒體為翹曲量Θ to」度的凸形狀(亦即“ο」度的凹 形狀)之多層資訊記錄媒體。 入如此,於凸形狀的第1資訊基板之翹曲量θ較小的場 合’因熱硬化性樹脂之硬化收縮,可得到凹形狀之多層資 訊記錄媒體。 然後,對得到之翹曲量β=_0·5度的多層資訊記錄媒體 依表3所記載之處理時間及處理條件進行退火處理。 其後’就經退火處理之多層資訊記錄媒體的翹曲量與 事先測定之退火處理前的多層資訊記錄媒體之翹曲量的差 € Θ )藉由下式進行比較。 30 •200535835 (退火處理後之翹曲量(Θ2)Η退火處理前之 1)) ν [表3]
由表3的結果得知,於80°C處理120〜180分鐘的場人, 翹曲量差(Θ)為0.5度,對退火處理前之翹曲量沒為_〇 5产 的多層資訊記錄媒體,可得到幾無翹曲的平坦的0 戶2 多層資訊記錄媒體。 另一方面’於90C以上處理之場合,於全部之各種广 理時間,第1資訊基板本身皆可看到發生大的變形(表3中 以X表示)。 由前述結果,於退火處理前之多層資訊記錄媒體發生 麵曲的場合,藉由施行前述退火處理可矯正翹曲,可得到 平坦的多層資訊記錄媒體。 31 200535835 (產業上之可利用性) 本發明之客穴> 於作為一 且亦可應 記錄媒體中有多::媒體及其製造方法 用於資訊記憶卡等之用途。茱寺甚有效用 【圖式簡單說明】 例 圖1表示本發明之多層資訊記錄媒體之截面圖之 圖為乂在之多層貧訊記錄媒體之截面圖。 圖3 A〜]V[為表示以往之多 的製程之截面圖。 I己錄媒體之製造方法 圖4為表示相變化型之記錄膜的構成之截面圖。 圖5A〜Η為表示本發明之多層資訊 法的製程之一例的截面圖。 早-之衣以方 圖6為表示本發明之實施形態中 包住的狀態之示意圖。 中之各貝訊層以透明層 次圖7為表示實施形態2中之幸昆溫度與緊堡力與轉印槽 4度的關係之曲線圖。 —圖8為表示實施形態2中之輕溫度與緊壓力與多層資 訊記錄媒體之翹曲的關係之曲線圖。 胃圖9為表示實施形態2中之多層資訊記錄媒體之輕曲 里的測定方法之示意圖。 【主要元件符號說明】 32 ^200535835
101 第 1資訊基板 102 第 1薄膜層 103 第 2訊號層 104 第 2薄膜層 105 第 3訊號層 106 第 3薄膜層 107 第 4訊號層 108 第 4薄膜層 109 透明層 301 第 1貢訊基板 302 第 1薄膜層 303 第 2訊號層 304 第 2薄膜層 305 透明層 306 透明基板 404 光硬化性樹脂 405 紫外線照射機 406 壓模 407 旋轉台 408 光硬化性樹脂 409 紫外線照射機 412 光硬化性樹脂 413 光硬化性樹脂 501 第 1資訊層 33 •200535835 502 資訊面 503 反射膜 504 介電體膜 505 相變化型之記錄膜 506 介電體膜 600 中心孔 601 第1資訊基板 602 資訊層 604 光硬化性樹脂薄膜 605 輥 606 保護片 607 光照射機 609 透明層 610 透光性樹脂壓模 34

Claims (1)

  1. -200535835 十、申請專利範圍: 1 · 一種多層資訊記錄媒體之製造方法,其特徵在於, 包含下述製程·· 第1製程,於具有第1資訊面的基板之資訊面上以第 1薄膜層被覆, 第2製程,於該第1薄膜層上載置光硬化性樹脂膜, 於該樹脂膜上載置透光性樹脂壓模並進行緊壓, 弟3製程,使光穿透遠透光性樹脂壓模而使該光硬化 Φ 性樹脂膜硬化, 第4製程,將該透光性樹脂壓模自該硬化之光硬化性 樹脂膜剝離,形成第2資訊面,以及 第5製程,將該第4製程所形成的第2資訊面上以第 2薄膜層被覆來形成資訊層; 且該透光性樹脂壓模具有用以形成第2資訊面的轉印 面’於該轉印面上形成有金屬薄膜。 2 ·如申請專利範圍第1項之多層資訊記錄媒體之製造 籲方法,係藉由在該第5製程中所形成的第2薄膜層上再反 设進行複數次之該第2〜第5製程,以於基板上形成複數的 資訊層。 3·如申請專利範圍第丨或2項之多層資訊記錄媒體之 衣造方法,包含:在該第5製程中形成的最外層之薄膜層 上形成透明層之製程。 4 ·如申請專利範圍第1項之多層資訊記錄媒體之製造 方去,係於該第2製程中,在該薄膜層上載置該光硬化性 35 •200535835 fef月曰I、壓而使其貼合於該薄膜層I ’於該樹脂膜上載 置省透光)'生树月曰壓模後,對該透光性樹脂壓模進行緊壓。 5·如申請專利範圍第丨項之多層資訊記錄媒體之製造 方法,係於該第2製程中,於該薄膜層上載置該光硬化性 樹知膜舁4透光性樹脂壓模後,對該透光性樹脂壓模進行 緊壓。 6 ·如申明專利範圍第1項之多層資訊記錄媒體之製造 方法其中’该透光性樹脂壓模之紫外線穿透率為5〜8〇%。 7·如申凊專利範圍第1項之多層資訊記錄媒體之製造 方法,其中,於該透光性樹脂壓模所形成之金屬薄膜之膜 厚為5〜50nm〇 8·如申請專利範圍第1項之多層資訊記錄媒體之製造 方法其中’ 5亥透光性樹脂壓模,係於聚碳酸酯系樹脂製 壓模上形成厚度可讓紫外線穿透之金屬薄膜而成者。 9 ·如申晴專利範圍第1項之多層資訊記錄媒體之製造 方法’其中’於該透光性樹脂壓模所形成之金屬薄膜為以 銀(Ag)或鋁(Α1)為主成份之金屬薄膜。 1 〇·如申請專利範圍第3項之多層資訊記錄媒體之製造 方法’其中’該透明層係包覆住於該透明層與具有該第1 資訊面的基板之間所形成的資訊層。 Π •如申請專利範圍第3項之多層資訊記錄媒體之製造 方法’係使用較該具有第1資訊面的基板外緣及該透明層 外緣小的光硬化性樹脂膜。 12.如申請專利範圍第3項之多層資訊記錄媒體之製造 36 200535835 分用以衣造具有至少2層的由光硬化性樹脂膜所形 成之貢訊層的多層資訊記錄媒體;係使該光硬化性樹脂膜 卜彖形成為較该具有第1資訊面的基板外緣及該透明層 外緣小,且該光硬化性樹脂膜之外緣愈遠離該具有第1資 訊面的基板愈小。 13 ·如申清專利範圍第3項之多層資訊記錄媒體之製造 方法其中’该具有第1資訊面的基板為有中心孔之圓盤 幵y狀且°玄光硬化性樹脂膜為有中心孔之圓盤形狀,該光 硬化性樹脂膜的内徑係較該具有第1資訊面的基板的内徑 來得大,該透明層係於該具有第丨資訊面的基板上遍及較 該光硬化性樹脂膜之中心孔更内徑側處。 14·如申請專利範圍第1 3項之多層資訊記錄媒體之製 k方法,其中,該光硬化性樹脂膜之内徑係愈遠離該基板 愈大。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項之多層資訊記錄媒體之製 造方法’係使該光硬化性樹脂膜之外徑較該具有第1資訊 面的基板之外徑及該透明層之外徑小,並使該光硬化性樹 脂膜之外徑愈遠離該具有第1資訊面的基板愈小。 1 6 ·如申請專利範圍第1項之多層資訊記錄媒體之製造 方法,其中,該具有第1資訊面的基板,係使用該資訊面 朝上時呈現凸麵形狀者。 17·如申請專利範圍第1項之多層資訊記錄媒體之製造 方法’係於該薄膜層上載置光硬化性樹脂膜並於該樹脂膜 上載置透光性樹脂壓模進行緊壓之第2製程中,藉由表面 37 •200535835 溫度為20〜100°C之輥以20〜100kg/cm2進行緊厚。 18. 如申請專利範圍f i項之多層資訊記錄媒體之製造 方法’係於該薄膜層上載置光硬化性樹脂膜並於該樹:: 上載置透光性樹脂壓模進行緊壓之第2製程中,藉由=、 溫度為25〜80°C之輥以20〜80kg/cm2進行緊壓。 、面 19. 如申請專利範圍第"員之多層資訊記錄媒體之製造 法’係包含退火處理製程。 專利a;—種多層資訊記錄媒體,其特徵在於,係藉由申請 者。靶圍帛1項之多層資訊記錄媒體之製造方法所製得 具有Y·如申請專利範圍第20項之多層資訊記錄媒體,係 2層之貢訊層,各資訊層的厚度為5〜25 # m。 具有22·如申請專利範圍第20項之多層資訊記錄媒體,係 ! 5m^运的貝Λ層之多層資訊記錄媒體,其厚度為1 · 1 6〜
    十一、圖式·· 38
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