RU2009101926A - Система покрытия хпо, включающая материалы, содержащие оксид алюминия и/или титан, и способ ее получения - Google Patents
Система покрытия хпо, включающая материалы, содержащие оксид алюминия и/или титан, и способ ее получения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2009101926A RU2009101926A RU2009101926/02A RU2009101926A RU2009101926A RU 2009101926 A RU2009101926 A RU 2009101926A RU 2009101926/02 A RU2009101926/02 A RU 2009101926/02A RU 2009101926 A RU2009101926 A RU 2009101926A RU 2009101926 A RU2009101926 A RU 2009101926A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- titanium
- coating layer
- aluminum
- grains
- substrate
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/36—Carbonitrides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
- Y10T428/252—Glass or ceramic [i.e., fired or glazed clay, cement, etc.] [porcelain, quartz, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31678—Of metal
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
1. Основа с покрытием, содержащая: ! субстрат и систему покрытия на субстрате, где эта система покрытия включает: ! слой покрытия карбонитрида титана, содержащий зерна карбонитрида титана, причем этот слой покрытия карбонитрида титана нанесен путем химического парофазного осаждения в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост зерен карбонитрида титана при предварительно выбранном размере зерна, и толщина слоя покрытия карбонитрида титана находится в интервале между нижним пределом, равным примерно 0,5 микрометра, и верхним пределом, равным примерно 25 микрометрам; ! первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия, содержащий первые титан/алюминийсодержащие зерна, причем этот первый титан/алюминий-содержащий слой покрытия нанесен путем химического парофазного осаждения в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост первых титан/алюминий-содержащих зерен при предварительно выбранном размере зерна, и толщина этого первого титан/алюминийсодержащего слоя покрытия находится в интервале между нижним пределом, равным выше нуля микрометров и верхним пределом, равным примерно 5 микрометрам, и этот первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия находится дальше от субстрата, чем слой покрытия карбонитрида титана; и ! слой покрытия оксида алюминия, содержащий зерна оксида алюминия, причем этот слой покрытия оксида алюминия нанесен в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост зерен оксида алюминия при предварительно выбранном размере зерна, и толщина этого слоя покрытия оксида алюминия находится в интервале между нижним предело�
Claims (30)
1. Основа с покрытием, содержащая:
субстрат и систему покрытия на субстрате, где эта система покрытия включает:
слой покрытия карбонитрида титана, содержащий зерна карбонитрида титана, причем этот слой покрытия карбонитрида титана нанесен путем химического парофазного осаждения в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост зерен карбонитрида титана при предварительно выбранном размере зерна, и толщина слоя покрытия карбонитрида титана находится в интервале между нижним пределом, равным примерно 0,5 микрометра, и верхним пределом, равным примерно 25 микрометрам;
первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия, содержащий первые титан/алюминийсодержащие зерна, причем этот первый титан/алюминий-содержащий слой покрытия нанесен путем химического парофазного осаждения в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост первых титан/алюминий-содержащих зерен при предварительно выбранном размере зерна, и толщина этого первого титан/алюминийсодержащего слоя покрытия находится в интервале между нижним пределом, равным выше нуля микрометров и верхним пределом, равным примерно 5 микрометрам, и этот первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия находится дальше от субстрата, чем слой покрытия карбонитрида титана; и
слой покрытия оксида алюминия, содержащий зерна оксида алюминия, причем этот слой покрытия оксида алюминия нанесен в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост зерен оксида алюминия при предварительно выбранном размере зерна, и толщина этого слоя покрытия оксида алюминия находится в интервале между нижним пределом, равным выше нуля микрометров и верхним пределом, равным примерно 5 микрометрам, и этот слой покрытия оксида алюминия находится дальше от субстрата, чем первый алюминий/титансодержащий слой покрытия.
2. Основа с покрытием по п.1, где система покрытия дополнительно включает базовый слой покрытия из нитрида титана, нанесенный на субстрат путем химического парофазного осаждения, и слой покрытия карбонитрида титана нанесен таким образом, чтобы он находился дальше от субстрата, чем базовый слой покрытия.
3. Основа с покрытием по п.1, где система покрытия дополнительно включает второй титан/алюминийсодержащий слой покрытия из вторых титан/алюминийсодержащих зерен, где этот второй титан/алюминийсодержащий слой покрытия нанесен путем химического парофазного осаждения в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост вторых титан/алюминийсодержащих зерен при предварительно выбранном размере, и толщина второго титан/алюминийсодержащего слоя покрытия находится в интервале между нижним пределом, равным выше нуля микрометров и верхним пределом, равным примерно 5 микрометрам, и этот второй титан/алюминийсодержащий слой покрытия находится дальше от субстрата, чем слой покрытия оксида алюминия.
4. Основа с покрытием по п.1, где система покрытия дополнительно включает наружный слой покрытия из нитрида титана, нанесенный путем химического парофазного осаждения, и этот наружный слой покрытия нитрида титана имеет толщину в интервале между нижним пределом, равным примерно 0,1 микрометра и верхним пределом, равным примерно 5 микрометрам.
5. Основа с покрытием по п.1, где первые титан/алюминийсодержащие зерна дополнительно содержат одно или более чем одно из приведенного ниже: кислорода и углерода и азота, и вторые титан/алюминийсодержащие зерна дополнительно содержат одно или более чем одно из приведенного ниже: кислорода и углерода и азота.
6. Основа с покрытием по п.1, где субстрат включает любой из приведенных ниже материалов: цементированные карбиды, керамики, металлокерамики, стали и поликристаллический кубический нитрид бора.
7. Основа с покрытием по п.1, где средний размер зерна зерен карбонитрида титана является, равным или меньшим, чем примерно один микрометр, и средний размер зерна первых титансодержащих зерен является, равным или меньшим чем примерно один микрометр, и средний размер зерна первых титан/алюминийсодержащих зерен является, равным или меньшим, чем примерно один микрометр, и средний размер зерна зерен оксида алюминия является, равным или меньшим, чем примерно один микрометр.
8. Основа с покрытием по п.1, где по меньшей мере часть слоя покрытия карбонитрида титана нанесена путем умеренно-температурного химического парофазного осаждения при температуре в интервале между примерно 850 градусами Цельсия и примерно 900 градусами Цельсия.
9. Основа с покрытием по п.8, где по меньшей мере другая часть слоя покрытия карбонитрида титана нанесена путем высокотемпературного химического парофазного осаждения при температуре, равной или большей, чем примерно 950 градусов Цельсия.
10. Основа с покрытием по п.1, где первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия и слой покрытия оксида алюминия составляют последовательность покрытия, и система покрытия включает множество последовательностей покрытия.
11. Основа с покрытием по п.1, где субстрат включает карбид, цементированный связующим материалом, и этот субстрат имеет зону обогащения связующим материалом, начинающуюся на его поверхности или вблизи его поверхности, где эта зона обогащения связующим материалом распространяется внутрь от поверхности субстрата.
12. Основа с покрытием по п.1, где первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия проявляет морфологию нитевидных кристаллов.
13. Основа с покрытием по п.1, где первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия включает слой покрытия оксикарбонитрида титана на слое покрытия карбонитрида титана и слой покрытия оксикарбонитрида титана алюминия на слое покрытия оксикарбонитрида титана, а также слой покрытия зародышеобразования альфа-оксида алюминия на слое покрытия оксикарбонитрида титана алюминия.
14. Основа с покрытием по п.13, где слой покрытия зародышеобразования оксида алюминия включает оксид титана.
15. Основа с покрытием, содержащая:
субстрат и систему покрытия на субстрате, где эта система покрытия включает:
промежуточную область покрытия, которая имеет толщину и первую композиционную составляющую, содержащую алюминий и кислород, и вторую композиционную составляющую, содержащую титан и углерод и азот;
первый композиционный компонент, варьирующий первым способом между максимумом и минимумом, и второй композиционный компонент, варьирующий вторым способом между максимумом и минимумом, где, когда первый композиционный компонент находится при максимуме, второй композиционный компонент находится при минимуме, и, когда второй композиционный компонент находится при максимуме, первый композиционный компонент находится при минимуме; и
базовый слой покрытия нитрида титана, нанесенный путем химического парофазного осаждения на субстрат, и промежуточная область покрытия находится дальше от субстрата, чем базовый слой покрытия.
16. Основа с покрытием по п.15, где система покрытия дополнительно включает титан/алюминийсодержащий слой покрытия, содержащий титан/алюминийсодержащие зерна, нанесенный путем химического парофазного осаждения в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост титан/алюминийсодержащих зерен при предварительно выбранном размере, и эти титан/алюминийсодержащие зерна дополнительно содержат одно или более чем одно из кислорода и углерода и азота, и этот титан/алюминийсодержащий слой покрытия находится дальше от субстрата, чем промежуточная область покрытия.
17. Основа с покрытием по п.15, где первый композиционный компонент и второй композиционный компонент каждый варьирует с периодичностью на протяжении по меньшей мере части толщины промежуточной области покрытия.
18. Основа с покрытием по п.15, где первый композиционный компонент и второй композиционный компонент каждый варьирует с периодичностью на протяжении всей толщины промежуточной области покрытия.
19. Способ изготовления основы с покрытием, включающий стадии:
получения субстрата;
нанесения путем химического парофазного осаждения слоя покрытия карбонитрида титана, содержащего зерна карбонитрида титана, в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост зерен карбонитрида титана при предварительно выбранном размере и регулировать толщину слоя покрытия карбонитрида титана так, чтобы она находилась в интервале между нижним пределом, равным примерно 0,5 микрометра, и верхним пределом, равным примерно 25 микрометрам;
нанесения путем химического парофазного осаждения первого титан/алюминийсодержащего слоя покрытия, содержащего первые титан/алюминийсодержащие зерна, в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост первых титан/алюминийсодержащих зерен при предварительно выбранном размере и регулировать толщину первого титан/алюминийсодержащего слоя покрытия так, чтобы она находилась в интервале между нижним пределом, равным выше нуля микрометров, и верхним пределом, равным примерно 5 микрометрам, и где первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия находится дальше от субстрата, чем слой покрытия карбонитрида титана; и
нанесения путем химического парофазного осаждения слоя покрытия оксида алюминия, содержащего зерна оксида алюминия, в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост зерен оксида алюминия при предварительно выбранном размере и регулировать толщину покрытия оксида алюминия так, чтобы она находилась в интервале между нижним пределом выше нуля микрометров и верхним пределом, равным примерно 5 микрометрам, и слой покрытия оксида алюминия находится дальше от субстрата, чем первый алюминий/титансодержащий слой покрытия.
20. Способ по п.19, где система покрытия дополнительно включает осаждение путем химического парофазного осаждения второго титан/алюминийсодержащего слоя покрытия, содержащего вторые титан/алюминийсодержащие зерна, в течение выбранной продолжительности времени так, чтобы остановить рост вторых титан/алюминийсодержащих зерен при предварительно выбранном размере, и вторые титан/алюминийсодержащие зерна дополнительно содержат одно или более чем одно из кислорода и углерода и азота, и где второй алюминий/титансодержащий слой покрытия находится дальше от субстрата, чем слой покрытия оксида алюминия.
21. Способ по п.19, где зерна карбонитрида титана в слое покрытия карбонитрида титана имеют средний размер зерна, равный или меньший, чем примерно один микрометр, и первые титан/алюминийсодержащие зерна в первом титан/алюминийсодержащем слое покрытия имеют средний размер зерна, равный или меньший, чем примерно один микрометр, зерна оксида алюминия в слое покрытия оксида алюминия имеют средний размер зерна, равный или меньший, чем примерно один микрометр, и вторые титан/алюминийсодержащие зерна во втором титан/алюминийсодержащем слое покрытия имеют средний размер зерна, равный или меньший, чем примерно один микрометр.
22. Способ по п.19, где первый титансодержащий слой покрытия и слой покрытия оксида алюминия составляют последовательность покрытия, и этот способ включает нанесение множества последовательностей покрытия путем ХПО.
23. Способ по п.19, где первый титан/алюминийсодержащий слой покрытия проявляет морфологию нитевидных кристаллов.
24. Способ изготовления основы с покрытием, включающий стадии:
получения субстрата;
нанесения путем химического парофазного осаждения базовой системы покрытия на субстрат;
нанесения путем химического парофазного осаждения первой последовательной системы покрытия, включающей первый титансодержащий слой покрытия и второй алюминийсодержащий слой покрытия; и
нанесения на первую последовательную систему покрытия путем химического парофазного осаждения второй последовательной системы покрытия, включающей третий алюминийсодержащий слой покрытия и четвертый титансодержащий слой покрытия.
25. Способ по п.24, где титансодержащий слой покрытия содержит карбонитрид титана и алюминийсодержащий слой покрытия содержит оксид алюминия.
26. Способ по п.24, где первый последовательный слой покрытия и второй последовательный слой покрытия наносят, по существу, при одних и тех же температуре, давлении и продолжительности времени.
27. Способ по п.24, где титансодержащий слой покрытия первой последовательной системы покрытия и второй последовательной системы покрытия наносят при первом давлении и алюминийсодержащий слой покрытия первой последовательной системы покрытия и второй последовательной системы покрытия наносят при втором давлении, и где первое давление выше, чем второе давление.
28. Способ по п.27, где первое давление по меньшей мере примерно в четыре раза выше, чем второе давление.
29. Способ по п.24, дополнительно включающий:
нанесение на вторую последовательную систему покрытия путем химического парофазного осаждения третьей последовательной системы покрытия, включающей пятый титансодержащий слой покрытия и шестой алюминийсодержащий слой покрытия; и
нанесение на третью последовательную систему покрытия путем химического парофазного осаждения четвертой последовательной системы покрытия, включающей седьмой алюминийсодержащий слой покрытия и восьмой титансодержащий слой покрытия.
30. Способ по п.29, дополнительно включающий:
нанесение на четвертую последовательную систему покрытия путем химического парофазного осаждения пятой последовательной системы покрытия, включающей девятый титансодержащий слой покрытия и десятый алюминийсодержащий слой покрытия.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US11/472,921 | 2006-06-22 | ||
| US11/472,921 US8080312B2 (en) | 2006-06-22 | 2006-06-22 | CVD coating scheme including alumina and/or titanium-containing materials and method of making the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2009101926A true RU2009101926A (ru) | 2010-07-27 |
| RU2446231C2 RU2446231C2 (ru) | 2012-03-27 |
Family
ID=38833971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009101926/02A RU2446231C2 (ru) | 2006-06-22 | 2007-06-12 | Система покрытия хпо, включающая материалы, содержащие оксид алюминия и/или титан, и способ ее получения |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8080312B2 (ru) |
| EP (2) | EP2677059A2 (ru) |
| JP (1) | JP2009541075A (ru) |
| KR (1) | KR20090026154A (ru) |
| CN (2) | CN101473063B (ru) |
| BR (1) | BRPI0712145A2 (ru) |
| CA (1) | CA2659588A1 (ru) |
| MX (1) | MX2008016275A (ru) |
| RU (1) | RU2446231C2 (ru) |
| WO (1) | WO2007149265A2 (ru) |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE528929C2 (sv) * | 2005-04-18 | 2007-03-20 | Sandvik Intellectual Property | Skär belagt med ett skiktsystem och metod att framställa detta |
| WO2007089590A2 (en) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | University Of Utah Research Foundation | Polycrystalline abrasive composite cutter |
| IL182344A (en) † | 2007-04-01 | 2011-07-31 | Iscar Ltd | Cutting with a ceramic coating |
| US20100255337A1 (en) * | 2008-11-24 | 2010-10-07 | Langhorn Jason B | Multilayer Coatings |
| KR101104493B1 (ko) | 2009-06-17 | 2012-01-12 | 한국야금 주식회사 | 절삭공구 또는 내마모성 공구용 표면 피복 박막 |
| DE102009046667B4 (de) * | 2009-11-12 | 2016-01-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper |
| JP5429693B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2014-02-26 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP5499861B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2014-05-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP5499862B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2014-05-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| CN102373412A (zh) * | 2010-08-20 | 2012-03-14 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 真空镀膜件及其制造方法 |
| JP5682500B2 (ja) * | 2010-09-27 | 2015-03-11 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP5682501B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2015-03-11 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| US8734070B2 (en) | 2010-10-20 | 2014-05-27 | Kennametal Inc. | Toolholder with externally-mounted dynamic absorber |
| JP5742572B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2015-07-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| US8409734B2 (en) | 2011-03-04 | 2013-04-02 | Kennametal Inc. | Coated substrates and methods of making same |
| US8524360B2 (en) * | 2011-08-29 | 2013-09-03 | Kennametal Inc. | Cutting insert with a titanium oxycarbonitride coating and method for making the same |
| CN103173761B (zh) * | 2011-12-23 | 2015-08-19 | 株洲钻石切削刀具股份有限公司 | 改善涂层结构的切削刀具及其制备方法 |
| US8866203B2 (en) * | 2012-07-05 | 2014-10-21 | Huey-Jean Lin | Method for forming compound epitaxial layer by chemical bonding and epitaxy product made by the same method |
| EP2940178A4 (en) * | 2012-12-26 | 2016-08-17 | Wu Shanghua | METHOD FOR PRODUCING AN AL2O2 COATING ON A SURFACE OF A SILICON NITRIDE CUTTING TOOL BY PVD AND COMPOSITE COATING METHOD |
| US9428967B2 (en) | 2013-03-01 | 2016-08-30 | Baker Hughes Incorporated | Polycrystalline compact tables for cutting elements and methods of fabrication |
| DE112014001562B4 (de) | 2013-03-21 | 2019-08-08 | Kennametal Inc. | Beschichtungen für Schneidwerkzeuge |
| WO2014153469A1 (en) | 2013-03-21 | 2014-09-25 | Kennametal Inc. | Coatings for cutting tools |
| US9371580B2 (en) * | 2013-03-21 | 2016-06-21 | Kennametal Inc. | Coated body wherein the coating scheme includes a coating layer of TiAl2O3 and method of making the same |
| DE102013104254A1 (de) * | 2013-04-26 | 2014-10-30 | Walter Ag | Werkzeug mit CVD-Beschichtung |
| US9224594B2 (en) | 2013-11-18 | 2015-12-29 | Intermolecular, Inc. | Surface preparation with remote plasma |
| EP3000913B1 (en) * | 2014-09-26 | 2020-07-29 | Walter Ag | Coated cutting tool insert with MT-CVD TiCN on TiAI(C,N) |
| US9719175B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-08-01 | Kennametal Inc. | Multilayer structured coatings for cutting tools |
| US10639725B2 (en) * | 2014-10-29 | 2020-05-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Composite diamond body and composite diamond tool |
| US9650712B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-05-16 | Kennametal Inc. | Inter-anchored multilayer refractory coatings |
| US9650714B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-05-16 | Kennametal Inc. | Nanocomposite refractory coatings and applications thereof |
| US10100405B2 (en) | 2015-04-20 | 2018-10-16 | Kennametal Inc. | CVD coated cutting insert and method of making the same |
| US9890084B2 (en) | 2015-10-01 | 2018-02-13 | Kennametal Inc. | Hybrid nanocomposite coatings and applications thereof |
| CN107058982B (zh) * | 2017-01-23 | 2018-06-19 | 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 | 一种具有多层结构防液涂层的制备方法 |
| WO2019181790A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 京セラ株式会社 | インサート及びこれを備えた切削工具 |
| CN112292482B (zh) * | 2018-06-28 | 2023-09-08 | 山特维克科洛曼特公司 | 涂布的切削工具 |
Family Cites Families (52)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4196233A (en) * | 1974-02-07 | 1980-04-01 | Ciba-Geigy Corporation | Process for coating inorganic substrates with carbides, nitrides and/or carbonitrides |
| CH593346A5 (ru) * | 1974-02-07 | 1977-11-30 | Ciba Geigy Ag | |
| EP0044872B1 (en) | 1979-07-20 | 1985-09-18 | Toray Industries, Inc. | Process for selectively separating water-soluble valuable materials from an aqueous solution containing same |
| US4714660A (en) * | 1985-12-23 | 1987-12-22 | Fansteel Inc. | Hard coatings with multiphase microstructures |
| US4842710A (en) * | 1987-03-23 | 1989-06-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of making mixed nitride films with at least two metals |
| US4984940A (en) * | 1989-03-17 | 1991-01-15 | Kennametal Inc. | Multilayer coated cemented carbide cutting insert |
| CA1327277C (en) | 1989-03-17 | 1994-03-01 | William A. Bryant | Multilayer coated cemented carbide cutting insert |
| SE464818B (sv) * | 1989-06-16 | 1991-06-17 | Sandvik Ab | Belagt skaer foer skaerande bearbetning |
| US5164051A (en) * | 1989-09-22 | 1992-11-17 | Showa Denko K. K. | Method for vapor phase synthesis of diamond on electrochemically treated substrate |
| WO1991005075A1 (fr) * | 1989-09-29 | 1991-04-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Element dur revêtu en surface pour outils de coupe et pour outils resistant a l'abrasion |
| US5436071A (en) * | 1990-01-31 | 1995-07-25 | Mitsubishi Materials Corporation | Cermet cutting tool and process for producing the same |
| US5330853A (en) * | 1991-03-16 | 1994-07-19 | Leybold Ag | Multilayer Ti-Al-N coating for tools |
| SE9101469D0 (sv) * | 1991-05-15 | 1991-05-15 | Sandvik Ab | Etsmetod |
| EP0562108B1 (fr) * | 1991-10-14 | 1996-12-27 | Commissariat A L'energie Atomique | Materiau multicouche pour revetement anti-erosion et anti-abrasion |
| SE501527C2 (sv) * | 1992-12-18 | 1995-03-06 | Sandvik Ab | Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt |
| KR0165923B1 (ko) * | 1993-05-31 | 1999-01-15 | 하지메 히토추야나기 | 피복 절삭공구 및 그 제조방법 |
| US5585176A (en) * | 1993-11-30 | 1996-12-17 | Kennametal Inc. | Diamond coated tools and wear parts |
| SE514737C2 (sv) * | 1994-03-22 | 2001-04-09 | Sandvik Ab | Belagt skärverktyg av hårdmetall |
| US5920760A (en) * | 1994-05-31 | 1999-07-06 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated hard alloy blade member |
| US5545490A (en) * | 1994-06-21 | 1996-08-13 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface coated cutting tool |
| US5700551A (en) * | 1994-09-16 | 1997-12-23 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Layered film made of ultrafine particles and a hard composite material for tools possessing the film |
| EP0709483B1 (en) | 1994-10-28 | 2002-04-10 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Multilayer material |
| ATE210743T1 (de) * | 1995-02-17 | 2001-12-15 | Seco Tools Ab | Sinterkarbidsubstrat mit mehrschichten aus aluminien |
| US5600551A (en) * | 1995-08-02 | 1997-02-04 | Schenck-Accurate, Inc. | Isolated power/voltage multiplier apparatus and method |
| US5879823A (en) * | 1995-12-12 | 1999-03-09 | Kennametal Inc. | Coated cutting tool |
| JPH10310494A (ja) * | 1996-05-31 | 1998-11-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ダイヤモンド被覆膜付き超硬部材の製造方法 |
| JP2974284B2 (ja) * | 1996-11-19 | 1999-11-10 | 日立ツール株式会社 | 被覆超硬工具の製造法 |
| SE518151C2 (sv) | 1997-12-10 | 2002-09-03 | Sandvik Ab | Multiskiktbelagt skärverktyg |
| SE518134C2 (sv) | 1997-12-10 | 2002-09-03 | Sandvik Ab | Multiskiktbelagt skärverktyg |
| JP3031907B2 (ja) * | 1998-03-16 | 2000-04-10 | 日立ツール株式会社 | 多層膜被覆部材 |
| US20010016273A1 (en) | 1998-05-08 | 2001-08-23 | Krishnan Narasimhan | Multilayer cvd coated article and process for producing same |
| GB2337274B (en) | 1998-05-12 | 2001-10-17 | Notetry Ltd | Method and apparatus for agitating the contents of a container |
| DE69901985T2 (de) | 1998-07-29 | 2002-12-05 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | Aluminiumoxid-beschichteter Werkzeugteil |
| US6251508B1 (en) * | 1998-12-09 | 2001-06-26 | Seco Tools Ab | Grade for cast iron |
| SE516017C2 (sv) * | 1999-02-05 | 2001-11-12 | Sandvik Ab | Hårdmetallskär belagt med slitstark beläggning |
| WO2000052225A1 (en) | 1999-03-02 | 2000-09-08 | Kennametal Inc. | A tool having a multilayer coating comprising multiple mtcvd layers |
| JP2001107237A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-04-17 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | 表面被覆焼結合金部材 |
| DE19962056A1 (de) * | 1999-12-22 | 2001-07-12 | Walter Ag | Schneidwerkzeug mit mehrlagiger, verschleissfester Beschichtung |
| US6472060B1 (en) * | 2000-01-19 | 2002-10-29 | Seco Tools Ab | Coated body with nanocrystalline CVD coating for enhanced edge toughness and reduced friction |
| SE519339C2 (sv) * | 2000-11-22 | 2003-02-18 | Sandvik Ab | Skärverktyg belagt med aluminiumoxid och sätt att tillverka detsamma |
| AT5008U1 (de) * | 2001-02-09 | 2002-02-25 | Plansee Tizit Ag | Hartmetallverschleissteil mit mischoxidschicht |
| EP1311712A2 (de) | 2001-03-27 | 2003-05-21 | Widia GmbH | Verfahren zur erhöhung der druckspannung oder zur erniedrigung der zugeigenspannung einer schicht |
| US6689450B2 (en) * | 2001-03-27 | 2004-02-10 | Seco Tools Ab | Enhanced Al2O3-Ti(C,N) multi-coating deposited at low temperature |
| SE522735C2 (sv) * | 2001-05-30 | 2004-03-02 | Sandvik Ab | Aluminiumoxidbelagt skärverktyg |
| EP1323847A3 (en) * | 2001-12-28 | 2005-09-14 | Seco Tools Ab | Coated cemented carbide body and method for use |
| SE526604C2 (sv) * | 2002-03-22 | 2005-10-18 | Seco Tools Ab | Belagt skärverktyg för svarvning i stål |
| SE525581C2 (sv) * | 2002-05-08 | 2005-03-15 | Seco Tools Ab | Skär belagt med aluminiumoxid framställt med CVD |
| SE526603C3 (sv) * | 2003-01-24 | 2005-11-16 | Sandvik Intellectual Property | Belagt hårdmetallskär |
| SE527346C2 (sv) * | 2003-04-24 | 2006-02-14 | Seco Tools Ab | Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret |
| US7592077B2 (en) * | 2003-06-17 | 2009-09-22 | Kennametal Inc. | Coated cutting tool with brazed-in superhard blank |
| JP4205546B2 (ja) * | 2003-09-16 | 2009-01-07 | 株式会社神戸製鋼所 | 耐摩耗性、耐熱性および基材との密着性に優れた積層皮膜の製造方法 |
| US7455918B2 (en) * | 2004-03-12 | 2008-11-25 | Kennametal Inc. | Alumina coating, coated product and method of making the same |
-
2006
- 2006-06-22 US US11/472,921 patent/US8080312B2/en active Active
-
2007
- 2007-06-12 JP JP2009516513A patent/JP2009541075A/ja active Pending
- 2007-06-12 RU RU2009101926/02A patent/RU2446231C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2007-06-12 CA CA 2659588 patent/CA2659588A1/en not_active Abandoned
- 2007-06-12 CN CN2007800229235A patent/CN101473063B/zh active Active
- 2007-06-12 WO PCT/US2007/013773 patent/WO2007149265A2/en active Search and Examination
- 2007-06-12 MX MX2008016275A patent/MX2008016275A/es unknown
- 2007-06-12 EP EP20130176008 patent/EP2677059A2/en not_active Withdrawn
- 2007-06-12 BR BRPI0712145-8A patent/BRPI0712145A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2007-06-12 CN CN2012101014267A patent/CN102634771A/zh active Pending
- 2007-06-12 KR KR1020087030882A patent/KR20090026154A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-06-12 EP EP07809480A patent/EP2047010A4/en not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-06-12 US US12/137,633 patent/US8221838B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20070298232A1 (en) | 2007-12-27 |
| EP2047010A2 (en) | 2009-04-15 |
| US8221838B2 (en) | 2012-07-17 |
| US8080312B2 (en) | 2011-12-20 |
| JP2009541075A (ja) | 2009-11-26 |
| EP2677059A2 (en) | 2013-12-25 |
| WO2007149265A3 (en) | 2008-02-21 |
| EP2047010A4 (en) | 2012-07-18 |
| CN102634771A (zh) | 2012-08-15 |
| BRPI0712145A2 (pt) | 2012-01-24 |
| KR20090026154A (ko) | 2009-03-11 |
| WO2007149265A2 (en) | 2007-12-27 |
| MX2008016275A (es) | 2009-01-15 |
| RU2446231C2 (ru) | 2012-03-27 |
| US20080260947A1 (en) | 2008-10-23 |
| CN101473063A (zh) | 2009-07-01 |
| CN101473063B (zh) | 2012-11-28 |
| CA2659588A1 (en) | 2007-12-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2009101926A (ru) | Система покрытия хпо, включающая материалы, содержащие оксид алюминия и/или титан, и способ ее получения | |
| JP2009541075A5 (ru) | ||
| RU2016131091A (ru) | Покрытый оксидом алюминия режущий инструмент | |
| US8394513B2 (en) | Body coated with hard material | |
| US8012611B2 (en) | Surface-coated cutting tool | |
| CN104085142B (zh) | 一种刀片基体上的涂覆涂层 | |
| KR20120102076A (ko) | 금속, 초경합금, 서멧 또는 세라믹 물질로 구성된 코팅체 및 상기 코팅체의 코팅 방법 | |
| JPS63192870A (ja) | 酸化物コーティングを有する耐摩耗性物品及び酸化物コーティングを付着する方法 | |
| CN101305112B (zh) | 用于制备涂覆底材型体的方法、具有涂层的底材型体及此涂覆底材型体的用途 | |
| SE520795C2 (sv) | Skärverktyg belagt med aluminiumoxid och process för dess tillverkning | |
| JPH01108187A (ja) | 珪素基基材上への耐酸化性耐高温熱サイクル性コーティング及びその製造方法 | |
| CN104099580A (zh) | 一种具有增强耐磨性和韧性的纳米柱状晶的刀具涂层 | |
| JP3671623B2 (ja) | 被覆超硬合金 | |
| Tang et al. | Preparation and performance of diamond coatings on cemented carbide inserts with cobalt boride interlayers | |
| RU2019131362A (ru) | Снабженный покрытием режущий инструмент | |
| KR100832868B1 (ko) | 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 부재용 박막 | |
| US20120225285A1 (en) | Coated Substrates and Methods of Making Same | |
| US10851021B2 (en) | Article having coating including compound of aluminum, boron and nitrogen | |
| JP2876130B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
| US7820308B2 (en) | Surface-coated hard material for cutting tools or wear-resistant tools | |
| JP3117978B2 (ja) | 耐摩耗性物品及び製造方法 | |
| KR20090118669A (ko) | 절삭공구 / 내마모성 공구용 표면 피복부재용 박막 | |
| US20140308511A1 (en) | Multi-Layer Coating with Cubic Boron Nitride Particles | |
| JP2005271123A (ja) | 被覆部材 | |
| JPH08176825A (ja) | ダイヤモンド被膜含有複合被覆焼結合金 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20130613 |