SE508676C2 - Förfarande för framställning av tunnfilmssolceller - Google Patents
Förfarande för framställning av tunnfilmssolcellerInfo
- Publication number
- SE508676C2 SE508676C2 SE9403609A SE9403609A SE508676C2 SE 508676 C2 SE508676 C2 SE 508676C2 SE 9403609 A SE9403609 A SE 9403609A SE 9403609 A SE9403609 A SE 9403609A SE 508676 C2 SE508676 C2 SE 508676C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- layer
- sodium
- cuinse2
- alkali metal
- potassium
- Prior art date
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims abstract description 25
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims abstract description 21
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims abstract description 13
- KTSFMFGEAAANTF-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Se].[Se].[In] Chemical compound [Cu].[Se].[Se].[In] KTSFMFGEAAANTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 5
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims description 10
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 9
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N cadmium sulfide Chemical compound [Cd]=S CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VZZSRKCQPCSMRS-UHFFFAOYSA-N dipotassium;selenium(2-) Chemical compound [K+].[K+].[Se-2] VZZSRKCQPCSMRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 2
- VPQBLCVGUWPDHV-UHFFFAOYSA-N sodium selenide Chemical compound [Na+].[Na+].[Se-2] VPQBLCVGUWPDHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- -1 sodium Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000003112 potassium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F10/00—Individual photovoltaic cells, e.g. solar cells
- H10F10/10—Individual photovoltaic cells, e.g. solar cells having potential barriers
- H10F10/16—Photovoltaic cells having only PN heterojunction potential barriers
- H10F10/167—Photovoltaic cells having only PN heterojunction potential barriers comprising Group I-III-VI materials, e.g. CdS/CuInSe2 [CIS] heterojunction photovoltaic cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/34—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies not provided for in groups H01L21/18, H10D48/04 and H10D48/07, with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/44—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/38 - H01L21/428
- H01L21/441—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes
- H01L21/443—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes from a gas or vapour, e.g. condensation
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/10—Semiconductor bodies
- H10F77/16—Material structures, e.g. crystalline structures, film structures or crystal plane orientations
- H10F77/169—Thin semiconductor films on metallic or insulating substrates
- H10F77/1694—Thin semiconductor films on metallic or insulating substrates the films including Group I-III-VI materials, e.g. CIS or CIGS
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
508 676 2 innefattande alkalimetallen natrium (Na) eller kalium (K) att bildas ovanpå strukturen före det att CuInSe2-skiktet påläg- ges.
Med ett kopparindiumselenid-skikt menas i detta sammanhang och i patentkraven ett kopparindiumselenid-skikt med olika sammansättningar och med olika legeringsämnen, främst gallium och svavel. Främst avses med kopparindiumselenid föreningarna CuInSe2, CuInxGa1_xSe2 och CuInxGa1_xSySe2_Y.
Nedan beskrives dock uppfinningen med ett kopparindiumsele- nid-skikt enligt formeln CuInSeP Nedan beskrives föreliggande uppfinning närmare delvis i samband med ett på bifogade ritning visat utföringsexempel av uppfinningen, där figur 1 visar en solcellsstruktur.
Föreliggande uppfinning bygger på insikten att påläggning av natrium eller kalium i form av elementärt natrium eller ka- lium eller en förening i vilka dessa grundämnen ingår på den yta på vilken CuInSe2-skiktet skall uppbyggas, d.v.s. ex- empelvis på molybden-skiktet, medför att kornen i den poly- kristallina CuInSe2-filmen blir mer orienterade i en kolumnär struktur. Kornen blir också större och strukturen tätare.
Dessutom minskar resistiviteten i CuInSe2-skiktet, vilket också innebär att en högre effektiv p-dopning erhålles inne- bärande att cellspänningen ökar.
I stället för natrium eller kalium torde andra alkalimetaller medföra samma effekt, i varje fall litium, som har låg atom- vikt.
