SE527346C2 - Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret - Google Patents
Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäretInfo
- Publication number
- SE527346C2 SE527346C2 SE0301196A SE0301196A SE527346C2 SE 527346 C2 SE527346 C2 SE 527346C2 SE 0301196 A SE0301196 A SE 0301196A SE 0301196 A SE0301196 A SE 0301196A SE 527346 C2 SE527346 C2 SE 527346C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- coating
- layer
- hkl
- layers
- grain size
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 74
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 69
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 21
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 229910007926 ZrCl Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 14
- -1 titanium halide Chemical class 0.000 claims description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 150000001722 carbon compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011195 cermet Substances 0.000 claims description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 claims 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 52
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 229910003865 HfCl4 Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- PDPJQWYGJJBYLF-UHFFFAOYSA-J hafnium tetrachloride Chemical compound Cl[Hf](Cl)(Cl)Cl PDPJQWYGJJBYLF-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001060 Gray iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007932 ZrCl4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 101150086731 ges-1 gene Proteins 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007171 neuropathology Effects 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- DUNKXUFBGCUVQW-UHFFFAOYSA-J zirconium tetrachloride Chemical compound Cl[Zr](Cl)(Cl)Cl DUNKXUFBGCUVQW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
Classifications
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E02—HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
- E02D—FOUNDATIONS; EXCAVATIONS; EMBANKMENTS; UNDERGROUND OR UNDERWATER STRUCTURES
- E02D29/00—Independent underground or underwater structures; Retaining walls
- E02D29/02—Retaining or protecting walls
- E02D29/0258—Retaining or protecting walls characterised by constructional features
- E02D29/0266—Retaining or protecting walls characterised by constructional features made up of preformed elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/36—Carbonitrides
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
- A01G—HORTICULTURE; CULTIVATION OF VEGETABLES, FLOWERS, RICE, FRUIT, VINES, HOPS OR SEAWEED; FORESTRY; WATERING
- A01G9/00—Cultivation in receptacles, forcing-frames or greenhouses; Edging for beds, lawn or the like
- A01G9/02—Receptacles, e.g. flower-pots or boxes; Glasses for cultivating flowers
- A01G9/022—Pots for vertical horticulture
- A01G9/025—Containers and elements for greening walls
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E02—HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
- E02D—FOUNDATIONS; EXCAVATIONS; EMBANKMENTS; UNDERGROUND OR UNDERWATER STRUCTURES
- E02D2600/00—Miscellaneous
- E02D2600/20—Miscellaneous comprising details of connection between elements
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E02—HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
- E02D—FOUNDATIONS; EXCAVATIONS; EMBANKMENTS; UNDERGROUND OR UNDERWATER STRUCTURES
- E02D2600/00—Miscellaneous
- E02D2600/40—Miscellaneous comprising stabilising elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P60/00—Technologies relating to agriculture, livestock or agroalimentary industries
- Y02P60/20—Reduction of greenhouse gas [GHG] emissions in agriculture, e.g. CO2
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
- Y10T428/252—Glass or ceramic [i.e., fired or glazed clay, cement, etc.] [porcelain, quartz, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Paleontology (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Environmental Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
45 ; 527 346 2 4,619,886. Dopningsmedel kan även användas för att iörfina komstorleken hos MTCYD-skikt. An- vändning av CO dopning för att åstadkomma nanokom-MTCVD Tí(C,N) skikt visas 1 U.S. 6,472,060.
U.S. 6,472,060 beskriver en metod där relativt höga mängder av CO, fi-ân omkring 5 till 10 %, företrädesvis från omkring 7 till 9% av den totala gasformiga blandningen, används i MTCVD för att erhålla en kornstorlek av storleksordningen 25 nm eller mindre, helst 10 nm eller mindre. De CO-dopade nanokorn MTCVD skikten uppvisar ökad seghet men med reducerat gropförslítnings- motstånd som en följd.
Den har tidigare visats (U .S. 6,472,060) att kornstorleken hos MTCVD skikt kan minskas betydligt och till nanokornomrádet. Dessa nanokrístallina skikt skulle företrädesvis vara belagda som yttersta skikt. De nanokristallina skikten är hårdare vid rumstemperatur men uppvisar kom- gränsglidning ledande till plastisk deformation vid högre temperaturer (vid högre skfihastigheær).
Beroende på den ytterst tina kornstorleken i dessa belâggningar, ökas ytans jämnhet och fi-iktionskoefficíenten reduceras. Följaktligen kan nanokristallina skikt användas som fi-iktionsreducerandelsrnörjande skikt och skulle, som ovan nämnts, tttlällas ovanpå den existerande beläggn Det finns följaktligen fortfarande behov av att optimera och styra kornstorleken hos MTCVD skikt med avseende på materialet som skall bearbetas.
FÖREMÅL FÖR OCH SAMMANFATTNING AV UPPFINNINGEN Det är ett ändamål med denna uppfinning att undvika eller mildra problemet av tidigare känd teknik genom att förelägga en beläggning med en styrd kornstorlek, just över nanokornområ- det och styrd morfologi. I detta fall är kolumnär struktur töredragen.
Enligt denna uppfinning kan kornstorleken hos MTCVD Tí(C,N) minskas, samtidigt som den ko- lumnâra strukturen behålls. På detta sätt minskas problemet med korngränsglidning vid högre tem- peraturer. Sålunda består belâggningen enligt denna uppfinning av nâlformiga kolumnâxa kristaller.
Fin-komig, kolurnnär struktur företer mindre komgransglidning än líkaxliga skikt av samma kornstorlek gör vid samma temperatur och skall användas i kolstål eller grått giutjârn där slitstyrka är viktig. Därför är den idealiska situationen i ovan nämnda slitstyrkekrâvande tillämpningar att styra beläggningsprocessen så att Ti(C,N)-skiktet består av fina nålformiga (kolumnära) kom. Det har visat sig möjligt att styra CVD processen och komstorlek och form med anvmdning av textin- oeh struktur-modifierande agenter (betecknade dopningsmedel i den här ansökan) i sådan grad att dessa strukturer kan 'framställas industriellt.
I föreliggande uppfinning föreligger en belagd kropp med ett MTCVD skikt av Ti(C,N) som en del av en multiskiktbeläggning eller som ett enda skikt, sagda skikt med en kolumnär kornmor- fologi med kornbredd av 30-300 nm, företrädesvis fiån 50 till 200 nm och helst från 50 till 100 nm.
Vidare föreligger ett sätt att bilda en belagd kropp av MT CVD Ti(C,N) omfattande att bringa en kropp i kontakt med en gas innehållande titanhalid, kväve- och kolförening och en redu- cerande agent. Enligt uppfinningen kan en styrd dopningsmedeltillsats av CO, ZrCl4, HfCh och/eller AlClg användas till att bilda 'I“1(C,N)-skíkt i det specificerade intervallet av kornstorlek och form.
De ovannämnda skikten kan användas i kombination av andra CVD material såsom alumi- niumoxid att förbättra prestanda och slitstyrka av tidigare kända produkter.
KORT BESKRIVNING AV FIGURERNA Figl visar ytmorfologin hos en MTCVD Ti(C,N) enligt kand teknik med anvhdning av SEM vid en förstoring av 10000 gånger.
Fig2 visar ytmorfologin av ett modifierat MTCVD Ti(C,N)-skíkt enligt denna uppfinning med anvmdning av SEM vid en förstoring av 10000 gånger.
Fig.3 visar FEG SEM bild med hög upplösning (förstoring omkring 50000 gånger) av ytan av beläggníngen enligt denna uppfinning. 40 527 346 3 Fig.4 visar ett typiskt röntgendiffraktogram av en beläggning enligt denna uppfinning bestå- ende av fina, kolumnära korn.
Fig.5 visar ett typiskt röntgendifli-aktograrn av en beläggning bestående av fina, likaxliga korn.
DETALIERAD BESKRIVNING AV FÖREDRAGNA UTFÖRINGSFORMER AV UPPFINNINGEN Enligt föreliggande uppfinning föreliiger ett skär bestående av ett substrat av hârdmetall, cermet eller keramik åtminstone delvis belagt med en beläggning med en total tjocklek av 10-40 pm, företrädesvis 15-25 pm, bestående av ett eller flera refi-aktära skikt av vilka åtminstone ett skikt är ett MTCVD-Ti(C,N)-skikt med en tjocklek av 3 till 30 pm, företrädesvis 5-20 pm, varvid skiktet bildats genom att bringa substratet i kontakt med en gas irmehållande titanhalid, kväve- och kolförening och en reducerande agent vid en temperattn av 700 till 1000°C. Det har överraskande visat sig att fiyrd minskning av kornstorleken hos MTCVD-skikt vid samtidigt upprätthållande av den kolumnära kornmorfologin förbättrar slitstyrkan mer än 100% över kända MT CVD skikt i kolstål och gjutjärn. Speciellt viktigt är att gropförslimingsmotståndet förbättras vid bibehållen seghet. Beläggningen enligt denna uppfinning ökar skär-prestanda vid högre skärhastigheter och kan kombineras med aluminiumoxidsldkt för att skräddarsy ett verktyg för extrema höghastighetsfillâmpningar. Processen kan utföras på ett styrt sätt med användning av moderna CVD reaktorer från typiska MTCVD-temperattirer av storleksordningen 800-900 °C upp till 1000 °C.
Dekolumnärakornen skall haenbredd fiån 50tíll 100 nm. L/Wförhållandet (Längd/Bredd) skall vara högre än 10. Detta slag av skikt består följaktligen av fina, nálformiga kom och visar klart förbättrad slítstyrka. Slitstyrkan hos dessa skikt kan överskrida den för tidigare kända MTCVD Ti(C,N) skikt ittfällt fi-ân TiCl4-CH3CN-N2-H2 systemet med upp till åtskilliga hundra procent.
Sagda skikt kan utfällas ovanpå ett a-AlgOg, 'y-Alg03 eller x-Al203 skikt vilka kan ha utfällts ovanpå sagda skikt.
Fin-kornig, kolumnär morfologi kan erhållas med användning av ytterst låga och styrda ni- våer av CO och/eller ZrCl4 eller HfCl4 dopning. Dessa dopningsmedel kan tillsättes samtidigt och företrädesvis tillsammans med AlClg. Mängden av CO bör vara från 0.1 till l.0% och helst fiån 0.2 till 08%. 21014 och Hfïïh bör tillsättes i intervallet 0.1 till 05%, företrädesvis fitán 0.2 till 0.3% och AICI; bör vara i intervallet 0.5 till 3.0%, företrädesvis fiån 1.0 till l.5%. Mycket låga mängder av C02 kan användas. I detta fall vill vi undvika likaxlig kornmorfologí och såltmda skall C02 använ- das med yttersta försiktighet. C02 måste vara 0.0l-0.l%, företrädesvis från 0.05 till 0.08% av den totala genomströnniingen med ett högt CO/CO; förhållande. CO/CO; förhållandet bör vara högre än 8, företrädesvis högre än 10. Beläggningen utförs vid en temperatur av från 700 till 1000°C.
I Tabell 1 visas effekten av tillsats av ZrCh, HfCl4, AlClg, CO eller CO; dopningsmedel i TiCla-CHgCN-Nz-Hz-systernet. Beläggningen utfälldes vid 880 °C och vid ett totaltryck av 70 mbar.
Tabell 1 co co, A101; zfcl. Hfcl., Koiumna 0.1 - im ----- ----- *__- .__-_- Kohnnnar 0.1 - 1.o% ---- 1.0 - 211% ---- ___- Kolumner ___-__»- ---- ----- 0.1 _ 05% ---- Kolmmar 0.1 - 111% ----- ----- 0.1 - 05% ---- Kolumna- ----~ ---- 1.0 - 2.o% 0.1 - 05% ---- Kolumnar 0.1 - 1% ----- 1.0 - 2.o% 0.1 - 05% --- Kolumner ----- .__-m- ----- ---- o 1- 05% Kemmnn o.1- 1.o% »__-__- ----- ___-W- o.1-o.s% Likaxlig 1.5 -4.o% ----- ----- ...m- ...w 527 346 4 Likaxlig ___- om _ o.os% ----- ---- --- Likaxrig ------ ----- ----- 1-5-5-0°/° --- Likaxlig 1.5-4.0 2.5 -5 .5% ---- ---- Likaxrig 1.s-4.o% o.14>.4 2.s-s.s% ---- ---- Liknar; o.s4.o% ----- 1 s-s.s % ---- Likaxng o.s4.o% o. 141.4 2.5 - 55% Ls-as % --- Likaxrig o.s4.o% ---- ----- ---- 0-1 ~ 35% Likaxrii o.s-4.o% 0.1-of: ----- ---- 0.1 - 35% Enligt denna uppfinning har det även befimnits vara möjligt att styra och erhålla en líkformig ko- lurnnär kornstorlek i ett skikt oberoende av den totala tjockleken av sagda beläggning. Det är klart att, till exempel, från US 6,22l,469 komstorleken beror på belâggningens tjocklek. Speciellt kända CVD skikt visar stor variation i komstorlek; i närheten av substratet kan beläggflíflgfin bestå av sub- mikrona kom medan ovanpå beläggningen kan komstorleken vara av storleksordningen åtskilliga mikrometer.
Föreliggande uppfinning sätter skärprestanda i samband med tillväxttextrrren. Tillväxttexttr- ren kan beskrivas med texturkoeñicienten (TC), som bestäms på följande sätt: -Mr i .Iam -1 Tim) " Io(hkl) in zrothknl där I(hkl) = intensitet för (hkD-reflexen Io(hkl) = standardintensitet enligt JCPDS kort no 42-1489 n = antal reflexer använda i beräkningen (hkl) reflexer är: (1 l I), (200), (220), (311), (222), (400), (331), (420), (422), (511)- Texturkoefficienten för alla skikt enligt denna uppfinning bör vara på följande sätt: Textur- koeflicienten för 422 (TC(422)) bör vara högre än 5.0, företrädesvis högre än 7 eller texturkoefiicienten för 331 ('I'C(33I)) bör vara högre än 5 och företrädesvis högre än 6.
Linjebreddningen är också ett användbart medel att styra att det framställda skiktet inte har kommit in i nanokornomrâdet visat genom kraftig Iinjebreddning. Uttryckt i absolut värde (20°) bör FWHM vara mindre än l.5°, företrädesvis mindre ü 1.2° helst mindre än 1.0 °.
Kemisk sammansättning hos det erhållna skiktet kan beskrivas med följande formel (Ti,,Al,,X,)(C.,O,,Nv), där x, u och v >0 och åtminstone en av y, z och w >0. ' en av skiktet enligt denna uppfinning bör variera inom följande gränser: x är fiån 0.3 till 0.8, y är fiân 0.0 till0.l, züfiån0.0till0.l,uärfrån0.3 till0.9, wärfiän 0.0 till 0.1ochyârfiårr0.3 till 0.6.1 formeln (TiXAIyXIXCuOWNV) kan X väljas bland Zr, Hf', Nb, Ta eller Mo även om Zr och Hf används företrädesvis.
Substratet omfattar ett hårdmaterial såsom hârdmetall, cermets, keramik.
Exempel 1 I detta fall användes endast CO och ZrCL; för att erhålla kolurnnär struktmer med styrd, minskad, komstorlek. Följande fem experimentella skikt (betecknade skikt 1, 2, 3, 4 och 5) fram- ställdes vid ett tryck av 70 mbar och vid en temperatur av 880°C enligt processdata angivna i Tabell 2. Jämfört med U.S. 6,472,060, användes betydligt mindre mängder av dopning utom beläggning 5, som fiarnstâlldes enligt känd teknik U.S. 6,472,060. För att åstadkomma finkornig kolumnm' strukturbören maximal mängd av CO varamindreän 1%, företrädesvis från 0.1 till 03%. I det här exemplet användes 0.8% CO (Beläggning 2). Beläggning 3 utfälldes vid en CO-dopningsnivâ av 527 346 5 2.5% for att erhålla likaxlig kommorfologi. Beläggning 4 utíälldes med användning av ZrCh dop- ning flir att erhålla kolumnär morfologi. Beläggning 5 utßlldes med anvüdning av 8% CO enligt U.S. 6,472,060 för att erhålla ett nanokornskikt. Beläggning 1 utfiilldes enligt kmd teknik utan nâ- gon dopningsmedeltillsats och är ett exempel på en typisk struktur hos en MTCVD beläggning.
Hårdmetallskär med en sammansättning av 6.0% Co och som balans WC (hårdhet omkring 1580 HV) användes som substrat i alla Exempel. Följande geometri användes í skärproven: SNUNl20408 och CNMGl20408-M3.
Tabell 2 H2 N; CHgCN TiCh ZrC14 AlClg C02 CO (l/min) (l/mifl) (1/ min) (Vmifl) (%) (%) (%) (Vi) Beläggning 1 balans 45.5 0.55 2.1 0.0 0.0 0.0 0.0 Beläggning 2 balans 45.5 0.55 2.1 0.0 0.0 0.0 0.8 Beläggning 3 balans 45.5 0.55 2.1 0.0 0.0 0.0 2.5 Beläggning 4 balans 45 .5 0.55 2.1 0.5 0.0 0.0 0.0 Beläggning 5 balans 45.5 0.55 2.1 0.0 0.0 0.0 8.0 Exempel 2 Beläggningen fiån Exempel 1 undersöktes med användning av transmissionselektronrnikro- skopí (TEM) och svepelelctronmikroskopi (SBM) för att klarlägga inverkan av CO och ZrCL; dop- ning på kornstorlek oeh morfologi. Det verkade klart även i SEM att hos den ty- piska MTCVD Ti(C,N) beläggningen bestämde av stora kolumnära kristaller (Fig. 1) kan förfinas med CO dopning. Det erhållna skiktet bestående av nålforniiga kristaller som visats i Fig. 2 vid en CO dopningsnivå av 0.8%. Liknande ytrnorfolog krmde erhållas antingen vid Z1Cl4- eller HfCl4- dopning ensam eller tillsammans med CO. Den likaxliga kornmorfologin uppnåddes vid en CO dopning nivå av 2.5%. TEM visade att vid denna CO nivå kommer komstorleken inte in i nano- kornområdet och är omkring 60 nm. Beläggning 4, som utíälldes med användning av ZrCl4 dopning bestående av kolumnara kom med något mindre nålformiga kom m: Beläggning 2. Komstorleken hos Beläggning 5 är i nanokornomrâdet. Resultatet av beläggningsexperimenten är sammanställda i Tabell 3.
Tabell 3 1500 x 4000 nm 90 x 650 nm 60 nm 75 x 600 nm 14 nm N *) Mätt vid TEM; **) Känd teknik Stor kolurnnär Nål- Exempel 3 Följande fem experimentella skikt (betecknade skikt 6, 7, 8, 9 och 10) fi-amställdes vid ett tryck av 70 mbar och vid en temperatur av 880°C enligt piocessdata í Tabell 4. Beläggningens tjocklek var 8 um fór alla skikt. C02 användes inte i det här särskilda exemplet men kxmde applice- ras med ytterst noggrannhet däriör att skikt kan i närvaro av denna preeursor lätt komma in i nano- komområdet med likaxlig kornstorlek.
Beläggningen studerades med användning av TEM tillsammans med EDS/WDS. Resultatet presenteras i Tabell 5. Ytmorfologín hos Beläggning 9 visas i Fig.3. »527 346 Tabell 4 H2 N; CHgCN TiCl4 ZICL; AICI; C02 CO (lfmíß) I/mifl) (Umifl) (Vmin) (%) (%) (WL (%) Belagling 6 balans 45.5 0.55 2.1 0.1 0.0 0.0 0.0 Å g 7 Balans 45.5 0.55 2.1 0.3 0.0 0.0 0.0 Bel Balans 45.5 0.55 2.1 0.3 0.0 0.0 0.5 åcgggning 9 Balans 45.5 0.55 2.1 0.5 1.5 0.0 0.0 Beläggning 10 Balans 45.5 0.55 2.1 0.5 1.5 0.0 0.5 Tabell 5 Komstorlelñ) Morfologi Analys ing 6 70 x 650 nm Nål-fong Spår av Zl' ng 7 55 x 750 nm Nål-fonnig 1.32 vikt % Zl' 45 x 820 nm Nâl-formÅg 1.33 vikt % Zr Beläggning 9 75 x 400 nm Nål-formig 2.11 vikt % Zr 0.91 vikt % Al Beläggning 10 90 x 450 nm Nål-forlnig 2.08 vikt % Zr 1.22 vikt % Al *) Mätt med TEM Exempel 4 Bel l, 2, 3, 4 och 8 studerades med användning av röntgendifirakfion. Textur- koeflícienterna bestämdes enligt följande. 212059 I(hkl) = intensitet för (hkD-reflexen Io(hk1) = standardintensitet enligt JCPDS kort no 42-1489 n = antal reflexer använda i beräkningen (hkl) reflexer år: (ll 1), (200), (220), (31 l), (222), (400), (331), TC(hkl) där = LÛE.
Iolhkl) { l.
Il (420), (422), (511). 1103011510: ges 1 Tabell s.
Tabell 0 L B°1@ifls 1"') B°1å&@&2__ 4 Måwm 3 111 1.50 0.02 0.59 0.02 0.01 200 0.05 0.00 0.54 0.00 0.00 220 0.09 0.10 0.01 0.00 0.45 311 0.21 0.05 0.12 0.05 0.02 222 0.09 0.01 0.94 0.01 0.01 400 0.03 0.01 0.30 0.03 0.00 331 1.10 0.04 1.93 0.09 121 420 0.13 0.05 1.59 0.05 0.55 422 5.11 9.00 1.10 9.05 1.50 511 1.04 0.11 0.04 0.12 0.14 *) Känd teknik 527 346 1 Exempel 5 _ Skikten 1, 2, 4 och 8 studerades med användning av röntgendiffralction. lšornfdrfimngen var lätt manifest som linjebreddning. Röntgendifiïaktion demonstrerade att skikt enligt denna uppfin- ning inte âr i nanokornomrâdet, Tabell 7.
Tabell 7 CO % FWHM* (°20) Linjebreddning Kornform (BH/BU) ng 1 0.541 (Bo) 1.00 Stor kolurnnär**) Beläggning 2 0.849 (Bnz) 1,57 Kolumnâr Belag¶g4 0.860 (BM) 1.59 Kolumnâr Belawing s 0,924 (Bus) 1.71 Kolmnnar *) Full Bredd vid Halvt Maximum. Mått från Ka; strippade Gaussiska profiler av 422 re- flexen.
* *) Enligt kand teknik Full Bredd vid Halvt Maximum av referensen är Bo.
Full Bredd vid Halvt Maximmn av experimentell beläggning är Bnamwm Exempel 6 Typiska röntgenböjningsmönster från Beläggning 2 (Exempel 1) och Beläggning 3 (Exem- pel 1) visas i Fig 4 och 5, respektive. Beläggning 2 (Pig. 4) utfälldes enligt denna uppfinning och består av nålformíga kom med en krafiig 422-diffiaktionstopp och Beläggning 3 (Fig. 5) består av små kolumnâra korn. Skillnaden är klar. Röngtendiflíaktion kan lätt användas för att visa att beläggningen består av kolumnära kom och inte av likaxliga kom eller vice versa. Dessutom kan röngtendiüalction användas för att bekräfia att kornstorleken inte är i nanokomområdet.
Exempel 7 Belâggningen framställd i Exempel 1 provades í kolstål under följande betingelser: Arbetsstycke: Cylindrisk stång Material: SS1672 Skârtyp: SNUN 120418 Skärhastighet: 250 och 400 m/min Maming: 0.5 mm/varv Skärdjup: 2.5 rnm Anm: Torrsvarvning Som framgår av Tabell 8 uppvisar finkorníg kolumnâr struktur det bästa fllrslitningsmot- ståndet. Det bör noteras att alla experimentella skikt (även det likaxliga, Beläggning 3) visade bättre slitstyrka än referensen. Kolumnâm fin-korniga skikt utklassade klart känd teknik. Den Zr-dopade beläggníngen (Beläggning 4) uppvisade bäst prestanda. Nanokornskikt (Beläggning 5) havererade beroende på minskat gropflärslimingsmotstånd speciellt vid högre skårhastigheter. 527 346 s Tabell 8 svarvning Kolsrål (ss 1672) Lívslängd (min) vid 250 m/min Lívslângd (min) vid 400 mfmin Beläggning l"') 5 2 Beläggning 2 9 5 Beläggning 3 7 3 Beläggning 4 l I 6 Beläggning S*) 3 I Livslängdskriteriinn: gropförsliming enligt ISO 3685 *) Tidigare känt Exempel 8 Det experimentella skilctet från Exempel l och 3 jäintördes vid svarvning av kolstål under följande betingelser: Arbetsstycke: Cylíndrisk stång Material: SSI 672 Skär typ: CNMG 120418 Skärhastighet: 250 och 400 m/min Matning: 0.4 mm/varv Skardjup: 2.5 mm Anm: Tonsvarvning Tabell 9 Kol Stål 1672 Livslängdslcritexítmi: ISO 3685 *) Tidigare känt Resultat visas i Tabell 9. Alla skikt bestående av finkorniga kolumnâra kristaller utklassade referensbelåggningen (Beläggning 1) bestående av stora kolumnära korn och även beläggningen bestående av likaxliga kom (Beläggning 3). Beläggníngen 7 och 8 med de högsta L/W förhållan- dena befanns visa den lângsta livslängden.
Exempel 9 De experimentella skikten fi-ån Exempel l och 3 jämfördes i rostfritt stål (Tabell 10). Alla skikt enligt denna uppfinning uppvisade bättre slitstyrka än referensbelâggníngen (Beläggning l).
Men i detta material uppvisar belâggningen bestående av likaxliga korn (Beläggning 3) bättre prestanda än skikten med kolumnâr struktur. Följaktligen bör kolumnma skikt föredras i kolstål be- roende på den mycket bättre slitstyrkan under dessa betingelser. I rostfritt stål skulle man föredra likaxliga strukturer.
Tabell 10 527 346 9 Rostfiítt Stål 2333 ' min vid 185 m/min III! 8 9 8 3 4 8 9 9 Livslmgdskriterium: ISO 3685 *) Tidigare känt min vid 250 m/min
Claims (4)
1. Skär bestående av ett substrat av hårdmetall, cerrnet eller keramik åtminstone delvis be- lagt med en beläggning med en total tjocklek av 10-40 pm, företrädesvis 15-25 pm, bestående av ett eller flera refraktära skikt av vilka åtminstone ett skikt är ett MTCVD-T1(C,N)-sk1kt med en tjock- lek av 3 till 30 pm, företrädesvis 5-20 pm, varvid skiktet bildats genom att bringa substratet i kontakt med en gas innehållande titanhalid, kväve- och kolförening och en reducerande agent vid en temperatur av 700 till 1000°C k ä n n e t e c k n a t av att skiktet - består av kolumnära kom med kombredd av 50-100 nrn och med ett längd-till-bredd-för- hållande (L/W)>10 oberoende av skikttjockleken - har texturkoeñicienter TC(hkl) a) TC(422) > 5, företrädesvis > 7, eller b) TC(331) > 5, företrädesvis > 6, varvid texturkoefficienten TC(hkl) definieras som: I(hkl) j Ighki) -1 TC(hkl) = Io(hkl) in Zloihknl där I(hkl) = intensitet för (hkD-reflexen Io(hkl) = standardintensitet enligt JCPDS-kort nr 42- 1489 n = antal reflexer använda i beräkningen (hkl) reflexer är: (111), (200), (220), (311), (222), (400), (331), (420), (422), (511) - har en linjebreddning av (422)-reflexen uttryckt i absolut värde (20°) av mindre än 1,5°, företrädesvis mindre än 1,2°, helst mindre än 1,0°, med användning av CuKot »strålning och - MTCVD-Ti(C,N)-skiktet är ett (TiXAIYXZXCuOWNQ-skikt med följ ande sammansättning: 0,3 eller Mo, företrädesvis Zr eller Hf.
2. Skär enligt krav 1 k ä n n e t e c k n a t av att skiktet är belagt ovanpå ett a-A12O3, ic- AI2O3 eller y-Algü; skikt vilka själva har utfällts ovanpå skiktet.
3. Metod att belägga ett skär bestående av ett substrat av hårdmetall, cermet eller keramik och en beläggning med en total tjocklek av 10-40 pm, företrädesvis 15-25 pm, bestående av ett eller flera refraktära skikt med åtminstone ett MTCVD-Ti(C,N)-skikt som är ett (TixAlyX,)(C,,OwNv)- skikt enligt krav l med en tjocklek av 3 till 30 pm, företrädesvis 5-20 pm, k ä n n e t e c k n a d av användning av en dopningsmedeltillsats omfattande åtminstone en av - CO i området 0,1-l,0%, företrädesvis 0,2-0,8%, av den totala gas genomströmningen, - CO; i området 0,0l-0,1%, företrädesvis 0,05-0,08 % med ett CO/COg-förhâllande > 8, fö- reträdesvis > 10. - en aluminiumhalid i området O,5-3,0%, företrädesvis l,0-1,5 %, - en zirkoniumhalid i området 0,1-O,5%, företrädesvis 0,2-0,3 % eller - en hafniumhalid i området 0,1-O,5%, företrädesvis 0,2-0,3 % varvid beläggningen utförs vid en temperatur av från 700 till 1000°C.
4. Metod enligt krav 3 k ä n n e t e c k n a d att zirkoniumhaliden är ZrCl4, hafniumhaliden är HfCl4, aluminiumhaliden är AlClg, och kväve och kol erhålls av CH3CN.
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0301196A SE527346C2 (sv) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret |
| EP04009403A EP1471166A3 (en) | 2003-04-24 | 2004-04-21 | Layer with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance |
| KR1020040028362A KR20040093037A (ko) | 2003-04-24 | 2004-04-23 | 내마모성을 강화하기 위해 결정립의 크기 및 형상이제어된 층 |
| US10/831,167 US7192660B2 (en) | 2003-04-24 | 2004-04-26 | Layer with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance |
| CNB2004100385034A CN100557077C (zh) | 2003-04-24 | 2004-04-26 | 具有用于增强耐磨性的受控晶粒尺寸和结构的涂层 |
| US11/580,196 US7718226B2 (en) | 2003-04-24 | 2006-10-13 | Method of forming a layer with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0301196A SE527346C2 (sv) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE0301196D0 SE0301196D0 (sv) | 2003-04-24 |
| SE0301196L SE0301196L (sv) | 2004-10-25 |
| SE527346C2 true SE527346C2 (sv) | 2006-02-14 |
Family
ID=20291109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE0301196A SE527346C2 (sv) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7192660B2 (sv) |
| EP (1) | EP1471166A3 (sv) |
| KR (1) | KR20040093037A (sv) |
| CN (1) | CN100557077C (sv) |
| SE (1) | SE527346C2 (sv) |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4518258B2 (ja) * | 2004-08-11 | 2010-08-04 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 |
| US7972714B2 (en) | 2004-12-14 | 2011-07-05 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Coated cutting tool |
| US7597970B2 (en) * | 2005-03-22 | 2009-10-06 | Kyocera Corporation | Surface coated member and cutting tool |
| US8637127B2 (en) | 2005-06-27 | 2014-01-28 | Kennametal Inc. | Composite article with coolant channels and tool fabrication method |
| DE102005049393B4 (de) * | 2005-10-15 | 2019-08-08 | Kennametal Widia Produktions Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers |
| MX2008012771A (es) | 2006-04-27 | 2008-11-28 | Tdy Ind Inc | Trepano modular para tierra con fresa fija, cuerpos de trepanos modulares para tierra con fresa fija, y metodos relacionados. |
| US8080312B2 (en) * | 2006-06-22 | 2011-12-20 | Kennametal Inc. | CVD coating scheme including alumina and/or titanium-containing materials and method of making the same |
| BRPI0717332A2 (pt) | 2006-10-25 | 2013-10-29 | Tdy Ind Inc | Artigos tendo resistência aperfeiçoada à rachadura térmica |
| SE532023C2 (sv) * | 2007-02-01 | 2009-09-29 | Seco Tools Ab | Texturhärdat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning |
| US20090004449A1 (en) * | 2007-06-28 | 2009-01-01 | Zhigang Ban | Cutting insert with a wear-resistant coating scheme exhibiting wear indication and method of making the same |
| US8080323B2 (en) * | 2007-06-28 | 2011-12-20 | Kennametal Inc. | Cutting insert with a wear-resistant coating scheme exhibiting wear indication and method of making the same |
| JP2009095907A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 刃先交換型切削チップ |
| US8415033B2 (en) * | 2008-01-29 | 2013-04-09 | Kyocera Corporation | Cutting tool |
| US8790439B2 (en) | 2008-06-02 | 2014-07-29 | Kennametal Inc. | Composite sintered powder metal articles |
| US8025112B2 (en) | 2008-08-22 | 2011-09-27 | Tdy Industries, Inc. | Earth-boring bits and other parts including cemented carbide |
| US9050673B2 (en) * | 2009-06-19 | 2015-06-09 | Extreme Surface Protection Ltd. | Multilayer overlays and methods for applying multilayer overlays |
| AT12293U1 (de) * | 2009-10-05 | 2012-03-15 | Ceratizit Austria Gmbh | Schneidwerkzeug zur bearbeitung metallischer werkstoffe |
| US9643236B2 (en) | 2009-11-11 | 2017-05-09 | Landis Solutions Llc | Thread rolling die and method of making same |
| US8734070B2 (en) | 2010-10-20 | 2014-05-27 | Kennametal Inc. | Toolholder with externally-mounted dynamic absorber |
| US8409734B2 (en) | 2011-03-04 | 2013-04-02 | Kennametal Inc. | Coated substrates and methods of making same |
| US8524360B2 (en) | 2011-08-29 | 2013-09-03 | Kennametal Inc. | Cutting insert with a titanium oxycarbonitride coating and method for making the same |
| US8800848B2 (en) | 2011-08-31 | 2014-08-12 | Kennametal Inc. | Methods of forming wear resistant layers on metallic surfaces |
| US9016406B2 (en) | 2011-09-22 | 2015-04-28 | Kennametal Inc. | Cutting inserts for earth-boring bits |
| JP5841170B2 (ja) * | 2011-11-29 | 2016-01-13 | 京セラ株式会社 | 被覆工具 |
| EP2604720A1 (en) * | 2011-12-14 | 2013-06-19 | Sandvik Intellectual Property Ab | Coated cutting tool and method of manufacturing the same |
| EP2905098B1 (en) * | 2012-10-01 | 2017-02-01 | Hitachi Tool Engineering, Ltd. | Hard film coating tool and method for manufacturing said tool |
| USRE49475E1 (en) * | 2013-06-14 | 2023-03-28 | Sandvik Intellectual Property Ab | Coated cutting tool |
| WO2015116347A1 (en) | 2014-01-28 | 2015-08-06 | United Technologies Corporation | Ceramic covered turbine components |
| RU2704949C2 (ru) | 2014-12-19 | 2019-10-31 | Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб | Режущий инструмент с хогф-покрытием |
| KR101687142B1 (ko) * | 2016-07-20 | 2016-12-15 | 한국야금 주식회사 | 절삭공구용 경질피막 |
| JP6481897B2 (ja) * | 2016-09-16 | 2019-03-13 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| JP7137141B2 (ja) * | 2016-11-17 | 2022-09-14 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
| EP3366796A1 (en) * | 2017-02-28 | 2018-08-29 | Sandvik Intellectual Property AB | Coated cutting tool |
| CN121380952A (zh) * | 2017-04-07 | 2026-01-23 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 涂层切削工具 |
| CN114286874A (zh) * | 2019-08-30 | 2022-04-05 | 山高刀具公司 | 涂布的切削工具 |
| JP7141601B2 (ja) * | 2019-12-19 | 2022-09-26 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
| CN112342525B (zh) * | 2020-10-20 | 2023-04-28 | 厦门金鹭特种合金有限公司 | 一种适用于蠕墨铸铁切削加工的cvd涂层及其制备方法 |
| US20240207943A1 (en) * | 2021-04-23 | 2024-06-27 | Ab Sandvik Coromant | Cutting tool |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE406090B (sv) | 1977-06-09 | 1979-01-22 | Sandvik Ab | Belagd hardmetallkropp samt sett att framstalla en dylik kropp |
| USRE31256E (en) * | 1978-01-18 | 1983-05-31 | Automatic damper means and controls therefor | |
| US4619866A (en) | 1980-07-28 | 1986-10-28 | Santrade Limited | Method of making a coated cemented carbide body and resulting body |
| US4357382A (en) * | 1980-11-06 | 1982-11-02 | Fansteel Inc. | Coated cemented carbide bodies |
| JPS60200250A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 高コントラストネガ画像形成方法 |
| CH669347A5 (sv) * | 1986-05-28 | 1989-03-15 | Vni Instrument Inst | |
| JP3136778B2 (ja) * | 1992-06-11 | 2001-02-19 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭窒化チタン基サーメット製切削工具 |
| JP3109306B2 (ja) * | 1992-11-25 | 2000-11-13 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層の耐摩耗性が向上した表面被覆サーメット製切削工具 |
| JP3278785B2 (ja) * | 1993-08-27 | 2002-04-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具の製造法 |
| US5496762A (en) * | 1994-06-02 | 1996-03-05 | Micron Semiconductor, Inc. | Highly resistive structures for integrated circuits and method of manufacturing the same |
| JPH08132130A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-05-28 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた密着性を有する表面被覆サーメット製引抜ダイス |
| SE514181C2 (sv) * | 1995-04-05 | 2001-01-15 | Sandvik Ab | Belagt hårmetallskär för fräsning av gjutjärn |
| SE514177C2 (sv) * | 1995-07-14 | 2001-01-15 | Sandvik Ab | Belagt hårdmetallskär för intermittent bearbetning i låglegerat stål |
| DE59607891D1 (de) * | 1995-08-19 | 2001-11-15 | Widia Gmbh | Verbundkörper und verfahren zu dessen herstellung |
| JP3250134B2 (ja) * | 1995-12-25 | 2002-01-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 |
| SE509560C2 (sv) * | 1996-09-06 | 1999-02-08 | Sandvik Ab | Belagt hårdmetallskär för bearbetning av gjutjärn |
| DE69730576T2 (de) * | 1996-12-04 | 2005-02-03 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Beschichtetes Werkzeug und Verfahren zu seiner Herstellung |
| SE511211C2 (sv) * | 1996-12-20 | 1999-08-23 | Sandvik Ab | Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid |
| US20010016273A1 (en) * | 1998-05-08 | 2001-08-23 | Krishnan Narasimhan | Multilayer cvd coated article and process for producing same |
| DE69901985T2 (de) * | 1998-07-29 | 2002-12-05 | Toshiba Tungaloy Co. Ltd., Kawasaki | Aluminiumoxid-beschichteter Werkzeugteil |
| US6221469B1 (en) | 1998-12-09 | 2001-04-24 | Seco Tools Ab | Grade for steel |
| US6251508B1 (en) * | 1998-12-09 | 2001-06-26 | Seco Tools Ab | Grade for cast iron |
| DE19962056A1 (de) * | 1999-12-22 | 2001-07-12 | Walter Ag | Schneidwerkzeug mit mehrlagiger, verschleissfester Beschichtung |
| US6472060B1 (en) * | 2000-01-19 | 2002-10-29 | Seco Tools Ab | Coated body with nanocrystalline CVD coating for enhanced edge toughness and reduced friction |
| EP1323847A3 (en) * | 2001-12-28 | 2005-09-14 | Seco Tools Ab | Coated cemented carbide body and method for use |
-
2003
- 2003-04-24 SE SE0301196A patent/SE527346C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2004
- 2004-04-21 EP EP04009403A patent/EP1471166A3/en not_active Withdrawn
- 2004-04-23 KR KR1020040028362A patent/KR20040093037A/ko not_active Ceased
- 2004-04-26 CN CNB2004100385034A patent/CN100557077C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-26 US US10/831,167 patent/US7192660B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2006
- 2006-10-13 US US11/580,196 patent/US7718226B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE0301196L (sv) | 2004-10-25 |
| KR20040093037A (ko) | 2004-11-04 |
| CN100557077C (zh) | 2009-11-04 |
| EP1471166A3 (en) | 2007-08-29 |
| US7718226B2 (en) | 2010-05-18 |
| SE0301196D0 (sv) | 2003-04-24 |
| US20070110897A1 (en) | 2007-05-17 |
| CN1570202A (zh) | 2005-01-26 |
| US7192660B2 (en) | 2007-03-20 |
| US20050013995A1 (en) | 2005-01-20 |
| EP1471166A2 (en) | 2004-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE527346C2 (sv) | Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret | |
| KR101521296B1 (ko) | 조직-경화 알파-알루미나 피복된 공구 | |
| US5674564A (en) | Alumina-coated sintered body | |
| US7927663B2 (en) | Method of forming a coating with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance and toughness | |
| KR100759073B1 (ko) | 모서리 강도 강화 및 마찰 감소를 위한 나노결정질 ｃｖｄ코팅을 가지는 코팅바디 | |
| WO1994028191A1 (en) | Coated cutting tool and method for producing the same | |
| JP6635340B2 (ja) | 表面被覆切削工具およびその製造方法 | |
| KR20090122401A (ko) | 작업편용 내마모성 하드코팅 및 이의 제조방법 | |
| SE526526C2 (sv) | Sätt att belägga skär med A1203 samt ett med A1203 belagt skärverktyg | |
| JP4836202B2 (ja) | 被覆工具 | |
| KR20150026865A (ko) | 절삭 공구용 내화성 코팅 | |
| JP7412679B2 (ja) | 耐欠損性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
| JP7822549B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JPH08318406A (ja) | 被覆切削工具 | |
| EP4678313A1 (en) | Coated cutting tool | |
| CN118893227A (zh) | 具有增强结晶度的氮氧化铝涂层 | |
| JP2025155032A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2025155034A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2025155035A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2025155036A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2025155033A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2023147801A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2023147804A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2023147802A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2022171411A (ja) | 切削工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |