RU2331134C2 - Эмитирующее электроны устройство, источник электронов и устройство отображения с использованием такого устройства и способы изготовления их - Google Patents

Эмитирующее электроны устройство, источник электронов и устройство отображения с использованием такого устройства и способы изготовления их Download PDF

Info

Publication number
RU2331134C2
RU2331134C2 RU2006126895/28A RU2006126895A RU2331134C2 RU 2331134 C2 RU2331134 C2 RU 2331134C2 RU 2006126895/28 A RU2006126895/28 A RU 2006126895/28A RU 2006126895 A RU2006126895 A RU 2006126895A RU 2331134 C2 RU2331134 C2 RU 2331134C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
conductive film
electron
emitting device
section
electrodes
Prior art date
Application number
RU2006126895/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2006126895A (ru
Inventor
Коки НУКАНОБУ (JP)
Коки НУКАНОБУ
Такахиро САТО (JP)
Такахиро САТО
Original Assignee
Кэнон Кабусики Кайся
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Кэнон Кабусики Кайся filed Critical Кэнон Кабусики Кайся
Publication of RU2006126895A publication Critical patent/RU2006126895A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2331134C2 publication Critical patent/RU2331134C2/ru

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02—Main electrodes
    • H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H01J1/316—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode having an electric field parallel to the surface, e.g. thin film cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
    • H01J9/027—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of thin film cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30—Cold cathodes
    • H01J2201/316—Cold cathodes having an electric field parallel to the surface thereof, e.g. thin film cathodes
    • H01J2201/3165—Surface conduction emission type cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
    • H01J2329/02—Electrodes other than control electrodes
    • H01J2329/04—Cathode electrodes
    • H01J2329/0486—Cold cathodes having an electric field parallel to the surface thereof, e.g. thin film cathodes
    • H01J2329/0489—Surface conduction emission type cathodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)

Abstract

Изобретение относится к эмитирующему электроны устройству, источнику электронов с использованием такого устройства и к устройству визуального отображения. Эмитирующее электроны устройство включает в себя подложку, снабженную первым участком, содержащим оксид кремния, и вторым участком, расположенным на одной линии с первым участком и имеющим более высокую теплопроводность, и электропроводную пленку, включающую в себя зазор, при этом электропроводная пленка расположена на подложке, первый и второй участки имеют более высокое сопротивление, чем сопротивление электропроводной пленки, а зазор расположен на первом участке. Предложенное эмитирующее электроны устройство имеет небольшую дисперсию характеристики эмиссии электронов и пониженную «флуктуацию» количества эмиссии электронов. 10 н. и 12 з.п. ф-лы, 27 ил.

Description

Текст описания приведен в факсимильном виде.
Figure 00000001
Figure 00000002
Figure 00000003
Figure 00000004
Figure 00000005
Figure 00000006
Figure 00000007
Figure 00000008
Figure 00000009
Figure 00000011
Figure 00000012
Figure 00000013
Figure 00000014
Figure 00000015
Figure 00000016
Figure 00000017
Figure 00000018
Figure 00000019
Figure 00000020
Figure 00000021
Figure 00000022
Figure 00000023
Figure 00000024
Figure 00000025
Figure 00000026
Figure 00000027
Figure 00000028
Figure 00000029
Figure 00000030
Figure 00000031
Figure 00000032
Figure 00000033
Figure 00000034
Figure 00000035
Figure 00000036
Figure 00000037
Figure 00000038
Figure 00000039
Figure 00000040
Figure 00000041
Figure 00000042
Figure 00000043
Figure 00000044
Figure 00000045
Figure 00000046
Figure 00000047
Figure 00000048
Figure 00000049
Figure 00000050
Figure 00000051
Figure 00000052
Figure 00000053
Figure 00000054
Figure 00000055
Figure 00000056
Figure 00000057
Figure 00000058
Figure 00000059
Figure 00000060
Figure 00000061
Figure 00000062
Figure 00000063
Figure 00000064
Figure 00000065
Figure 00000066
Figure 00000067
Figure 00000068
Figure 00000069
Figure 00000070
Figure 00000071
Figure 00000072
Figure 00000073
Figure 00000074
Figure 00000075
Figure 00000076
Figure 00000077
Figure 00000078
Figure 00000079
Figure 00000080
Figure 00000081
Figure 00000082
Figure 00000083
Figure 00000084
Figure 00000085
Figure 00000086
Figure 00000087
Figure 00000088
Figure 00000089
Figure 00000090
Figure 00000091
Figure 00000092
Figure 00000093
Figure 00000094
Figure 00000095
Figure 00000096
Figure 00000097
Figure 00000098
Figure 00000099
Figure 00000100
Figure 00000101
Figure 00000102
Figure 00000103
Figure 00000104
Figure 00000105
Figure 00000106
Figure 00000107
Figure 00000108
Figure 00000109
Figure 00000110

Claims (22)

1. Эмитирующее электроны устройство, содержащее подложку и электропроводную пленку, расположенную на упомянутой подложке и включающую в себя зазор, в котором
упомянутая подложка включает в себя по меньшей мере первый участок, включающий в себя оксид кремния, и второй участок, расположенный на одной линии с упомянутым первым участком, при этом упомянутый второй участок имеет более высокую теплопроводность, чем теплопроводность упомянутого первого участка, упомянутый первый участок и упомянутый второй участок имеют более высокое сопротивление, чем сопротивление упомянутой электропроводной пленки,
упомянутая электропроводная пленка расположена на упомянутых первом и втором участках, и
упомянутый зазор образован над упомянутым первым участком.
2. Эмитирующее электроны устройство по п.1, в котором упомянутый второй участок расположен на одной линии от обеих сторон упомянутого первого участка с размещением упомянутого первого участка между ними.
3. Эмитирующее электроны устройство по п.1, в котором теплопроводность упомянутого второго участка по меньшей мере в четыре раза больше теплопроводности упомянутого первого участка.
4. Эмитирующее электроны устройство по п.1, в котором удельные сопротивления материалов, образующих упомянутый первый и упомянутый второй участки, составляет 108 Ом·м или выше.
5. Эмитирующее электроны устройство по п.1, в котором поверхностное сопротивление слоя упомянутой электропроводной пленки находится в пределах диапазона от 102 до 107 Ом/□.
6. Эмитирующее электроны устройство по п.1, в котором упомянутый первый участок содержит оксид кремния в качестве основного ингредиента.
7. Эмитирующее электроны устройство, содержащее пару электродов, расположенных на подложке, и электропроводную пленку, соединенную с парой электродов, при этом упомянутая электропроводная пленка включает в себя зазор на ее части, в котором
слой, имеющий более высокое сопротивление, чем сопротивление упомянутой электропроводной пленки, расположен на упомянутой электропроводной пленке, при этом упомянутый слой включает в себя отверстие, через которое упомянутый зазор открыт, а
теплопроводность упомянутой подложки в месте под упомянутым отверстием меньше, чем теплопроводность упомянутого слоя.
8. Источник электронов, содержащий множество эмитирующих электроны устройств, каждое из которых выполнено в соответствии с п.1.
9. Устройство визуального отображения, содержащее источник электронов по п.8 и светоизлучающий элемент, который излучает свет, в ответ на облучение электронами, эмитируемыми из упомянутого источника электронов.
10. Устройство отображения информации, содержащее по меньшей мере приемник, выводящий по меньшей мере одну из визуальной информации, буквенно-цифровой информации и звуковой информации, содержащихся в принимаемом сигнале вещания, и устройство визуального отображения, подключенное к упомянутому приемнику, в котором упомянутое устройство визуального отображения выполнено в соответствии с п.9.
11. Способ изготовления эмитирующего электроны устройства, снабженного электропроводной пленкой, включающей в себя зазор на ее части, заключающийся в том, что:
изготавливают подложку, включающую в себя по меньшей мере первый участок и второй участок, имеющий более высокую теплопроводность, чем упомянутый первый участок, при этом упомянутый второй участок располагают на одной линии с упомянутым первым участком, в котором упомянутый первый и упомянутый второй участки располагают под электропроводной пленкой, имеющей более низкое сопротивление, чем сопротивления упомянутого первого и упомянутого второго участков; и
формируют зазор на части электропроводной пленки над упомянутым первым участком путем пропускания тока через упомянутую электропроводную пленку.
12. Способ изготовления эмитирующего электроны устройства по п.11, в котором упомянутый второй участок располагают на одной линии от обеих сторон упомянутого первого участка, заключая упомянутый первый участок между ними.
13. Способ изготовления эмитирующего электроны устройства по п.11, в котором теплопроводность упомянутого второго участка по меньшей мере в четыре раза больше теплопроводности упомянутого первого участка.
14. Способ изготовления эмитирующего электроны устройства по п.11, в котором удельные сопротивления материалов, образующих упомянутый первый и упомянутый второй участки составляет 108 Ом·м или выше.
15. Способ изготовления эмитирующего электроны устройства по п.11, в котором на упомянутом первом этапе поверхностное сопротивление слоя упомянутой электропроводной пленки находится в пределах диапазона от 102 до 107 Ом/□.
16. Способ изготовления эмитирующего электроны устройства по п.11, в котором упомянутый первый участок содержит оксид кремния в качестве основного ингредиента.
17. Способ изготовления эмитирующего электроны устройства, включающего в себя пару электродов, расположенных на подложке, и электропроводную пленку, соединенную с упомянутой парой электродов, при этом упомянутая электропроводная пленка включает в себя зазор на ее части, содержащий этапы, на которых:
изготавливают упомянутую подложку, снабженную (А) парой электродов, (В) электропроводной пленкой, присоединенной между упомянутой парой электродов, и (С) слоем, включающим в себя отверстие, расположенное между упомянутой парой электродов, для обнажения части упомянутой электропроводной пленки, при этом упомянутый слой расположен на упомянутой электропроводной пленке и имеет более высокое сопротивление, чем сопротивление упомянутой электропроводной пленки; и
формируют зазор под упомянутым отверстием на части упомянутой электропроводной пленки путем пропускания тока через упомянутую электропроводную пленку посредством упомянутой пары электродов, при этом теплопроводность упомянутой подложки на участке, расположенном под упомянутым отверстием, меньше, чем теплопроводность упомянутого слоя.
18. Способ изготовления источника электронов, включающего в себя множество эмитирующих электроны устройств, в котором каждое из упомянутого множества эмитирующих электроны устройств изготавливают способом изготовления по п.11.
19. Способ изготовления устройства визуального отображения, снабженного источником электронов и светоизлучающим элементом, излучающим свет в ответ на облучение электронами, эмитируемыми из упомянутого источника электронов, в котором упомянутый источник электронов представляет собой источник электронов, изготовленный упомянутым способом изготовления по п.18.
20. Эмитирующее электроны устройство, содержащее электроизоляционную подложку; первый и второй электроды, расположенные на подложке противоположно друг другу с разнесением; электропроводную пленку, вытянутую на подложке между первым и вторым электродами, при этом один конец электропроводной пленки соединен с первым электродом, другой конец ее соединен со вторым электродом, а электропроводная пленка включает в себя зазор на месте между первым и вторым электродами; и анод, расположенный над зазором, при этом электроны, эмитируемые при приложении напряжения между первым и вторым электродами, направляются к аноду, в котором упомянутая электроизоляционная подложка включает в себя первый участок из первого электроизоляционного материала под зазором электропроводной пленки и второй участок из второго электроизоляционного материала, прилегающий к первому участку и между первым и вторым электродами, а коэффициент теплового расширения первого электроизоляционного материала меньше, чем коэффициент теплового расширения второго электроизоляционного материала, и удельная теплопроводность второго электроизоляционного материала больше, чем первого электроизоляционного материала.
21. Эмитирующее электроны устройство по п.20, в котором удельная теплопроводность второго электроизоляционного материала по меньшей мере в четыре раза больше удельной теплопроводности первого электроизоляционного материала.
22. Эмитирующее электроны устройство по п.20, в котором ширина (L2) первого участка в направлении расположения затвора электропроводной пленки меньше, чем половина промежутка (L1) между первым и вторым электродами, предпочтительно, меньше одной десятой промежутка (L1) между первым и вторым электродами.
RU2006126895/28A 2005-07-25 2006-07-24 Эмитирующее электроны устройство, источник электронов и устройство отображения с использованием такого устройства и способы изготовления их RU2331134C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-214528 2005-07-25
JP2005214528A JP4920925B2 (ja) 2005-07-25 2005-07-25 電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置とそれらの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006126895A RU2006126895A (ru) 2008-01-27
RU2331134C2 true RU2331134C2 (ru) 2008-08-10

Family

ID=37546931

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006126895/28A RU2331134C2 (ru) 2005-07-25 2006-07-24 Эмитирующее электроны устройство, источник электронов и устройство отображения с использованием такого устройства и способы изготовления их

Country Status (6)

Country Link
US (2) US7679278B2 (ru)
EP (1) EP1753006B1 (ru)
JP (1) JP4920925B2 (ru)
KR (1) KR100860894B1 (ru)
CN (1) CN1913076B (ru)
RU (1) RU2331134C2 (ru)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3935478B2 (ja) * 2004-06-17 2007-06-20 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置の製造方法および該画像表示装置を用いた情報表示再生装置
JP4594077B2 (ja) * 2004-12-28 2010-12-08 キヤノン株式会社 電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置
JP2008027853A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Canon Inc 電子放出素子、電子源および画像表示装置、並びに、それらの製造方法
TWI345110B (en) * 2006-09-05 2011-07-11 Ind Tech Res Inst Color backlight device and liquid crystal display thereof
JP2008293960A (ja) * 2007-04-23 2008-12-04 Canon Inc 導電性部材とこれを用いたスペーサ、及び画像表示装置
TWI344167B (en) * 2007-07-17 2011-06-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Electron-emitting device and fabricating method thereof
JP2009277460A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Canon Inc 電子放出素子及び画像表示装置
JP2009277457A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Canon Inc 電子放出素子及び画像表示装置
JP2009277458A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Canon Inc 電子放出素子及び画像表示装置
JP2010067398A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Canon Inc 電子線装置
JP2010244960A (ja) * 2009-04-09 2010-10-28 Canon Inc 電子線装置及び画像表示装置
JP2011082071A (ja) * 2009-10-08 2011-04-21 Canon Inc 電子放出素子、電子線装置、及び、画像表示装置
US10387617B2 (en) * 2016-08-29 2019-08-20 International Business Machines Corporation Optimization of medicines delivery
CN109285740B (zh) * 2018-11-12 2024-02-09 北京大学 一种片上微型电子源及其制造方法
EP3882948A4 (en) * 2018-11-12 2022-08-03 Peking University MICRO-ELECTRON SOURCE ON CHIP AND METHOD FOR MANUFACTURING IT

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4917466A (en) * 1987-08-13 1990-04-17 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Method for electrically connecting IC chips, a resinous bump-forming composition used therein and a liquid-crystal display unit electrically connected thereby
JPH01132138A (ja) 1987-08-13 1989-05-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd Ｉｃチップの電気的接続方法、樹脂バンプ形成材料および液晶表示器
JP2630983B2 (ja) * 1988-05-02 1997-07-16 キヤノン株式会社 電子放出素子
JP2632359B2 (ja) 1988-05-02 1997-07-23 キヤノン株式会社 電子放出素子及びその製造方法
JP2631007B2 (ja) 1989-03-22 1997-07-16 キヤノン株式会社 電子放出素子及びその製造方法と、該素子を用いた画像形成装置
JP3000467B2 (ja) * 1990-03-09 2000-01-17 キヤノン株式会社 マルチ電子源及び画像形成装置
JP2949639B2 (ja) * 1990-08-10 1999-09-20 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像形成装置及び、それらの製造方法
JPH07130280A (ja) * 1993-11-04 1995-05-19 Canon Inc 電子源材料並びに電子源の製法並びに電子源並びに画像形成装置
JP3320182B2 (ja) 1993-12-28 2002-09-03 キヤノン株式会社 電子放出素子及びこれを用いた電子源、画像形成装置
JP2909702B2 (ja) 1994-09-22 1999-06-23 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像形成装置及びこれらの製造方法
CN1106656C (zh) * 1994-09-22 2003-04-23 佳能株式会社 电子发射器件、电子源及成像设备
JP3320303B2 (ja) * 1996-04-25 2002-09-03 キヤノン株式会社 電子放出素子と電子源と画像形成装置の製造方法および電子放出素子
CN1115708C (zh) 1996-04-26 2003-07-23 佳能株式会社 电子发射器件、电子源和图像形成装置的制造方法
JPH1055753A (ja) * 1996-08-08 1998-02-24 Canon Inc 電子放出素子の製造方法及び電子放出素子並びにそれを用いた電子源及び画像形成装置
JP3592100B2 (ja) * 1998-09-07 2004-11-24 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置
JP3135118B2 (ja) 1998-11-18 2001-02-13 キヤノン株式会社 電子源形成用基板、電子源及び画像形成装置並びにそれらの製造方法
JP3154106B2 (ja) * 1998-12-08 2001-04-09 キヤノン株式会社 電子放出素子、該電子放出素子を用いた電子源並びに該電子源を用いた画像形成装置
JP3323847B2 (ja) * 1999-02-22 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
JP2000251619A (ja) 1999-02-25 2000-09-14 Canon Inc 電子放出素子、および該電子放出素子を用いた電子源、並びに該電子源を用いた画像形成装置
JP3323853B2 (ja) * 1999-02-25 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法
JP3595744B2 (ja) 1999-02-26 2004-12-02 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置
JP2000311587A (ja) 1999-02-26 2000-11-07 Canon Inc 電子放出装置及び画像形成装置
JP3323851B2 (ja) * 1999-02-26 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子放出素子およびこれを用いた電子源およびこれを用いた画像形成装置
JP4298156B2 (ja) * 1999-12-08 2009-07-15 キヤノン株式会社 電子放出装置及び画像形成装置
JP3548498B2 (ja) 2000-05-08 2004-07-28 キヤノン株式会社 電子源形成用基板、該基板を用いた電子源並びに画像表示装置
JP4323679B2 (ja) * 2000-05-08 2009-09-02 キヤノン株式会社 電子源形成用基板及び画像表示装置
JP3634828B2 (ja) * 2001-08-09 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子源の製造方法及び画像表示装置の製造方法
JP3634852B2 (ja) * 2002-02-28 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像表示装置の製造方法
JP3634850B2 (ja) * 2002-02-28 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
CN101340770A (zh) * 2004-01-22 2009-01-07 佳能株式会社 防止带电膜、电子发生装置、隔板及图像显示装置
JP3907667B2 (ja) * 2004-05-18 2007-04-18 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子放出装置およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置
JP3935478B2 (ja) * 2004-06-17 2007-06-20 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置の製造方法および該画像表示装置を用いた情報表示再生装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR100860894B1 (ko) 2008-09-29
CN1913076A (zh) 2007-02-14
EP1753006A3 (en) 2009-07-08
KR20070013232A (ko) 2007-01-30
JP2007035365A (ja) 2007-02-08
RU2006126895A (ru) 2008-01-27
US7679278B2 (en) 2010-03-16
CN1913076B (zh) 2010-11-24
US20070018561A1 (en) 2007-01-25
US7988513B2 (en) 2011-08-02
EP1753006B1 (en) 2011-10-19
EP1753006A2 (en) 2007-02-14
JP4920925B2 (ja) 2012-04-18
US20100120319A1 (en) 2010-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2331134C2 (ru) Эмитирующее электроны устройство, источник электронов и устройство отображения с использованием такого устройства и способы изготовления их
US8299698B2 (en) Field emission display
US8110975B2 (en) Field emission display device
US20030036332A1 (en) Vacuum microelectronic device and method
KR960019422A (ko) 전자 방출 장치 및 그 제조 방법
RU2008129758A (ru) Органическое электролюминесцентное устройство
JPH08236047A (ja) 電気的に保護されたフラットディスプレイスクリーンの陽極
JP2001250494A5 (ru)
EP3144579A1 (de) Led-streifen, lampe
CN102087947A (zh) 场发射电子器件及场发射显示装置
CN102082062A (zh) 场发射显示装置
JP2007227380A (ja) 放射スクリーン用のナノチューブを有するカソード構造
JP2011507155A5 (ja) 電界放出型バックライトユニット
TW200847194A (en) Embedded resistor devices
CN101047054B (zh) 可变电阻和发光装置
US5502347A (en) Electron source
KR101165809B1 (ko) 횡형 전계 방출 소자
JP2000208275A5 (ru)
JPH07506456A (ja) 個々にダイポール保護されたマイクロドットを有するフラットスクリーン
US5920296A (en) Flat screen having individually dipole-protected microdots
JPH0567426A (ja) 電界放出型電子源
JPS63284795A (ja) エレクトロルミネセンス表示素子
KR100582544B1 (ko) 탄소나노튜브를 이용한 전계 방출 소자 및 그 제조 방법
TW428188B (en) Field emission cathode and method for manufacturing same
JP2005524986A (ja) ダイヤモンド材料よりなる電気抵抗コンポーネント

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20140725