I figur 1 visas schematiskt ett snitt genom en solcell av typen tunnfilmssolcell. Tunnfilmssolceller uppbyggs på sub- strat som kan vara stora, exempelvis 1 X 0.4 meter. Härvid förefinns ett mycket stort antal celler över substratytan, vilka är elektriskt sammankopplade. Figur 1 visar endast en 508 676 3 del av en sådan cell. Tillverkningstekniken för att fram- ställa ett stort antal separata men elektriskt förbundna celler på en substratyta är välkänd och beskrives inte närma- re här.
En solcell vid vilken uppfinningen kan tillämpas kan vara uppbyggd på följande sätt. Vanligen är substratet 1 en glas- skiva av lämplig tjocklek, exempelvis 2.0 mm. Först sputtras ett skikt 2 av molybden (Mo) på glasytan. Molybdenskiktet ut- gör bakkontakt och pluspol i den färdiga cellen. Molybden- skiktet kan ha en tjocklek av exempelvis 1000 nanometer. Där- efter pålägges ett CuInSe2-skikt 3 med en tjocklek av exem- pelvis 2500 nanometer. Ovanpå detta skikt 3 pålägges först ett skikt 4 av kadmiumsulfid (CdS) med en tjocklek av exem- pelvis 50 nanometer, varefter en kontakt i form av transpa- rent dopat zinkoxidskikt (ZnO) 5 med en tjocklek av exempel- vis 500 nanometer pålägges.
När solljus infaller mot solcellen uppstår en elektrisk spän- ning mellan kontakten 5 (Zn0), som är minuspol, och bakkon- takten 2.
Nedan beskrives uppfinningen med natrium som exempel. Detsam- ma gäller dock andra alkalimetaller. I figur 1 anges skiktet betecknat 6 som Na. För det fall andra alkalimetaller avses skall dessa utgöra nämnda skikt 6.
Enligt uppfinningen bringas ett skikt 6 innefattande en alka- limetall, i exemplet natrium (Na), att bildas ovanpå metall- skiktet 2, d.v.s. ovanpå molybdenskiktet i ovanstående exem- pel, före det att CuInSe2-skiktet 3 pålägges.
Enligt en föredragen utföringsform bringas natrium att på- läggas genom förångning av natriumselenid (Na2Se) på bakkon- takten, d.v.s. metallskiktet.
Enligt en annan föredragen utföringsform bringas kalium att 508 676 4 påläggas genom förångning av kaliumselenid (K2Se) på bakkon- takten, d.v.s. metallskiktet.
Enligt en annan föredragen utföringsform sputtras alkalime- tallen, i exemplet natrium, på samtidigt som bakkontakten då denna utgöres av molybden.
Enligt en ytterligare föredragen utföringsform bringas skik- tet innefattande alkalimetallen, i exemplet natrium, att ha en tjocklek av 50 till 500 nanometer.
Enligt en utföringsform bringas skiktet att innefatta även syre (0).
Det har visat sig att när CuInSe2-skiktet pålägges ovanpå skiktet innefattande natrium eller kalium kommer natrium respektive kalium i allt väsentligt att försvinna från me- tallkontaktens yta. När CuInSe2-skiktet pålagts återfinnes natrium respektive kalium dels i korngränserna i CuInSe2- skiktet, dels på detta skikts yta. När sedan cds-skiktet pålägges med en våt process försvinner natrium- respektive kaliumföreningen från ytan, förutsatt att natrium- respektive kaliumföreningen är löslig i aktuell vätska.
Detta förfarande ger vid den som exempel angivna solcellen en ytterst överraskande höjning av verkningsgraden, nämligen med omkring 25 %. En dylik solcell där uppfinningen inte tilläm- pas har typiskt en verkningsgrad av 12 %. Genom tillämpning av uppfinningen ökar verkningsgraden till 15 %.
Ovan har föreliggande uppfinning beskrivits i anslutning till en viss solcellsstruktur. Emellertid kan föreliggande uppfin- ning tillämpas vid andra strukturer, där exempelvis bakkon- takten inte utgöres av molybden utan av en annan lämplig me- tall, såsom wolfram, nickel, titan och krom.
