SE518151C2 - Multiskiktbelagt skärverktyg - Google Patents

Multiskiktbelagt skärverktyg

Info

Publication number
SE518151C2
SE518151C2 SE9704630A SE9704630A SE518151C2 SE 518151 C2 SE518151 C2 SE 518151C2 SE 9704630 A SE9704630 A SE 9704630A SE 9704630 A SE9704630 A SE 9704630A SE 518151 C2 SE518151 C2 SE 518151C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
mlx
coating
cutting tool
al2o3
lambda
Prior art date
Application number
SE9704630A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9704630L (sv
SE9704630D0 (sv
Inventor
Torbjoern Selinder
Mats Sjoestrand
Original Assignee
Sandvik Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sandvik Ab filed Critical Sandvik Ab
Priority to SE9704630A priority Critical patent/SE518151C2/sv
Publication of SE9704630D0 publication Critical patent/SE9704630D0/sv
Priority to EP98962794A priority patent/EP0963456A1/en
Priority to JP53087999A priority patent/JP2001513708A/ja
Priority to IL13122798A priority patent/IL131227A0/xx
Priority to PCT/SE1998/002268 priority patent/WO1999029920A1/en
Publication of SE9704630L publication Critical patent/SE9704630L/sv
Publication of SE518151C2 publication Critical patent/SE518151C2/sv

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/081—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

lO 15 20 25 30 35 518151 JJ.. beläggningen såsom mikrostruktur/kornstorlek, hårdhet, spännings- tillstånd, kohesion och vidhäftning till det underliggande sub- stratet varierar beroende på den speciella PVD-metoden. En för- bättring i slitstyrkan eller eggintegriteten hos ett PVD-belagt skärverktyg som används i en speciell bearbetningsoperation kan sålunda genomföras genom optimering av en eller flera av ovan- nämnda egenskaper.
Dessutom har nyutvecklingar av de existerande PVD-teknikerna genom d v s införande av obalanserade magnetroner i reaktiv sput- tering (S. Kadlec, J.
A8(3), (1990), 1318.) rerad båge i katodisk bàgbeläggning (H. Curtins in Surface and 76/77, (1995), 632 and K. Akari et al in Sur- face and Coatings Technology, 43/44, (1990), 312.) bättre kontroll av beläggningsprocessen och en ytterligare för- Musil and W.-D. Munz in J. Vac. Sci. Techn. eller införande av en styrd och/eller filt- Coatings Technology, resulterat i en bättring av de inre egenskaperna för beläggningsmaterialet.
Med uppfinningen av den PVD bipolära pulsade DMS-tekniken vilken visas i DD 252 205 och DE 195 18 779, öppnades ett brett intervall av möjligheter för beläggning (Dubbel Magnetron Sputtering) med isolerande skikt såsom Al2O3 och dessutom har denna metod gjort det möjligt att utfälla kristallina Al2O3-skikt vid substrattempe- raturer i området 500 till 800 OC. Al2O3 existerar i flera olika faser såsom a(alfa), K(kappa) och X(chi) kallad "a-serien" med hcp (hexagonal tätpackad) 0(teta), n(eta) och 5(delta) kubisk) serna i CVD-beläggningar utfällda på hårdmetall vid konventionella 1000-1050 OC, tastabila kappafasen men någon gång har även den metastabila teta- stapling av syreatomerna, och i y(gamma), kallad "y-serien" med fcc (ytcentrerat stapling av syreatomerna. De oftast uppträdande Algb-fa- CVD-temperaturer, är den stabila alfa- och den me- fasen observerats. Enligt DE 195 18 779, är DMS-sputtering-tekni- ken kapabel att fälla ut och producera högkvalitativa, väl vidhäf- tande, kristallina a-Alflh-tunnfilmer vid substrattemperaturer mindre än 800 OC. "a-Al20§' gamma(y)fas från "y-serien" av Al2O3-polymorfer. Jämfört med tidi- skiktet kan delvis även innehålla gare kända plasmaassisterade beläggningstekniker såsom PACVD som beskrivits i DE 42 09 975 har den nya, pulsade DMS-sputtering-be- läggningsmetoden den avgörande, viktiga fördelen att inga förore- klor, ningar såsom halogenatomer, t ex. är inneslutna i Alflb-be- läggningen. 10 15 20 25 30 35 40 5138151 Konventionella skärverktygsmaterial såsom hårdmetall består av åtminstone en hård metallisk förening och en bindefas, (CO), föreningen, t ex. volframkarbid (WC), ligger i området 1-5 pm. vanligtvis kobolt där kornstorleken hos den hårda Nyutvecklingar har förutsagt förbättrade verktygsegenskaper i slitstyrka, slaghållfasthet, varmhårdhet genom att använda verktygsmaterial baserade på ultrafin mikrostruktur med användning (L.E. McCandlish, 1 pp. 119- Liknande förutsägelser har gjorts för keramiska av nanostrukturerat WC-Co pulver som råmaterial B.H. Kear och B.K. Kim, 124, 1992). verktygsmaterial till exempel för kiselnitrid/karbid-baserad (Si3N4/SiC) ekvivalenta nanokompositer baserade på aluminiumoxid. i Nanostructured Materials VOL. nanokompositkeramik och, för Al2O3-baserad keramik, Med nanokompositnitrid/karbid och aluminiumoxid hårda belägg- ningsmaterial, förstås en multiskiktbeläggning där tjockleken av (eller karbid-) är i nanometerintervallet mellan 3 och 100 nm, företrädesvis mel- varje individuellt nitrid- och aluminiumoxidskikt lan 3 och 20 nm. Eftersom en viss periodicitet eller repetitions- period av metallnitrid/karbid och aluminiumoxidskikt i ordnings- följden föreligger, har dessa nanoskale, multiskiktbeläggningar fått det generiska namnet "supergitter" filmer. Med repetitionspe- riod menas tjockleken av två närliggande metallnitrid/karbid- och aluminiumoxidskikt. Många av de binära nitridsupergitterbelägg- ningarna med metallelement från Ti, Nb, V och Ta, på både enkel- och polykristallina substrat har visat en förbättrad hårdhet för en speciell repetitionsperiod vanligtvis i området 3-10 nm.
GB-A-2 048 960 beskriver en kompositkropp, för användning som en slitdel eller som ett skär i ett skärverktyg, omfattande ett substrat med ett eller flera ytskikt av hårdmaterial fritt från bindefas. Tjockleken av varje sådant ytskikt är 1 till 50 um och ett av skikten är sammansatt av ett flertal individuella skikt vardera med en tjocklek av 0.02 till 0.1 pm.
Enligt föreliggande uppfinning föreligger ett skärverktyg för metallbearbetning såsom svarvning (gängning och avstickning), fräsning och borrning omfattande en kropp av en hård legering av hårdmetall eller kermet ovanpå vilken en slitstark, multiskiktbe- läggning har utfällts. Formen på skärverktyget omfattar vändskär såväl som skaftverktyg såsom borrar, pinnfräsar etc.. Mer speci- ellt omfattar det belagda verktyget ett substrat av sintrad hård- metall eller en kermet, företrädesvis av åtminstone en metallkar- 10 15 20 25 30 35 40 s1§151 bid i en metallbindefas, eller en keramisk kropp. Substratet kan även omfatta en snabbstålslegering. Sagda substrat kan även vara förbelagda med ett tunt enkel- eller multiskikt av TiN, TiC, TiCN eller TiAlN med en tjocklek i mikrometerintervallet enligt känd teknik. Det belagda skärverktyg enligt föreliggande uppfinning fö- reter förbättrade slitstyrke- och seghetsegenskaper jämfört med tidigare kända verktyg vid användning för bearbetning av stål el- ler gjutjärn. Sagda beläggning som är väl bunden till substratet, omfattar en laminär, multiskiktstruktur av metallnitrider (eller - karbider) och kristallin aluminiumoxid av alfa(a)- och/eller gam- ma(y)-fas, företrädesvis av metallnitrider och kristallin y-Al2O@ har en tjocklek mellan 0.5 och 20 um, företrädesvis mellan 1 och 10 pm, helst mellan 2 och 6 um. I multiskiktbeläggningsstrukturen (MLX/Al2Ofli/(MLX/Al2Ofli/(MLX/Al2Ofl¿/(MLX/Al2Oflx/ . . . . . . ..är de al- ternerande skikten MLX och Al2O3 där MLX omfattar en metallnitrid eller en metallkarbid med metallelement M och L valt (Ti), (Nb), hafnium (Hf), vanadin (V), tantal (Mo), zirkonium (Zr), krom (Cr), volfram (W) aluminium (Al), och i sagda beläggning är repetitionsperioden Ä i (se Fig. 1) från titan niob (Ta), molybden eller (MLX/Al2Ofl¿ väsentligen konstant genom hela multiskiktstrukturen och dessutom är repetitionsperioden större än 3 nm men mindre än 100 nm, repetitionsperiod avses tjockleken av skikten MLX + Al2O3, d v s av företrädesvis mindre än 50 nm, helst mindre än 25 nm. Med två närliggande nanoskikt. Föredragna exempel på strukturen för den ovan beskrivna nano-multiskiktbeläggning är t ex. för M=L, TiN/A12o3/TiN/Alzoa/TiN/AlZOB/TiN/ . . . . .. eller för LiM, TiAlN/Al2O3/TiAlN/Al2O3/TiAlN/Al2O3/TiAlN/..._.
I Fig. 1 visas ett substrat 1 belagt med en laminär, multis- kikt nitrid/karbid- och aluminiumoxidbeläggning 2 med de individu- (eller karbid-) skikten MLX 3 och individuella aluminiumoxidskikten 4 och repetitionsperioden Ä 5, tjockleken av ella metallnitrid- metallnitrid/karbidskikt och aluminiumoxidskikt är väsentligen konstant genom hela multiskiktbeläggningen.
De laminära beläggningarna ovan uppvisar ett kolumnärt till- växtsätt med ingen eller mycket liten porositet vid korngränserna.
Beläggningarna har även en väsentlig vågighet i subskikten vilken härstammar från substratets ytfinhet.
För ett skärverktyg för metallbearbetning erhålls flera för- delar med föreliggande uppfinning med nanostrukturerad lamellbe- läggningar utfällda på substrat av hårda, refraktära material så- 10 15 20 51 8 S1 51 som hårdmetall, kermets och keramik. T ex. i en lamellbeläggning av (MLx/Alzogx/ (MLx/Alzøflv. . .. av beläggningen vanligtvis över individuella enkelskikt av MLX och på hårdmetall, förbättras hàrdheten Algh med en skikttjocklek på en um-skala samtidigt som den inre spänningen är mindre. Den första observationen förbättrad hårdhet i beläggningen, leder till en ökad abrasiv slitstyrka hos skäreg- gen medan den andra observationen mindre inre spänning i belägg- ningen, ger en ökad förmåga att absorbera spänningar på skäreggen under en bearbetningsoperation. Dessutom ger den uppfunna belägg- ningen skäreggarna hos verktyget en ytterst jämn yta vilket, jäm- fört med tidigare kända belagda verktyg, leder till en bättre yt- finhet även av det bearbetade arbetsstycket.
De laminära, nanostrukturerade beläggningarna enligt förelig- gande uppfinning kan utfällas på ett substrat av hårdmetall eller kermet antingen med CVD- eller PVD-teknik, företrädesvis med den PVD bipolära pulsade dubbel magnetronsputtering (DMS) tekniken, genom att successivt bilda individuella subskikt på verktygssubstratet vid en substrattemperatur av 450-700 OC, företrädesvis 550-650 OC, genom att sätta på och stänga av se- parata magnetronsystem.

Claims (4)

10 15 20 518151 Krav 9
1. Skärverktyg omfattande en kropp av sintrad hårdmetall eller kermet på vilken åtminstone på de verksamma delarna därav är ut- fälld en tunn, vidhäftande, hård och slitstark beläggning, k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen omfattar en laminär, multiskiktstruktur av refraktära föreningar i polykristallin, re- petitiv form, (MLX/Al2OflÄ/(MLX/Alflh)Ä/(MLX/Al2OflÄ/(MLX/Al2OflL/..... där de alternerande subskikten är MLX och Al2O3 varvid MLX-skikten omfattar en metallnitrid eller en metallkarbid med metallelementen M och L valda från Ti, Nb, Hf, V, Ta, Cr, W och Al, Algh- subskikten består av kristallin Alflh av gamma(y)-fas och Mo, Zr, repetitionsperioden Ä är väsentligen konstant genom hela multiskiktstrukturen och större än 3 nm men mindre än 25 nm samt att den totala tjockleken av multiskiktbeläggningen är större än 0.5 pm men mindre än 20 pm. _
2. Skärverktyg enligt krav l k ä n n e t e c k n a t av att MLX-subskikten är sammansatta av metallnitrider.
3. Skärverktyg enligt krav 2 k ä n n e t e c k n a t av att subskikten av metallnitrider består av TiAlN och TiN, företrädes- vis TiAlN.
4. Skärverktyg enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen har en total tjocklek av l till lO pm, företrädesvis 2 till 6 pm.
SE9704630A 1997-12-10 1997-12-10 Multiskiktbelagt skärverktyg SE518151C2 (sv)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9704630A SE518151C2 (sv) 1997-12-10 1997-12-10 Multiskiktbelagt skärverktyg
EP98962794A EP0963456A1 (en) 1997-12-10 1998-12-09 Multilayered pvd coated cutting tool
JP53087999A JP2001513708A (ja) 1997-12-10 1998-12-09 多層ｐｖｄ被覆切削工具
IL13122798A IL131227A0 (en) 1997-12-10 1998-12-09 Multilayered coated cutting tool
PCT/SE1998/002268 WO1999029920A1 (en) 1997-12-10 1998-12-09 Multilayered pvd coated cutting tool

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9704630A SE518151C2 (sv) 1997-12-10 1997-12-10 Multiskiktbelagt skärverktyg

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9704630D0 SE9704630D0 (sv) 1997-12-10
SE9704630L SE9704630L (sv) 1999-06-11
SE518151C2 true SE518151C2 (sv) 2002-09-03

Family

ID=20409357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9704630A SE518151C2 (sv) 1997-12-10 1997-12-10 Multiskiktbelagt skärverktyg

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0963456A1 (sv)
JP (1) JP2001513708A (sv)
IL (1) IL131227A0 (sv)
SE (1) SE518151C2 (sv)
WO (1) WO1999029920A1 (sv)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3031907B2 (ja) * 1998-03-16 2000-04-10 日立ツール株式会社 多層膜被覆部材
DE10109523A1 (de) * 2001-02-28 2002-09-05 Ceram Tec Ag Innovative Cerami Hartstoffbeschichtetes Bauteil mit Zwischenschicht zur Verbesserung der Haftfestigkeit der Beschichtung
US6805944B2 (en) * 2001-03-26 2004-10-19 Mitsubishi Materials Corporation Coated cemented carbide cutting tool
US6689450B2 (en) * 2001-03-27 2004-02-10 Seco Tools Ab Enhanced Al2O3-Ti(C,N) multi-coating deposited at low temperature
JP2004339533A (ja) * 2003-05-13 2004-12-02 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 積層表面を有する基板及びその製造方法
SE528107C2 (sv) * 2004-10-04 2006-09-05 Sandvik Intellectual Property Belagt hårdmetallskär, speciellt användbart för höghastighetsbearbetning av metalliska arbetsstycken
SE529144C2 (sv) 2005-04-18 2007-05-15 Sandvik Intellectual Property Skär belagt med kompositoxidskikt
JP5238687B2 (ja) 2006-04-21 2013-07-17 コムコン・アーゲー 被覆物
US8080312B2 (en) 2006-06-22 2011-12-20 Kennametal Inc. CVD coating scheme including alumina and/or titanium-containing materials and method of making the same
IL182741A (en) * 2007-04-23 2012-03-29 Iscar Ltd Improved coatings
CN102534487A (zh) * 2010-12-30 2012-07-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 具有硬质涂层的被覆件及其制备方法
WO2014101517A1 (zh) * 2012-12-26 2014-07-03 Wu Shanghua 一种采用物理气相沉积工艺在氮化硅切削刀具表面制备Al2O3涂层及其复合涂层的方法
JP6242751B2 (ja) 2014-06-04 2017-12-06 株式会社神戸製鋼所 機械加工用工具の製造方法、および機械加工用工具
US9650712B2 (en) * 2014-12-08 2017-05-16 Kennametal Inc. Inter-anchored multilayer refractory coatings
US10100405B2 (en) * 2015-04-20 2018-10-16 Kennametal Inc. CVD coated cutting insert and method of making the same
RU2691810C2 (ru) * 2017-11-14 2019-06-18 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2917348C2 (de) * 1979-04-28 1984-07-12 Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen Verschleißfester Verbundkörper
US4984940A (en) * 1989-03-17 1991-01-15 Kennametal Inc. Multilayer coated cemented carbide cutting insert
DE69319531T2 (de) * 1992-10-12 1999-04-15 Sumitomo Electric Industries, Ltd., Osaka Ultradünnes Filmlaminat
DE69527236T2 (de) * 1994-09-16 2003-03-20 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Mehrschichtfilm aus ultrafeinen Partikeln und harter Verbundwerkstoff für Werkzeuge, die diesen Film enthalten
DE69526301T2 (de) * 1994-10-28 2002-12-05 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Mehrschichtiges Material

Also Published As

Publication number Publication date
SE9704630L (sv) 1999-06-11
JP2001513708A (ja) 2001-09-04
EP0963456A1 (en) 1999-12-15
SE9704630D0 (sv) 1997-12-10
IL131227A0 (en) 2001-01-28
WO1999029920A1 (en) 1999-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6333099B1 (en) Multilayered PVD coated cutting tool
EP0983393B1 (en) Multilayered coated cutting tool
KR101515652B1 (ko) 작업편용 내마모성 하드코팅 및 이의 제조방법
EP2152936B1 (en) Cutting tool
US8119227B2 (en) Coated cutting tool
EP1717347B1 (en) Coated insert
KR101359254B1 (ko) 코팅된 절삭 공구
SE518151C2 (sv) Multiskiktbelagt skärverktyg
KR100348543B1 (ko) 피복된절삭공구
EP1914331B1 (en) Coated cutting tool
EP1939327A1 (en) Multilayered coated cutting tool
US6887562B2 (en) Surface coating of a carbide or a nitride
SE522722C2 (sv) Skärverktyg belagt med titandiborid
US6858333B2 (en) Tool with wear resistant low friction coating and method of making the same
CN102994948A (zh) 经多层涂覆的耐磨损构件及其制造方法
SE529143C2 (sv) Skär belagt med ett kompositoxidskikt
SE530755C2 (sv) Belagt cermetskär och användning därav
KR20200010253A (ko) 코팅된 절삭 공구 및 그 제조 방법
EP1017871A1 (en) Multilayered coated cutting tool

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed