KR100348543B1 - 피복된절삭공구 - Google Patents

피복된절삭공구 Download PDF

Info

Publication number
KR100348543B1
KR100348543B1 KR1019950005932A KR19950005932A KR100348543B1 KR 100348543 B1 KR100348543 B1 KR 100348543B1 KR 1019950005932 A KR1019950005932 A KR 1019950005932A KR 19950005932 A KR19950005932 A KR 19950005932A KR 100348543 B1 KR100348543 B1 KR 100348543B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
cemented carbide
metc
carbide body
hkl
Prior art date
Application number
KR1019950005932A
Other languages
English (en)
Other versions
KR950032707A (ko
Inventor
앤더스레난더
라이프애케손
Original Assignee
산드빅 악티에볼라그
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 산드빅 악티에볼라그 filed Critical 산드빅 악티에볼라그
Publication of KR950032707A publication Critical patent/KR950032707A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100348543B1 publication Critical patent/KR100348543B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0272—Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/32—Carbides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/048—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with layers graded in composition or physical properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678—Of metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Inorganic Fibers (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

본 발명은 칩 형성 기계용 CVD-피복된 초경합금 공구에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 확산 방지제로서 작용하여 피복 구조체 및 후속층의 피복 접착에 영향을 미치는 중간층을 구비한 피복체에 관한 것이다.

Description

피복된 절삭 공구
본 발명은 내마모성이 아주 큰 얇은 표면층으로 피복된 소결 초경합금(cemented carbide) 본체에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 카바이드층, 나이트라이드층 및/또는 카보나이트라이드층 사이에 증착된 얇은 산소 함유층이 피복체의 특성을 향상시키는 피복된 초경합금 본체에 관한 것이다.
피복된 절삭 공구 삽입체는 철 및 철계 합금을 기계 가공하기 위해 금속 가공 업계에서 널리 사용되고 있다. 카바이드, 나이트라이드 또는 카보나이트라이드, 및 산화물 피복에 의해 이러한 공구들의 공구 수명을 증가시키는 방법은 잘 확립된 기술이다. 절삭 삽입체는 통상 티타늄 또는 관련 금속의 카바이드, 나이트라이드 및 카보나이트라이드로 구성된 층으로 피복된다. 많은 경우에 이러한 피복은 하나 이상의 알루미나층을 포함하고 있으며, 이 피복 재료는 통상 사용되는 화학 기상증착(CVD)에 의해 초경합금 기층 상에 직접 용이하게 증착될 수 없다. 현재는 Al2O3의 증착 이전에 예컨대 티타늄의 카바이드층, 카보나이트라이드층 및/또는 나이트라이드층을 증착시키는 것이 일반적이다.
초경합금 기층이 800 내지 1200 ℃의 온도로 CVD 공정에 의해 카바이드, 나이트라이드 및 카보나이트라이드의 내마모성 피복으로 피복될 때, 기층의 조성물, 예컨대 텅스텐, 코발트 및 탄소는 열확산되어 피복이 성장하고 결정 성장 방향, 미세 조직 및 피복물 부착성 등에 영향을 준다. 결국, 상기 피복의 물리적, 화학적 및 기계적 특성은 기층으로부터의 확산종(diffused species)의 존재 여부에 따라 영향을 받게 된다.
미국 특허 제5,135,801호는 (기층에서 가장 가까운) 최내측 산소 함유층을 구비한 피복된 초경합금 본체에 대해 개시하고 있다. 상기 발명의 목적은 상기 산소 함유층, 예컨대 TiCO를 초경합금 기층 상에 직접 피복함으로써 기층 표면의 탈탄화(decarburization)를 최소화시키기 위해 피복으로의 탄소 확산을 억제하는 것이다.
그러나, 본 발명은 기층 상에 직접 인가되는 TiCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층과 TiCO층의 상부 상에 인가되는 TiCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)의 추가층 사이의 중간층으로서 얇은 TiCO층을 인가함으로써 기층으로부터 피복으로의 소정의 물질 확산을 억제하는 방법을 개시하고 있다. 이 중간층은 연속층으로 구성될 수도 있다. 더욱이, 상기 언급한 카보나이트라이드층, 카보옥사이드층 및 카보나이트라이드층의 조합층의 상부에 추가층, 예컨대 Al2O3층 또는 금속 카바이드층 및/또는 나이트라이드층이 증착될 수 있다.
놀랍게도, TiCO 또는 TiCON의 중간층이 기층으로부터 피복으로의 Co 및 W 확산을 특히 효과적으로 억제하고, 상기 피복의 미세 조직 및 화학적 특성에 강한 영항을 끼치고, 그 결과 예컨대 피복된 절삭 공구의 내마모성을 현저히 향상시킨다는 것을 알 수 있었다. 더욱이, Co 확산의 억제는 층의 계면에서 Co를 풍부하게 하는 역효과를 감소시킴으로써 개재된 피복물 조합의 인접층들 사이의 부착성을 향상시킨다.
제1도는 본 발명에 따른 피복부의 연마 및 에칭된 단면의 1600배 확대도로, A는 초경합금이고, B는 제1 층(TiCN)이고, C는 제2 층(TiCO)이고, D는 제3 층(TiCN)이고, 그리고 E는 제4 층(Al2O3)이다.
제2도는 제1도에서와 동일한 지점의 피복부 파면의 4000배 확대도이다.
본 발명에 따르면, 3개의 연속층을 포함하는 피복을 구비한 초경합금 본체를 구비한다. 여기서, Met는 Ti, Zr, Hf, V, Nb 또는 Ta이다.
1. 초경합금 본체 상에 직접 인가되는 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층.
제1 층은 다수의 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)의 층으로 구성될 수 있다. 양호하게는, 이 제1 층은 TiC로 구성될 수 있다, 제1 층의 두께는 1 ㎛보다는 크고 5 ㎛보다는 작으며, 양호하게는 1.5 내지 3.0 ㎛이다. 제1 층의 최소 두께는 초경합금 본체 상에 존재하는 표면 결합제 상(surface binder phase)이 증착되기 이전에 제거된다면 0.5 ㎛로 감소될 수 있다. 결합제 상은 블라스팅 방법(blasting)에 의해 제거될 수 있으나, 국제특허공개 제W092/2084)호에 따르면 양호하게는 전해법(electrolytic method)이 좋다.
2. MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층에 직접 인가되는 MetCxOyNz인 제2 층.
이 층의 두께는 0.1 내지 5.0 ㎛이고, 양호하게는 0.2 내지 1.0 ㎛이다. MetCxOyNz의 조성은 0.7 ≤ x+y+z ≤ 1.3 및 0.2 < y < 0.8이고, 양호하게는 0.4 < y < 0.6 이다. 양호하게는, Met는 Ti이고 z = 0이다.
3. MetCxOyNz의 층에 직접 인가되는 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제3 층.
내마모성의 상기 제3 층의 두께는 1 내지 20 ㎛이고, 양호하게는 5 내지 12㎛이다. 제3 층은 0.05 ≤ x ≤ 0.95인, 양호하게는 0.3 ≤ x ≤ 0.7인 TiCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)로 구성되는 것이 바람직하다. 선행 기술에 따른 TiCN층에 비해, 본 발명의 TiCN층은 예컨대 절삭 공구에 인가될 때 우수한 내마모성을 보여주고 있으며, 이것은 아마도 상기 제3 층의 양호한 결정 배치에 기인한 것이다. 양호하게는, 본 발명에 따른 상기 TiCN층은 [X선 회절(XRD) 측정에 의해 결정되는] (220) 방향으로의 우수한 결정 성장 방향을 갖는다. 조직 계수(TC)는 다음과 같이 정의될 수 있다.
단, 1(hkl)은 (hkl) 반사의 측정 강도이고, Io(hkl)은 ASTM 표준 분말 패턴회절 데이터의 표준 강도이고, n은 계산에 사용된 반사 회수이고, 사용된 (hkl) 반사 방향은 (111), (200), (220)이다.
본 발명에 따르면, (220) 결정 평면에 대한 TC는 1.3보다 크고, 양호하게는 1.5보다 크며, 가장 양호하게는 1.8보다 크다.
카보나이트라이드층, 카보옥사이드층 및 카보나이트라이드층의 전술한 조합층의 상부에는 추가층 예컨대 Al2O3층 및/또는 다양한 금속 카바이드층 및/또는 나이트라이드층이 증착될 수 있다. 양호하게는, 상기 층은 스웨덴 특허 출원 제 9203852-0호에 따른 미립 α -알루미나의 최외곽층과 이 알루미나층이 예컨대 블라스팅 방법을 이용함으로써 평탄화한 후 증착되는 얇은 TiN층을 포함한다.
본 발명에 따른 피복은, 입방 상(cubic phase)이 Ti, Ta 및/또는 Nb의 카바이드 또는 카보나이트라이드를 포함하는 경우 WC-입방 카바이드-Co 조성뿐만 아니라 직선형 WC-Co 조성계 초경합금 본체에 적용될 수 있다. 또한, 스웨덴 특허 출원 제9203851-2호 및 제9200530-5호에 따르면 결합제 상이 풍부한 표면 지대를 갖는 소위 구배형 소결 초경합금(gradient sintered cemented carbide)에 적용될 수 있다.
또한, 본 발명은 다음의 층들을 구비한 피복을 갖는 초경합금 기층을 포함하는 본체를 제조하는 방법에 관한 것이다.
1. 기층에 인접한 MetCxN1-x( 0≤ x ≤ 1)인 제1 층 또는 그 세트 층. 금속 Met는 금속 Ti, Zr, Hf, V, Ta 및 Nb의 그룹으로부터 선택되고, 기층은 5 내지1050 mbar, 양호하게는 30 내지 100 mbar의 공정 압력으로 수소, 질소 및 탄화수소를 함유하는 기체와 전술한 금속 중 하나 이상의 할로겐 화합물과 접촉되어 카바이드, 나이트라이드 또는 카보나이트라이드를 형성한다.
2. 제1 층에 직접 인가되는 MetCxOyNz인 제2 층, 5 내지 1050 mbar, 양호하게는 30 내지 100 mbar의 공정 압력에서 수소, 질소 및 일산화탄소를 함유하는 기체와 전술한 금속 중 하나 이상의 할로겐 화합물 내에서 증착되어 옥시카바이드 또는 옥시니트로카바이드를 형성한다.
3. 제2 층에 직접 인가되는 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제3 층. 5 내지 1050 mbar, 양호하게는 200 내지 600 mbar의 공정 압력에서 수소, 질소 및 탄화수소를 함유하는 기체와 전술한 금속의 하나 이상의 할로겐 화합물 내에서 증착되어 카보나이트라이드를 형성한다.
양호한 실시예에 있어서, 외측의 알루미나층은 수소 및 이산화탄소를 함유한 기체와 알루미늄 할로겐 화합물로 증착시킴으로써 부착된다. 양호하게는, 이 알루미나층은 수소 및 이산화탄소를 함유한 기체와 알루미늄 할로겐 화합물로 증착된 α -알루미나층이다.
가장 양호하게는, 최외곽 TiN층은 수소, 질소 및 티타늄 할로겐 화합물을 함유한 기체로 증기 증착시킴으로써 알루미나층의 상부에 부착된다.
CVD 증착 단계 중의 공정 온도는 800 내지 1200 ℃, 양호하게는 900 내지 1070 ℃의 범위일 수 있다. 상이한 공정 단계가 동일한 피복 장치 또는 분리 장치에서 수행될 수 있다. MetCxOyNz인 제2 층의 CVD 공정 단계 중에 산소 함유 기체의 선택에 따라, 질소 및 탄소 이외의 다른 원자, 예컨대 황, 텔루륨, 셀레늄, 인 및/ 또는 비소들이 상기 층 내에 나타날 수도 있다.
제1 및 제2 층은 반응성 마그네트론 스퍼터링, 이온 도금 또는 음극 아크 방전 증착과 같은 물리 기상 증착 방법(PVD)에 의해 선택적으로 증착될 수 있다.
실시예 1
Co가 5.5 %이고 입방 카바이드(TiC-TaC-NbC)가 8.6 %이고 나머지는 텅스텐 카바이드(WC)인 조성을 갖는 CNMG 120408 재질의 초경합금 절삭 삽입체는 (TiCl4가 4.0 %이고 CO가 7.0 %이고 HCl이 3.0 %이고 나머지는 H2인 공정 가스를 50 mbar의 압력 및 기층 온도 1000 ℃로) TiCO의 중간층을 증착하기 이전에 1시간 동안 TiC로 피복되었다. TiCO층의 증착 이후에, 내마모성 TiCN층이 400 mbar의 압력으로 4시간 동안 증착된 후 (스웨덴 특허 출원 제9203852-0호에 따른) 미립의 α -Al2O3층의 추가 증착이 6시간 동안 행해졌다(변형예 A).
변형예 A에 사용된 바와 같은 초경합금 절삭 삽입체는 상기와 같은 피복 공정의 이전에 추가의 전해 표면 세척 작업을 받았다(변형예 B).
변형예 A 및 변형예 B에 사용된 바와 같은 초경합금 절삭 삽입체는 또한 전술한 바와 동일한 CVD 공정으로 처리되었으나, TiCO인 제2 층을 제외하였다(변형예 C).
변형예 A, 변형예 B 및 변형예 C 모두는 피복 표면을 평탄하게 하기 위해150 메시(mesh)의 알루미나 그릿(grit)으로 습식 블라스팅되었고, 그 후에 얇은 TiN 피복으로 피복되었다. TiN의 최외곽층과 함께 상기 블라스팅 처리를 함으로써 사용된 절삭날의 식별을 용이하게 하도록 삽입체는 밝고 빛나는 외관을 가진다.
피복된 삽입체는 η -상 층의 존재 여부, 상기 층의 두께(단위: ㎛), 피복 두께(단위 : ㎛), TiCN의 내마모성층의 (220) 성장 방향으로의 조직 계수(TC) 및 Al2O3층 내의 결정의 평균 입자 크기(단위: ㎛)에 대해 조사되었고, 그 결과는 다음과 같다.
A B C(종래 기술)
η -상 소량(traces) 없음 0.5
TiC 1.5 0.7 1.6
TiCO 0.4 0.4 --
TiCN 7.0 7.0 7.2
Al2O35.5 5.3 5.7
TiN 0.1 0.1 0.1
TiCN 조직 계수 2.0 1.9 1.2
Al2O3-층 입자 크기 1.9 1.7 1.7
실시예 2
Co가 5.5 %이고 입방 카바이드(TiC-TaC-NbC)가 8.6 %이고 나머지는 텅스텐 카바이드인 조성을 갖는 CNMG 120408 재질의 초경합금 절삭 삽입체는 (TiCl4가 4.0%이고 CO가 7.0 %이고 HCl이 3.0 %이고 N2가 25.0 %이고 나머지는 H2인 공정 가스를 50 mbar의 압력 및 기층 온도 1000 ℃로) TiCON의 산소 및 질소 함유 중간층을 증착하기 이전에 1.5시간 동안 TiC로 피복되었다 TiCON층의 증착 이후에, 내마모성 TiCN층이 600 mbar의 압력으로 4시간 동안 증착된 다음에 TiN층이 2시간 동안 증착되었다(변형예 D).
변형예 D에 사용된 바와 같은 초경합금 절삭 삽입체는 또한 전술한 바와 동일한 CVD 공정으로 처리되었으나, TiCON의 중간층을 제외하였다(변형예 E).
피복된 삽입체는 η -상태의 층의 존재 여부, 상기 층의 두께(단위: ㎛), 피복 두께(단위 : ㎛) 및 TiCN 내마모성층의 (220) 성장 방향으로의 조직 계수(TC)에 대해 조사되었고, 그 결과를 다음에 나타냈다.
D E(종래 기술)
η -상 1.1 1.7
TiC 1.9 2.1
TiCON 0.5 --
TiCN 8.2 8.5
TiN 1.6 1.4
TiCN 조직 계수 1.8 1.1
실시예 3
Co가 6.5 %이고 입방 카바이드(TiC-TaC-NbC)가 8.7 %이고 나머지는 텅스텐카바이드인 조성을 가지며 25 ㎛ 두께의 결합제 상이 풍부한 표면 영역을 구비한 CNMG 120408 재질의 초경합금 절삭 삽입체는 0.5시간 동안 TiC로 피복된 후 (TiCl4가 3.0 %이고 CO가 4.0 %이고 HCl이 4.0 %이고 나머지는 H2인 공정 가스를 100 mbar의 압력 및 기층 온도 1000 ℃로) TiCO 중간층을 증착하기 이전에 0.25시간 동안 TiCN으로 증착되었다. 상기 중간층의 증착 이후에, 내마모성 TiCN층이 200 mbar의 압력으로 4시간 동안 증착된 다음에, (스웨덴 특허 출원 제9203852-0호에 따른) 미립 α-Al2O3층이 1시간 동안 증착되고 상부 TiN층이 1시간 동안 증착되었다(변형예 F).
변형예 F에 사용되는 바와 같은 초경합금 절삭 삽입체는 또한 전술한 바와 같은 피복 공정의 이전에 추가의 전해 표면 세척 작동을 하여야 한다(변형예 G).
변형예 F 및 변형예 G로 사용되는 초경합금 절삭 삽입체는 전술한 바와 동일한 CVD 공정으로 처리되었으나, TiCO의 중간층을 제외하였다(변형예 H).
피복된 삽입체는 η -상 층의 존재 여부, 상기 층의 두께(단위 : ㎛), 피복 두께(단위: ㎛) 및 TiCN의 내마모성층의 (220) 성장 방향으로의 조직 계수(TC)에 대해 조사되었다.
F G H(종래 기술)
η -상 0.7 소량(traces) 1.0
TiC 1.2 0.8 1.4
TiCON 0.3 0.2 0.4
TiCO 0.4 0.4 --
TiCN 3.6 3.7 3.9
Al2O32.1 1.9 2.2
TiN 0.2 0.2 0.2
TiCN 조직 계수 1.7 1.6 1.1
실시예 4
변형예 A 내지 변형예 H의 피복된 절삭 삽입체는, 절삭날 변형이 발생될 때 0.7 mm/rev의 이송량 및 2.0 mm의 절삭 깊이로 합금강(AISI 4340)을 종축 방향으로 회전시키면서 그리고 절삭날이 상이한 정도의 소성 변형을 일으키도록 절삭 속도를 변화시키면서 피복을 박리시키는(flaking) 시험을 수행하였다. 그리고 나서, 상기 절삭날은 절삭날 손상(edge depression)으로서 측정되는 소성 변형에 대해 조사되었고, 상기 피복의 부수적인 박리 현상은 아래의 결과로써 평가되었다.
본 발명에 따른 삽입체 A, B, D, F 및 G는 최소 80 ㎛의 절삭날 손상이 생길떼에도 전혀 박리 현상을 보이지 않았다.
삽입체 C는 40 ㎛의 절삭날 손상이 발생할 때에 클리어런스 면에 피복의 과다한 손상이 이미 나타났다.
삽입체 E는 35 ㎛의 손상이 발생할 때에 클리어런스 면에 피복의 과다한 손상이 이미 나타났다.
삽입체 H는 45 ㎛의 절삭날 손상이 발생할 때에 클리어런스 면에 피복의 과다한 손상이 이미 나타났다.
실시예 5
제1 실시예의 피복된 절삭 삽입체는 회주철(AISI No 35B)의 정면 가공시의 레이크면 박리(rake face flaking)에 대해 시험되었다. 가공된 작업 시편의 형태는 각 회전당 2회씩 절삭이 중지되도록 하였다.
절삭 데이터
속도 : 500 m/min
이송량 : 0.5 mm/rev.
절삭 깊이 : 3.0 mm
그리고 나서, 상기 삽입체는 상기 절삭 삽입체의 레이크면 상의 알루미나 피복의 박리에 대해 검사되었다. 그 결과는 작업 시편 칩과 접촉하는 레이크면의 전체 영역에 대해 박리 작용을 받는 레이크면의 영역으로서 표현되었다.
결과
박리 작용
삽입체 A(본 발명) 0 %
삽입체 B(본 발명) 0 %
삽입체 C(종래 기술) 19 %
실시예 6
제3 실시예의 피복된 절삭 삽입체는 회주철(AISI No 35B)의 정면 가공시의 레이크면 박리에 대해 시험되었다. 가공된 작업 시편의 형태는 각 회전당 2회씩 절삭이 중지되도록 하였다.
절삭 데이터
속도 : 400 m/min
이송량 : 0.3 mm/rev.
절삭 깊이 : 3.0 mm
그리고 나서, 상기 삽입체는 상기 절삭 삽입체의 레이크면 상의 알루미나 피복의 박리에 대해 검사되었다. 그 결과는 작업 시편 칩과 접촉하는 레이크면의 전체 영역에 대해 박리 작용을 받는 레이크면의 영역으로서 표현되었다.
결과
박리 작용
삽입체 F(본 발명) 0 %
삽입체 G(본 발명) 0 %
삽입체 H(종래 기술) 26 %
제1도는 본 발명에 따른 피복부의 연마 및 에칭된 단면의 1600배 확대도.
제2도는 제1도에서와 동일한 지점의 피복부 파면의 4000배 확대도.

Claims (23)

  1. 피복된 초경합금 본체에 있어서, 상기 피복은 기층에 인접한 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층 또는 그 세트 층과, 0.7 ≤ x+y+z ≤ 1.3 및 0.2 < y < 0.8의 조건인 MetCxOyNz로 구성되는 제2 층과, MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 내마모성 제3 층을 포함하고, 여기서 금속 Met는 Ti, Zr, Hf, Y, Nb 및 Ta의 금속 그룹으로부터 선택되며, MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층 또는 그 세트 층의 두께가 0.1 ㎛보다 크고 5.0 ㎛보다 작은 것을 특징으로 하는 피복된 초경합금 본체.
  2. 제1항에 있어서, MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제3 층은 제1 및 제2 층의 전체 두께를 초과하는 피복 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제2 층의 두께는 0.1 내지 5.0 ㎛인 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 기층에 인접한 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층 또는 그 세트 층의 두께는 1.3 내지 3.0 ㎛인 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  5. 제3항에 있어서, MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 내마모성 제3 층의 두께는 20 ㎛ 미만인 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 내마모성 제3 층은 0.05 ≤ x ≤ 0.95의 조건인 TiCxN1-x로 구성되는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  7. 제6항에 있어서, 내마모성 제3 층은 아래와 같이 정의된 조직 계수(TC)가 1.3보다 큰 상태에서 (220) 방향으로의 우수한 결정 성장 방향을 갖는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
    이 경우, I(hkl)은 (hkl) 반사의 측정 강도이고, Io(hkl)은 ASTM 표준 분말 패턴 회절 데이터의 표준 강도이고, n은 계산에 사용된 반사 회수이고, 사용된 (hkl) 반사 방향은 (111), (200), (220)이다.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 피복된 본체는 외곽 알루미나층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  9. 제8항에 있어서, 알루미나층은 입자 크기 s가 0.5 ㎛ < s < 3.0 ㎛인 단일 상 α -알루미나로 구성되는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  10. 제8항에 있어서, 본체는 TiN 최외곽층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  11. 제10항에 있어서, TiN 최외곽층은 0.01 내지 1.0 ㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  12. 피복을 갖는 초경합금 기층을 포함하는 본체를 제조하는 방법에 있어서,
    상기 피복은,
    금속 Met가 금속 Ti, Zr, Hf, V, Ta, Nb의 그룹으로부터 선택되고, 800 내지 1200 ℃의 온도 범위와 5 내지 1050 mbar의 공정 압력에서 기층이 수소, 질소 및 탄화수소를 함유하는 기체와 전술한 금속들 중 하나 이상의 할로겐 화합물과 접촉되어 카보나이트라이드를 형성하고 기층에 인접한 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1) 인 제1 층 또는 세트와,
    800 내지 1200 ℃의 온도 범위와 5 내지 1050 mbar의 공정 압력에서 수소, 질소 및 일산화탄소를 함유하는 기체와 전술한 금속들 중 하나 이상의 할로겐 화합물 내에서 증착되어 옥시카바이드 및 옥시니트로카바이드를 형성하고 0.7 ≤ x+y+z≤ 1.3 및 0.2 < y < 0.8의 조건인, 제1 층에 직접 인가되는 MetCxOyNz로 구성된 제2 층과,
    800 내지 1200 ℃의 온도 범위와 5 내지 1050 mbar의 공정 압력에서 수소, 질소 및 탄화수소를 함유하는 기체와 전술한 금속들 중 하나 이상의 할로겐 화합물내에서 증착되어 카보나이트라이드를 형성하고 제2 층에 직접 인가되는 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1) 인 제3 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서, 수소 및 이산화탄소를 함유하는 기체와 알루미늄 할로겐 화합물의 기상 증착에 의해 외측의 알루미나층이 부착되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  14. 제12항에 있어서, 수소 및 이산화탄소를 함유하는 기체와 알루미늄 할로겐 화합물의 기상 증착에 의해 외곽 α -알루미나층이 부착되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  15. 제13항 또는 제14항에 있어서, 수소, 질소 및 티타늄 할로겐 화합물을 함유하는 기체의 기상 증착에 의해 알루미나층의 상부 상에 최외곽의 TiN층이 증착되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  16. 피복된 초경합금 본체에 있어서, 상기 피복은 기층에 인접한 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층 또는 그 세트 층과, 0.7 ≤ x+y+z ≤ 1.3 및 0.4 < y < 0.6인 조건의 MetCxOyNz로 구성되는 제2 층과, MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 내마모성 제3 층을 포함하고, 여기서 금속 Met는 Ti, Zr, Hf, V, Nb 및 Ta의 금속 그룹으로부터 선택되며, 기층에 표면 코발트가 없을 때 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층 또는 그 세트 층의 두께가 0.5 내지 5.0 ㎛인 것을 특징으로 하는 피복된 초경합금 본체.
  17. 제1항, 제2항 및 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 제2 층의 두께는 0.2 내지 1.0 ㎛인 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  18. 제1항, 제2항 및 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 기층에 인접한 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층 또는 그 세트 층의 두께는 기층에 표면 코발트가 없을 때 0.5 내지 2.0 ㎛인 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  19. 제3항에 있어서, MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 내마모성 제3 층의 두께는 5 내지 12 ㎛인 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  20. 제1항, 제2항 및 제16항 중 어느 한 항에 있어서, MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인내마모성 제3 층은 0.3 ≤ x ≤ 0.7의 조건인 TiCxN1-x로 구성되는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
  21. 제6항에 있어서, 내마모성 제3 층은 아래와 같이 정의된 조직 계수(TC)가 1.5보다 큰 상태에서 (220) 방향으로의 우수한 결정 성장 방향을 갖는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
    이 경우, I(hkl)은 (hkl) 반사의 측정 강도이고, Io(hkl)은 ASTM 표준 분말 패턴 회절 데이터의 표준 강도이고, n은 계산에 사용된 반사 회수이고, 사용된 (hkl) 반사 방향은 (111), (200), (220)이다.
  22. 제6항에 있어서, 내마모성 제3 층은 아래와 같이 정의된 조직 계수(TC)가 1.8보다 큰 상태에서 (220) 방향으로의 우수한 결정 성장 방향을 갖는 것을 특징으로 하는 초경합금 본체.
    이 경우, I(hkl)은 (hkl) 반사의 측정 강도이고, Io(hkl)은 ASTM 표준 분말 패턴 회절 데이터의 표준 강도이고, n은 계산에 사용된 반사 회수이고, 사용된 (hkl) 반사 방향은 (111), (200), (220)이다.
  23. 피복을 갖는 초경합금 기층을 포함하는 본체를 제조하는 방법에 있어서,
    상기 피복은,
    금속 Met가 금속 Ti, Zr, Hf, V, Ta, Nb의 그룹으로부터 선택되고, 900 내지 1070 ℃의 온도 범위와 30 내지 100 mbar의 공정 압력에서 기층이 수소, 질소 및 탄화수소를 함유하는 기체와 전술한 금속들 중 하나 이상의 할로겐 화합물과 접촉되어 카보나이트라이드를 형성하고 기층에 인접한 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제1 층 또는 세트와,
    900 내지 1070 ℃의 온도 범위와 30 내지 100 mbar의 공정 압력에서 수소, 질소 및 일산화탄소를 함유하는 기체와 전술한 금속들 중 하나 이상의 할로겐 화합물 내에서 증착되어 옥시카바이드 및 옥시니트로카바이드를 형성하고 0.7 ≤ x+y+z ≤ 1.3 및 0.4 < y < 0.6의 조건인, 제1 층에 직접 인가되는 MetCxOyNz인 제2 층과,
    900 내지 1070 ℃의 온도 범위와 200 내지 600 mbar의 공정 압력에서 수소, 질소 및 탄화수소를 함유하는 기체와 전술한 금속들 중 하나 이상의 할로겐 화합물내에서 증착되어 카보나이트라이드를 형성하고 제2 층에 직접 인가되는 MetCxN1-x(0 ≤ x ≤ 1)인 제3 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
KR1019950005932A 1994-03-22 1995-03-21 피복된절삭공구 KR100348543B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9400951-1 1994-03-22
SE9400951A SE514737C2 (sv) 1994-03-22 1994-03-22 Belagt skärverktyg av hårdmetall

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR950032707A KR950032707A (ko) 1995-12-22
KR100348543B1 true KR100348543B1 (ko) 2002-11-30

Family

ID=20393360

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950005932A KR100348543B1 (ko) 1994-03-22 1995-03-21 피복된절삭공구

Country Status (11)

Country Link
US (2) US5705263A (ko)
EP (1) EP0678594B1 (ko)
JP (1) JPH0847999A (ko)
KR (1) KR100348543B1 (ko)
CN (1) CN1060983C (ko)
AT (1) ATE180518T1 (ko)
BR (1) BR9501144A (ko)
DE (1) DE69509820T2 (ko)
IL (1) IL113067A0 (ko)
RU (1) RU2131328C1 (ko)
SE (1) SE514737C2 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014017836A1 (ko) * 2012-07-27 2014-01-30 한화케미칼 주식회사 다공성 탄소 및 이의 제조방법
US9044811B2 (en) 2010-09-07 2015-06-02 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface coated cutting tool

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60123031A (ja) * 1983-12-08 1985-07-01 Hoya Corp レジスト塗布方法
SE514737C2 (sv) * 1994-03-22 2001-04-09 Sandvik Ab Belagt skärverktyg av hårdmetall
SE9502687D0 (sv) * 1995-07-24 1995-07-24 Sandvik Ab CVD coated titanium based carbonitride cutting tool insert
WO1997015411A1 (en) * 1995-10-27 1997-05-01 Teledyne Industries, Inc. Anchored oxide coatings on hard metal cutting tools
JP3418066B2 (ja) * 1996-07-03 2003-06-16 日立金属株式会社 アルミナ被覆工具とその製造方法
SE510778C2 (sv) * 1996-07-11 1999-06-21 Sandvik Ab Belagt skär för finfräsning av grått gjutjärn
SE511211C2 (sv) * 1996-12-20 1999-08-23 Sandvik Ab Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid
US6015614A (en) * 1997-11-03 2000-01-18 Seco Tools Ab Cemented carbide body with high wear resistance and extra tough behavior
JP3573256B2 (ja) * 1998-07-27 2004-10-06 住友電気工業株式会社 Ａｌ２Ｏ３被覆ｃＢＮ基焼結体切削工具
US6146697A (en) * 1999-03-02 2000-11-14 Kennametal Inc. MT CVD process
SE519005C2 (sv) * 1999-03-26 2002-12-17 Sandvik Ab Belagt hårdmetallskär
SE9903089D0 (sv) * 1999-09-01 1999-09-01 Sandvik Ab Coated grooving or parting insert
US6472060B1 (en) * 2000-01-19 2002-10-29 Seco Tools Ab Coated body with nanocrystalline CVD coating for enhanced edge toughness and reduced friction
US6988858B2 (en) * 2001-02-28 2006-01-24 Kennametal Inc. Oxidation-resistant cutting assembly
SE526604C2 (sv) * 2002-03-22 2005-10-18 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg för svarvning i stål
US7147939B2 (en) * 2003-02-27 2006-12-12 Kennametal Inc. Coated carbide tap
JP3896358B2 (ja) * 2003-12-22 2007-03-22 Ｔｄｋ株式会社 磁気ヘッド用基板材料、磁気ヘッド用基板、ヘッドスライダおよび磁気ヘッド用基板の製造方法
US7455918B2 (en) 2004-03-12 2008-11-25 Kennametal Inc. Alumina coating, coated product and method of making the same
US7581906B2 (en) 2004-05-19 2009-09-01 Tdy Industries, Inc. Al2O3 ceramic tools with diffusion bonding enhanced layer
SE528427C2 (sv) * 2004-07-09 2006-11-07 Seco Tools Ab Ett belagt skär för metallbearbetning och sätt att tillverka detta
WO2006054730A1 (ja) * 2004-11-19 2006-05-26 Nippon Sheet Glass Company, Limited 薄膜付きガラス板の製造方法
SE528929C2 (sv) * 2005-04-18 2007-03-20 Sandvik Intellectual Property Skär belagt med ett skiktsystem och metod att framställa detta
JP4793750B2 (ja) * 2005-04-19 2011-10-12 三菱マテリアル株式会社 高硬度鋼の高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP4730522B2 (ja) * 2005-05-25 2011-07-20 三菱マテリアル株式会社 厚膜化α型酸化アルミニウム層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP4811782B2 (ja) * 2005-06-06 2011-11-09 三菱マテリアル株式会社 厚膜化α型酸化アルミニウム層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP5108774B2 (ja) * 2005-11-17 2012-12-26 ベーレリト ゲーエムベーハー ウント コー． カーゲー． 金属炭窒化物層を被覆するための方法
SE529856C2 (sv) * 2005-12-16 2007-12-11 Sandvik Intellectual Property Belagt hårdmetallskär, sätt att tillverka detta samt dess användning för fräsning
US8080312B2 (en) * 2006-06-22 2011-12-20 Kennametal Inc. CVD coating scheme including alumina and/or titanium-containing materials and method of making the same
US20090169594A1 (en) * 2007-09-18 2009-07-02 Stefania Polizu Carbon nanotube-based fibers, uses thereof and process for making same
AT12293U1 (de) * 2009-10-05 2012-03-15 Ceratizit Austria Gmbh Schneidwerkzeug zur bearbeitung metallischer werkstoffe
DE102009046667B4 (de) * 2009-11-12 2016-01-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper
JP5561607B2 (ja) * 2010-09-15 2014-07-30 三菱マテリアル株式会社 表面被覆ｗｃ基超硬合金製インサート
US8741428B2 (en) * 2011-04-21 2014-06-03 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool and manufacturing method thereof
WO2012144299A1 (ja) * 2011-04-22 2012-10-26 京セラ株式会社 切削工具
KR20140038974A (ko) * 2011-06-22 2014-03-31 베파 싱엔 게엠바하 압출 다이 위에 코팅을 형성하기 위한 방법
WO2013042790A1 (ja) * 2011-09-22 2013-03-28 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6011631B2 (ja) * 2012-10-01 2016-10-19 三菱日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具及びその製造方法
KR101841512B1 (ko) * 2013-12-26 2018-03-23 쿄세라 코포레이션 절삭공구
JP6853449B2 (ja) * 2016-02-17 2021-03-31 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
WO2017142058A1 (ja) * 2016-02-17 2017-08-24 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
WO2017142061A1 (ja) * 2016-02-17 2017-08-24 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
JP6853450B2 (ja) * 2016-02-17 2021-03-31 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
JP7203019B2 (ja) * 2016-09-30 2023-01-12 サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ Ｔｉ、Ｔｉ合金及びＮｉ基合金の機械加工法
RU2760426C2 (ru) * 2017-04-07 2021-11-25 Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб Снабженный покрытием режущий инструмент

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4101703A (en) * 1972-02-04 1978-07-18 Schwarzkopf Development Corporation Coated cemented carbide elements
DE2263210B2 (de) * 1972-02-04 1977-03-17 Metallwerk Plansee AG & Co. KG, Reutte, Tirol (Österreich) Verschleissteil aus hartmetall, insbesondere fuer werkzeuge
JPS537513A (en) * 1976-07-10 1978-01-24 Mitsubishi Metal Corp Covered hard alloy product
DE3174953D1 (en) * 1980-01-21 1986-08-28 Sandvik Ab Method of preparing coated cemented carbide product and resulting product
US4282289A (en) * 1980-04-16 1981-08-04 Sandvik Aktiebolag Method of preparing coated cemented carbide product and resulting product
US4399168A (en) * 1980-01-21 1983-08-16 Santrade Ltd. Method of preparing coated cemented carbide product
DE3114351A1 (de) * 1981-04-09 1982-11-04 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt "oxindol-derivate, verfahren zu ihrer herstellung und sie enthaltende arzneimittel mit neuroanaboler wirkung"
IL63802A (en) * 1981-09-11 1984-10-31 Iscar Ltd Sintered hard metal products having a multi-layer wear-resistant coating
US4447263A (en) * 1981-12-22 1984-05-08 Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha Blade member of cermet having surface reaction layer and process for producing same
JPS60238481A (ja) * 1984-05-14 1985-11-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 多重層被覆超硬合金
JPS61223181A (ja) * 1985-03-29 1986-10-03 Mitsubishi Metal Corp 表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
JPH0732961B2 (ja) * 1986-10-03 1995-04-12 三菱マテリアル株式会社 表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
US5135801A (en) * 1988-06-13 1992-08-04 Sandvik Ab Diffusion barrier coating material
JPH0349834A (ja) * 1989-07-14 1991-03-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 金を接合材とする工具及びその製造方法
JP3099834B2 (ja) * 1991-03-18 2000-10-16 三菱マテリアル株式会社 すぐれた靭性を有する表面被覆炭窒化チタン基サーメット製切削工具
SE9101469D0 (sv) * 1991-05-15 1991-05-15 Sandvik Ab Etsmetod
JP2867803B2 (ja) * 1992-06-25 1999-03-10 三菱マテリアル株式会社 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
SE514737C2 (sv) * 1994-03-22 2001-04-09 Sandvik Ab Belagt skärverktyg av hårdmetall

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9044811B2 (en) 2010-09-07 2015-06-02 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface coated cutting tool
WO2014017836A1 (ko) * 2012-07-27 2014-01-30 한화케미칼 주식회사 다공성 탄소 및 이의 제조방법
US9428390B2 (en) 2012-07-27 2016-08-30 Hanwha Chemical Corporation Porous carbon and method of preparing the same

Also Published As

Publication number Publication date
RU2131328C1 (ru) 1999-06-10
US5800868A (en) 1998-09-01
RU95105176A (ru) 1996-12-27
KR950032707A (ko) 1995-12-22
SE514737C2 (sv) 2001-04-09
SE9400951L (sv) 1995-09-23
BR9501144A (pt) 1996-05-14
EP0678594A1 (en) 1995-10-25
JPH0847999A (ja) 1996-02-20
DE69509820T2 (de) 1999-09-23
ATE180518T1 (de) 1999-06-15
CN1112863A (zh) 1995-12-06
IL113067A0 (en) 1995-06-29
EP0678594B1 (en) 1999-05-26
DE69509820D1 (de) 1999-07-01
US5705263A (en) 1998-01-06
CN1060983C (zh) 2001-01-24
SE9400951D0 (sv) 1994-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100348543B1 (ko) 피복된절삭공구
US5863640A (en) Coated cutting insert and method of manufacture thereof
EP1953258B1 (en) Texture-hardened alpha-alumina coated tool
KR960015546B1 (ko) 확산방지 피막물질
US5786069A (en) Coated turning insert
EP0693574B1 (en) Aluminium oxide coated tool
KR100292292B1 (ko) 산화물 코팅된 코팅체
KR0165923B1 (ko) 피복 절삭공구 및 그 제조방법
EP1209255B1 (en) Oxide coated cutting tool
EP1717348B1 (en) Coated cutting tool insert
EP2497590B1 (en) Coated tool
KR100432108B1 (ko) 피복된선삭용인서트및그제조방법
EP1464727A2 (en) Oxide coated cutting tool
EP1762638B1 (en) PVD coated cutting tool
CN107980013B (zh) 表面被覆切削工具及其制造方法
EP0953065A1 (en) Coated cutting insert
EP0910685B1 (en) Coated cutting insert
EP2708299A1 (en) Surface coated cutting tool
JP3962300B2 (ja) 酸化アルミニウム被覆工具
JP2000158209A (ja) 炭窒酸化チタン膜被覆工具
KR19990044327A (ko) 코팅된 선삭 삽입체
KR102695334B1 (ko) 절삭공구
JP2000024808A (ja) 被覆超硬合金切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130701

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140716

Year of fee payment: 13

EXPY Expiration of term