Dessutom kan andra substrat än glas innehållande natrium an- 508 676 vändas. Exempelvis kan glas, som inte innehåller natrium an- vändas, liksom glas innehållande natrium vilka försetts med en diffusionsbarriär mot natrium på den yta, där bakkontakten uppbygqs- Föreliggande uppfinning skall därför inte anses begränsad till ovan angivna utföringsformer, utan kan varieras inom dess av bifogade patentkrav angivna ram.
Claims (9)
1. Förfarande för att tillverka tunnfilmsolceller, där i ett tillverkningssteg kopparindiumselenid-skikt (CuInSe2) (3) på- lägges på en struktur innefattande ett metallskikt (2) utgö- rande bakkontakt i solcellen, vilken bakkontakt är pålagd på ett substrat (1), k ä n n e t e c k n a t a v, att ett skikt (6) innefattande en alkalimetall bringas att bildas ovanpå strukturen före det att CuInSe2-skiktet (3) pâlägges.
2. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t a v, att ett skikt (6) innefattande alkalimetallen natrium (Na) eller kalium (K) bringas att bildas ovanpå strukturen före det att CuInSe2-skiktet (3) pålägges.
3. Förfarande enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a t a v, att natrium bringas att påläggas genom förångning av natriumselenid (Na2Se) på bakkontakten.
4. Förfarande enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a t a v, att kalium bringas att påläggas genom förångning av ka- liumselenid (K2Se) på bakkontakten.
5. Förfarande enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a t a v, att alkalimetallen sputtras på samtidigt som bakkontak- ten då denna utgöres av molybden.
6. Förfarande enligt krav 1, 2, 3, 4 eller 5, k ä n n e - t e c k n a t a v, att skiktet innefattande alkalimetallen bringas att ha en tjocklek av 50 till 500 nanometer.
7. Förfarande enligt krav 1, 2, 3, 4, 5 eller 6, k ä n n e - t e c k n a t a v, att skiktet innefattande alkalimetallen även bringas att innefatta syre (0).
8. Förfarande enligt krav 1, 2, 3, 4, 5, 6 eller 7, k ä n - n e t e c k n a t a v, att bakkontakten utföres i molybden 508 676 (Mo).
9. Förfarande enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a t a v, att kadmiumsulfid (CdS) pålägges ovanpå kopparindiumselenid-skiktet samt att en kontakt företrädesvis i form av ett skikt av dopad zinkoxid (ZnO) pålägges ovanpå skiktet av kadmiumsulfid-skiktet.
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9403609A SE508676C2 (sv) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | Förfarande för framställning av tunnfilmssolceller |
| US08/817,693 US5994163A (en) | 1994-10-21 | 1995-10-20 | Method of manufacturing thin-film solar cells |
| ES95936166T ES2191716T3 (es) | 1994-10-21 | 1995-10-20 | Un procedimiento de fabricacion de celulas solares de capa delgada. |
| JP51383596A JP3690807B2 (ja) | 1994-10-21 | 1995-10-20 | 薄膜太陽電池の製法 |
| DE69529529T DE69529529T2 (de) | 1994-10-21 | 1995-10-20 | Herstellungsverfahren von dünnschicht-solarzellen |
| AU38205/95A AU3820595A (en) | 1994-10-21 | 1995-10-20 | A method of manufacturing thin-film solar cells |
| PCT/SE1995/001242 WO1996013063A1 (en) | 1994-10-21 | 1995-10-20 | A method of manufacturing thin-film solar cells |
| EP95936166A EP0787354B1 (en) | 1994-10-21 | 1995-10-20 | A method of manufacturing thin-film solar cells |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9403609A SE508676C2 (sv) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | Förfarande för framställning av tunnfilmssolceller |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE9403609D0 SE9403609D0 (sv) | 1994-10-21 |
| SE9403609L SE9403609L (sv) | 1996-04-22 |
| SE508676C2 true SE508676C2 (sv) | 1998-10-26 |
Family
ID=20395698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE9403609A SE508676C2 (sv) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | Förfarande för framställning av tunnfilmssolceller |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5994163A (sv) |
| EP (1) | EP0787354B1 (sv) |
| JP (1) | JP3690807B2 (sv) |
| AU (1) | AU3820595A (sv) |
| DE (1) | DE69529529T2 (sv) |
| ES (1) | ES2191716T3 (sv) |
| SE (1) | SE508676C2 (sv) |
| WO (1) | WO1996013063A1 (sv) |
Families Citing this family (68)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4447866B4 (de) * | 1994-11-16 | 2005-05-25 | Zentrum für Sonnenenergie- und Wasserstoff-Forschung Baden-Württemberg | Verfahren zur Herstellung einer Verbindungshalbleiter-Dünnschichtsolarzelle |
| JP3519543B2 (ja) * | 1995-06-08 | 2004-04-19 | 松下電器産業株式会社 | 半導体薄膜形成用前駆体及び半導体薄膜の製造方法 |
| US7053294B2 (en) * | 2001-07-13 | 2006-05-30 | Midwest Research Institute | Thin-film solar cell fabricated on a flexible metallic substrate |
| WO2003007386A1 (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | Midwest Research Institute | Thin-film solar cell fabricated on a flexible metallic substrate |
| AU2003207295A1 (en) * | 2002-02-14 | 2003-09-04 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Light absorbing layer forming method |
| US20060057766A1 (en) * | 2003-07-08 | 2006-03-16 | Quanxi Jia | Method for preparation of semiconductive films |
| SE525704C2 (sv) * | 2003-08-12 | 2005-04-05 | Sandvik Ab | Belagd stålprodukt av metallbandsmaterial innefattande ett elektriskt isolerande skikt dopat med en eller flera alkalimetaller |
| US20050056863A1 (en) * | 2003-09-17 | 2005-03-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor film, method for manufacturing the semiconductor film, solar cell using the semiconductor film and method for manufacturing the solar cell |
| US20060060237A1 (en) * | 2004-09-18 | 2006-03-23 | Nanosolar, Inc. | Formation of solar cells on foil substrates |
| US7306823B2 (en) * | 2004-09-18 | 2007-12-11 | Nanosolar, Inc. | Coated nanoparticles and quantum dots for solution-based fabrication of photovoltaic cells |
| US7604843B1 (en) | 2005-03-16 | 2009-10-20 | Nanosolar, Inc. | Metallic dispersion |
| US8309163B2 (en) * | 2004-02-19 | 2012-11-13 | Nanosolar, Inc. | High-throughput printing of semiconductor precursor layer by use of chalcogen-containing vapor and inter-metallic material |
| US8623448B2 (en) * | 2004-02-19 | 2014-01-07 | Nanosolar, Inc. | High-throughput printing of semiconductor precursor layer from chalcogenide microflake particles |
| US8329501B1 (en) | 2004-02-19 | 2012-12-11 | Nanosolar, Inc. | High-throughput printing of semiconductor precursor layer from inter-metallic microflake particles |
| US8372734B2 (en) | 2004-02-19 | 2013-02-12 | Nanosolar, Inc | High-throughput printing of semiconductor precursor layer from chalcogenide nanoflake particles |
| US7605328B2 (en) | 2004-02-19 | 2009-10-20 | Nanosolar, Inc. | Photovoltaic thin-film cell produced from metallic blend using high-temperature printing |
| US7700464B2 (en) | 2004-02-19 | 2010-04-20 | Nanosolar, Inc. | High-throughput printing of semiconductor precursor layer from nanoflake particles |
| US7663057B2 (en) * | 2004-02-19 | 2010-02-16 | Nanosolar, Inc. | Solution-based fabrication of photovoltaic cell |
| US8846141B1 (en) | 2004-02-19 | 2014-09-30 | Aeris Capital Sustainable Ip Ltd. | High-throughput printing of semiconductor precursor layer from microflake particles |
| US7838868B2 (en) | 2005-01-20 | 2010-11-23 | Nanosolar, Inc. | Optoelectronic architecture having compound conducting substrate |
| US8541048B1 (en) | 2004-09-18 | 2013-09-24 | Nanosolar, Inc. | Formation of photovoltaic absorber layers on foil substrates |
| US20090032108A1 (en) * | 2007-03-30 | 2009-02-05 | Craig Leidholm | Formation of photovoltaic absorber layers on foil substrates |
| US7732229B2 (en) * | 2004-09-18 | 2010-06-08 | Nanosolar, Inc. | Formation of solar cells with conductive barrier layers and foil substrates |
| US8927315B1 (en) | 2005-01-20 | 2015-01-06 | Aeris Capital Sustainable Ip Ltd. | High-throughput assembly of series interconnected solar cells |
| US20080053516A1 (en) | 2006-08-30 | 2008-03-06 | Richard Allen Hayes | Solar cell modules comprising poly(allyl amine) and poly (vinyl amine)-primed polyester films |
| US8197928B2 (en) | 2006-12-29 | 2012-06-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Intrusion resistant safety glazings and solar cell modules |
| US8771419B2 (en) * | 2007-10-05 | 2014-07-08 | Solopower Systems, Inc. | Roll to roll evaporation tool for solar absorber precursor formation |
| AT10578U1 (de) * | 2007-12-18 | 2009-06-15 | Plansee Metall Gmbh | Dunnschichtsolarzelle mit molybdan-haltiger ruckelektrodenschicht |
| US8197885B2 (en) * | 2008-01-11 | 2012-06-12 | Climax Engineered Materials, Llc | Methods for producing sodium/molybdenum power compacts |
| US20090242030A1 (en) * | 2008-03-26 | 2009-10-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | High performance anti-spall laminate article |
| CN102832281A (zh) * | 2008-04-04 | 2012-12-19 | 纳幕尔杜邦公司 | 包含高熔体流动速率的聚(乙烯醇缩丁醛)包封材料的太阳能电池模块 |
| JP4384237B2 (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-16 | 昭和シェル石油株式会社 | Cis系薄膜太陽電池の製造方法 |
| US20090288701A1 (en) * | 2008-05-23 | 2009-11-26 | E.I.Du Pont De Nemours And Company | Solar cell laminates having colored multi-layer encapsulant sheets |
| CN102047442B (zh) | 2008-06-02 | 2014-05-07 | 纳幕尔杜邦公司 | 具有低雾度包封层的太阳能电池模块 |
| US8298856B2 (en) | 2008-07-17 | 2012-10-30 | Uriel Solar, Inc. | Polycrystalline CDTE thin film semiconductor photovoltaic cell structures for use in solar electricity generation |
| US20100101647A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Non-autoclave lamination process for manufacturing solar cell modules |
| JP6076598B2 (ja) | 2008-10-31 | 2017-02-08 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.Du Pont De Nemours And Company | 低ヘイズ封入材を含む太陽電池モジュール |
| US8084129B2 (en) * | 2008-11-24 | 2011-12-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Laminated articles comprising a sheet of a blend of ethylene copolymers |
| US8080727B2 (en) | 2008-11-24 | 2011-12-20 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Solar cell modules comprising an encapsulant sheet of a blend of ethylene copolymers |
| US20100154867A1 (en) | 2008-12-19 | 2010-06-24 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Mechanically reliable solar cell modules |
| WO2010077425A1 (en) * | 2008-12-31 | 2010-07-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Solar cell modules comprising encapsulant sheets with low haze and high moisture resistance |
| CN102292827A (zh) * | 2009-01-22 | 2011-12-21 | 纳幕尔杜邦公司 | 用于太阳能电池模块的包含螯合剂的聚(乙烯醇缩丁醛)包封剂 |
| US8709856B2 (en) * | 2009-03-09 | 2014-04-29 | Zetta Research and Development LLC—AQT Series | Enhancement of semiconducting photovoltaic absorbers by the addition of alkali salts through solution coating techniques |
| JP5229901B2 (ja) * | 2009-03-09 | 2013-07-03 | 富士フイルム株式会社 | 光電変換素子、及び太陽電池 |
| JP4629151B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2011-02-09 | 富士フイルム株式会社 | 光電変換素子及び太陽電池、光電変換素子の製造方法 |
| US7785921B1 (en) * | 2009-04-13 | 2010-08-31 | Miasole | Barrier for doped molybdenum targets |
| US8247243B2 (en) | 2009-05-22 | 2012-08-21 | Nanosolar, Inc. | Solar cell interconnection |
| US9284639B2 (en) * | 2009-07-30 | 2016-03-15 | Apollo Precision Kunming Yuanhong Limited | Method for alkali doping of thin film photovoltaic materials |
| WO2011014777A1 (en) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Cross-linkable encapsulants for photovoltaic cells |
| KR101306913B1 (ko) * | 2009-09-02 | 2013-09-10 | 한국전자통신연구원 | 태양 전지 |
| US20110162696A1 (en) * | 2010-01-05 | 2011-07-07 | Miasole | Photovoltaic materials with controllable zinc and sodium content and method of making thereof |
| US20110203655A1 (en) * | 2010-02-22 | 2011-08-25 | First Solar, Inc. | Photovoltaic device protection layer |
| DE102010017246A1 (de) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Solibro Gmbh | Solarzellenmodul und Herstellungsverfahren hierfür |
| US8609980B2 (en) | 2010-07-30 | 2013-12-17 | E I Du Pont De Nemours And Company | Cross-linkable ionomeric encapsulants for photovoltaic cells |
| TWI538235B (zh) | 2011-04-19 | 2016-06-11 | 弗里松股份有限公司 | 薄膜光伏打裝置及製造方法 |
| US20130000702A1 (en) * | 2011-06-30 | 2013-01-03 | Miasole | Photovoltaic device with resistive cigs layer at the back contact |
| US10125205B2 (en) | 2012-12-19 | 2018-11-13 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Cross-linkable acid copolymer composition and its use in glass laminates |
| MY177799A (en) | 2012-12-21 | 2020-09-23 | Empa | Fabricating thin-film optoelectronic devices with added potassium |
| WO2015095607A1 (en) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | Uriel Solar, Inc. | Multi-junction photovoltaic cells |
| US20150325729A1 (en) | 2014-05-09 | 2015-11-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Encapsulant composition comprising a copolymer of ethylene, vinyl acetate and a third comonomer |
| TWI677105B (zh) | 2014-05-23 | 2019-11-11 | 瑞士商弗里松股份有限公司 | 製造薄膜光電子裝置之方法及可藉由該方法獲得的薄膜光電子裝置 |
| TWI661991B (zh) | 2014-09-18 | 2019-06-11 | 瑞士商弗里松股份有限公司 | 用於製造薄膜裝置之自組裝圖案化 |
| EP3245312A1 (en) | 2015-01-12 | 2017-11-22 | Nuvosun, Inc. | High rate sputter deposition of alkali metal-containing precursor films useful to fabricate chalcogenide semiconductors |
| WO2017137271A1 (en) | 2016-02-11 | 2017-08-17 | Flisom Ag | Self-Assembly Patterning for Fabricating Thin-Film Devices |
| US10658532B2 (en) | 2016-02-11 | 2020-05-19 | Flisom Ag | Fabricating thin-film optoelectronic devices with added rubidium and/or cesium |
| WO2017147037A1 (en) | 2016-02-26 | 2017-08-31 | Dow Global Technologies Llc | Method for improving stability of photovoltaic articles incorporating chalcogenide semiconductors |
| ES2943469T3 (es) | 2018-03-08 | 2023-06-13 | Dow Global Technologies Llc | Módulo fotovoltaico y composición encapsulante que tienen resistencia mejorada a la degradación inducida por potencial |
| WO2024203785A1 (ja) * | 2023-03-31 | 2024-10-03 | 出光興産株式会社 | 光電変換素子、光発電モジュール、飛翔体及び光電変換素子の製造方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4623601A (en) * | 1985-06-04 | 1986-11-18 | Atlantic Richfield Company | Photoconductive device containing zinc oxide transparent conductive layer |
| US4915745A (en) * | 1988-09-22 | 1990-04-10 | Atlantic Richfield Company | Thin film solar cell and method of making |
| US4873118A (en) * | 1988-11-18 | 1989-10-10 | Atlantic Richfield Company | Oxygen glow treating of ZnO electrode for thin film silicon solar cell |
| US5028274A (en) * | 1989-06-07 | 1991-07-02 | International Solar Electric Technology, Inc. | Group I-III-VI2 semiconductor films for solar cell application |
| DE4442824C1 (de) * | 1994-12-01 | 1996-01-25 | Siemens Ag | Solarzelle mit Chalkopyrit-Absorberschicht |
| US5730852A (en) * | 1995-09-25 | 1998-03-24 | Davis, Joseph & Negley | Preparation of cuxinygazsen (X=0-2, Y=0-2, Z=0-2, N=0-3) precursor films by electrodeposition for fabricating high efficiency solar cells |
-
1994
- 1994-10-21 SE SE9403609A patent/SE508676C2/sv not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-10-20 JP JP51383596A patent/JP3690807B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-20 US US08/817,693 patent/US5994163A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-20 EP EP95936166A patent/EP0787354B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-20 DE DE69529529T patent/DE69529529T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-20 WO PCT/SE1995/001242 patent/WO1996013063A1/en not_active Ceased
- 1995-10-20 AU AU38205/95A patent/AU3820595A/en not_active Abandoned
- 1995-10-20 ES ES95936166T patent/ES2191716T3/es not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU3820595A (en) | 1996-05-15 |
| DE69529529T2 (de) | 2003-12-11 |
| US5994163A (en) | 1999-11-30 |
| ES2191716T3 (es) | 2003-09-16 |
| SE9403609L (sv) | 1996-04-22 |
| DE69529529D1 (de) | 2003-03-06 |
| WO1996013063A1 (en) | 1996-05-02 |
| SE9403609D0 (sv) | 1994-10-21 |
| EP0787354B1 (en) | 2003-01-29 |
| JPH10512096A (ja) | 1998-11-17 |
| EP0787354A1 (en) | 1997-08-06 |
| JP3690807B2 (ja) | 2005-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE508676C2 (sv) | Förfarande för framställning av tunnfilmssolceller | |
| EP0715358B1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle mit Chalkopyrit-Absorberschicht und so hergestellte Solarzelle | |
| US9054241B2 (en) | Back contact electrodes for cadmium telluride photovoltaic cells | |
| US8309390B2 (en) | Method of manufacturing a photovoltaic device and system for patterning an object | |
| DE19921515A1 (de) | Dünnschichtsolarzelle auf der Basis der Ia/IIIb/VIa- Verbindungshalbleiter und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
| US7297868B2 (en) | Preparation of CIGS-based solar cells using a buffered electrodeposition bath | |
| JP4304638B2 (ja) | Cis系太陽電池及びその製造方法 | |
| US20110232758A1 (en) | Thin film photovoltaic cell | |
| CN101459183A (zh) | 一种太阳能光伏模块及其制造方法 | |
| JPH0528512B2 (sv) | ||
| US20100000589A1 (en) | Photovoltaic devices having conductive paths formed through the active photo absorber | |
| JP2016518720A (ja) | 光電池又は光電池モジュール用のバックコンタクト基材 | |
| JP2016517183A (ja) | 光電池又は光電池モジュール用のバックコンタクト基材 | |
| US20100248417A1 (en) | Method for producing chalcopyrite-type solar cell | |
| KR20130098177A (ko) | Cigs 형 태양 전지 및 그것을 위한 전극이 형성된 유리 기판 | |
| JP2001339081A (ja) | 太陽電池およびその製造方法 | |
| JP2016517182A (ja) | 光電池又は光電池モジュール用のバックコンタクト基材 | |
| US4287383A (en) | Cadmium sulfide photovoltaic cell of improved efficiency | |
| US20120006398A1 (en) | Protective back contact layer for solar cells | |
| JP2012253158A (ja) | 化合物半導体薄膜太陽電池用裏面電極および太陽電池、並びに上記裏面電極を製造するためのスパッタリングターゲット | |
| CN105706244A (zh) | 用于光伏电池或模块的背接触基板 | |
| JP2015099884A (ja) | Cigs太陽電池の製造方法 | |
| JP2006080371A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
| JP2000150932A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
| JP3777281B2 (ja) | 化合物半導体太陽電池及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |