RU2006140995A - Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении - Google Patents
Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении Download PDFInfo
- Publication number
- RU2006140995A RU2006140995A RU2006140995/28A RU2006140995A RU2006140995A RU 2006140995 A RU2006140995 A RU 2006140995A RU 2006140995/28 A RU2006140995/28 A RU 2006140995/28A RU 2006140995 A RU2006140995 A RU 2006140995A RU 2006140995 A RU2006140995 A RU 2006140995A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- wedge
- moving
- forms
- shaped displacement
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 21
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 73
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 claims 7
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/025—Inertial sliding motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Claims (26)
1. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых (a) крепят пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенном на сновании, и (b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.
2. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых (a) крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и (b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения многослойного пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.
3. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых (a) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, вдоль верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и (b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.
4. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых (a) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, к верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы, (b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины полосовой поверхности, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, и (c) дополнительно, посредством быстрой деформации и перемещения второго пьезоэлектрического элемента осуществляют точное позиционирование подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины полосовой поверхности, в направлении глубины полосовой поверхности.
5. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых (a) крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, к верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и (b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, из многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к верхней наклонной поверхности, и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, и посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, из многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к верхней наклонной поверхности, посредством чего также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины полосовой поверхности.
6. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых (a) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки на обеих сторонах, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и крепят второй и третий пьезоэлектрические элементы, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, к каждой верхней наклонной поверхности обоих сторон элемента перемещения клиновидной формы, и (b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы в поперечном направлении на основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины полосовой поверхности, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в вертикальном направлении так, чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении не изменялась, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и третьего пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины полосовой поверхности.
7. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых (a) крепят пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, к каждой верхней наклонной поверхности по обеим сторонам элемента перемещения клиновидной формы, и (b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины полосовой поверхности, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел, так чтобы общая потенциальная энергия подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, размещенного на верхней наклонной поверхности и генерирующего деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины полосовой поверхности.
8. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, в котором устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, в котором первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикреплен к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на первом основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, второй и третий пьезоэлектрические элементы, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, прикреплены к каждой верхней наклонной поверхности обоих сторон элемента перемещения клиновидной формы, элемент перемещения клиновидной формы перемещается в поперечном направлении на первом основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины полосовой поверхности осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и третьего пьезоэлектрических элементов точное позиционирование подвижных тел в направлении глубины полосовой поверхности, содержащее размещение устройства на втором основании посредством четвертого пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига и который прикреплен к нижней поверхности первого основания, и перемещение устройства точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении на втором основании в горизонтальном направлении посредством быстрой деформации и перемещения четвертого пьезоэлектрического элемента, посредством чего осуществляется позиционирование подвижных тел в направлении xyz.
9. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.8, в котором второй и третий пьезоэлектрические элементы являются многослойными пьезоэлектрическими элементами, в которых связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности.
10. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, и второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, и подвижное тело, которое размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения первого и второго пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз, в поперечном направлении и вертикальном направлении полосовой поверхности, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и четвертого пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины полосовой поверхности.
11. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, и второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, при этом подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения первого и третьего пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз, в поперечном направлении и вертикальном направлении полосовой поверхности, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и четвертого пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины полосовой поверхности.
12. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит (a) элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела, и к нижней поверхности прикреплен пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, (b) источник импульсов для быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, и (c) подвижное тело, вертикально перемещаемое в направлении вверх и вниз к поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела посредством перемещения элемента перемещения клиновидной формы, при этом (d) посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы к/из подвижного тела осуществляется позиционирование перемещения подвижного тела.
13. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит (a) элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела, и к нижней поверхности прикреплен многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, (b) источник импульсов для быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, и (c) подвижное тело, вертикально перемещаемое в направлении вверх и вниз к поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела посредством перемещения элемента перемещения клиновидной формы, при этом (d) посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы к/из подвижного тела осуществляется позиционирование перемещения подвижного тела.
14. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.12, в котором дополнительно второй пьезоэлектрический элемент закреплен на верхней поверхности элемента перемещения клиновидной формы.
15. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.14, в котором второй пьезоэлектрический элемент является многослойным пьезоэлектрическим элементом.
16. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.14, в котором второй пьезоэлектрический элемент является пьезоэлектрическим элементом, который осуществляет сдвиг в направлении глубины полосовой поверхности.
17. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.15, в котором второй многослойный пьезоэлектрический элемент составляет слои из пьезоэлектрического элемента, который осуществляет свдиг в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрического элемента, который осуществляет сдвиг в направлении глубины полосовой поверхности.
18. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.15, в котором второй многослойный пьезоэлектрический элемент составляет слои из пьезоэлектрического элемента, который осуществляет сдвиг в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрического элемента, который осуществляет растяжение и сжатие в направлении нормали наклонной поверхности.
19. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.12, в котором дополнительно третий пьезоэлектрический элемент прикреплен к поверхности подвижного тела, которое сжимает сторону поверхности стенки неподвижного тела.
20. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.13, в котором дополнительно третий многослойный пьезоэлектрический элемент прикреплен к поверхности подвижного тела, которое сжимает сторону поверхности стенки неподвижного тела.
21. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит (a) пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикрепленный к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки на обеих сторонах, и имеет треугольную форму в поперечном сечении, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, который прикреплен к каждой верхней наклонной поверхности обеих сторон элемента перемещения клиновидной формы, и (b) средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы элемент перемещения клиновидной формы перемещается на основании, и посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел справа и слева, перемещаемых в вертикальном направлении и в направлении глубины полосовой поверхности, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в поперечном направлении и в вертикальном направлении так, чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и дополнительно содержит средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, размещенных на внешней наклонной поверхности и формирующих деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины полосовой поверхности.
22. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит
(a) пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикрепленный к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму в поперечном сечении, и многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, который крепится к каждой верхней наклонной поверхности по обеим сторонам элемента перемещения клиновидной формы, и
(b) средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, из пьезоэлектрического элемента нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы и многослойных пьезоэлектрических элементов, прикрепленных к верхним наклонным поверхностям, элемент перемещения клиновидной формы перемещается на основании, и посредством ударения или извлечения подвижного элемента клиновидной формы в/от двух подвижных тел справа и слева, перемещаемых в вертикальном направлении и в направлении глубины полосовой поверхности, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в поперечном направлении и в вертикальном направлении так, чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и дополнительно содержит средство, в котором из многослойных пьезоэлектрических элементов, размещенных на верхних наклонных поверхностях, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины полосовой поверхности.
23. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит (a) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, и
(b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, при этом
(c) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения в поперечном направлении полосовой поверхности и вертикальном направлении подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины полосовой поверхности так, чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины полосовой поверхности.
24. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит (a) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, (в) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, при этом (c) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, которое перемещается в вертикальном направлении и направлении глубины полосовой поверхности, в поперечном направлении полосовой поверхности и вертикальном направлении так, чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины полосовой поверхности.
25. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит (a) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый многослойный пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрического элемента, который формирует вертикальную деформацию, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, (b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий многослойный пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрического элемента, который формирует вертикальную деформацию, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, при этом (c) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и посредством ударения или извлечения элементов перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины полосовой поверхности, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в поперечном направлении полосовой поверхности и вертикальном направлении, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины полосовой поверхности, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины полосовой поверхности.
26. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит (a) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, (b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, при этом (c) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и посредством ударения или извлечения элементов перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины полосовой поверхности, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004-150134 | 2004-05-20 | ||
JP2004150134 | 2004-05-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2006140995A true RU2006140995A (ru) | 2008-05-27 |
RU2341863C2 RU2341863C2 (ru) | 2008-12-20 |
Family
ID=35428648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2006140995A RU2341863C2 (ru) | 2004-05-20 | 2005-05-20 | Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7622847B2 (ru) |
EP (2) | EP1793432B1 (ru) |
JP (1) | JP4658040B2 (ru) |
KR (1) | KR100891605B1 (ru) |
DE (2) | DE602005015579D1 (ru) |
RU (1) | RU2341863C2 (ru) |
WO (1) | WO2005114825A1 (ru) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100891605B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2009-04-08 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 중량물 이동 방법 및 장치 |
JP2006125984A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Japan Science & Technology Agency | デイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置 |
JP2009136050A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Nidec Copal Corp | 駆動装置 |
DE102010025149B4 (de) * | 2010-06-25 | 2013-12-19 | Aspre Ag | Elektronisch ansteuerbare Antriebsvorrichtung |
JP5664089B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-02-04 | 株式会社ニコン | 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ |
NL1038691C2 (en) * | 2011-03-18 | 2012-09-19 | Janssen Prec Engineering B V | Cryogenic compatible slide actuator. |
CN102570620B (zh) * | 2011-12-26 | 2013-12-11 | 上海交通大学 | 步行能收集系统 |
KR102147514B1 (ko) * | 2013-11-27 | 2020-08-25 | 씨이비티 주식회사 | 피에조를 이용한 마이크로 스테이지 |
CN103701362B (zh) * | 2013-12-25 | 2015-12-02 | 武汉理工大学 | 组合式压电发电系统 |
CN105375686A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-03-02 | 武汉理工大学 | 一种采用变速齿轮加速的便携式压电电磁混合发电装置 |
CN112638549B (zh) * | 2018-09-06 | 2022-07-12 | Abb瑞士股份有限公司 | 用于非侵入测量的换能器 |
CN109186980A (zh) * | 2018-09-17 | 2019-01-11 | 南京林业大学 | 一种连续可调试的单向偏心加载装置 |
CN111601434B (zh) * | 2020-05-22 | 2022-06-17 | 深圳市大红点装饰有限公司 | 一种基于bim的建筑照明系统及控制方法 |
CN112872536B (zh) * | 2021-01-19 | 2023-01-24 | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 | 激光芯片的辅助焊接装置 |
CN112945747B (zh) * | 2021-02-03 | 2022-04-01 | 武汉大学 | 一种适用于纳米压痕测试系统的三向压力加载装置 |
CN113466060B (zh) * | 2021-07-02 | 2023-09-22 | 河南城建学院 | 一种基于多层剪切的流变松弛耦合测试系统及试验方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4928030A (en) * | 1988-09-30 | 1990-05-22 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
US5205147A (en) * | 1989-05-12 | 1993-04-27 | Fuji Electric Co., Ltd. | Pre-loaded actuator using piezoelectric element |
JP2773777B2 (ja) * | 1989-07-25 | 1998-07-09 | 住友重機械工業株式会社 | アクチュエータユニットおよびそれを用いたレベル調整のできるステージ装置 |
JPH0681692B2 (ja) | 1989-08-24 | 1994-10-19 | 積水化学工業株式会社 | 軽量板状体の製造方法およびその装置 |
JPH04341644A (ja) * | 1991-05-16 | 1992-11-27 | Omron Corp | 変位発生装置 |
US5247222A (en) * | 1991-11-04 | 1993-09-21 | Engle Craig D | Constrained shear mode modulator |
GB9205665D0 (en) * | 1992-03-16 | 1992-04-29 | Fisons Plc | Piezo-electric motor |
JP3081119B2 (ja) * | 1994-11-15 | 2000-08-28 | 松下電工株式会社 | 気泡発生浴槽 |
JP4073060B2 (ja) * | 1997-11-04 | 2008-04-09 | 株式会社ナノコントロール | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
US6873087B1 (en) * | 1999-10-29 | 2005-03-29 | Board Of Regents, The University Of Texas System | High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes |
US6313567B1 (en) * | 2000-04-10 | 2001-11-06 | Motorola, Inc. | Lithography chuck having piezoelectric elements, and method |
JP2002272149A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-20 | Taiheiyo Cement Corp | 送り装置および回転装置 |
JP4024027B2 (ja) | 2001-10-16 | 2007-12-19 | 俊郎 樋口 | 圧電アクチュエータ |
JP2003243282A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-29 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
JP4300003B2 (ja) * | 2002-08-07 | 2009-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台の駆動装置及びプローブ方法 |
US7368856B2 (en) * | 2003-04-04 | 2008-05-06 | Parker-Hannifin Corporation | Apparatus and process for optimizing work from a smart material actuator product |
KR100891605B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2009-04-08 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 중량물 이동 방법 및 장치 |
US7301257B2 (en) * | 2005-10-14 | 2007-11-27 | Academia Sinica | Motion actuator |
JP4984673B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2012-07-25 | 日産自動車株式会社 | 駆動装置 |
-
2005
- 2005-05-20 KR KR20067023895A patent/KR100891605B1/ko active IP Right Grant
- 2005-05-20 EP EP20070003909 patent/EP1793432B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-20 WO PCT/JP2005/009229 patent/WO2005114825A1/ja active Application Filing
- 2005-05-20 DE DE200560015579 patent/DE602005015579D1/de active Active
- 2005-05-20 JP JP2006513734A patent/JP4658040B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-20 RU RU2006140995A patent/RU2341863C2/ru active
- 2005-05-20 DE DE200560026141 patent/DE602005026141D1/de active Active
- 2005-05-20 US US11/596,757 patent/US7622847B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-20 EP EP20050741265 patent/EP1753120B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-09-09 US US12/556,384 patent/US7834519B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2341863C2 (ru) | 2008-12-20 |
KR20070012483A (ko) | 2007-01-25 |
US20080088205A1 (en) | 2008-04-17 |
KR100891605B1 (ko) | 2009-04-08 |
EP1793432A2 (en) | 2007-06-06 |
JPWO2005114825A1 (ja) | 2008-03-27 |
EP1753120A1 (en) | 2007-02-14 |
DE602005015579D1 (de) | 2009-09-03 |
US20100060105A1 (en) | 2010-03-11 |
US7622847B2 (en) | 2009-11-24 |
EP1793432A3 (en) | 2008-07-09 |
DE602005026141D1 (de) | 2011-03-10 |
EP1753120B1 (en) | 2009-07-22 |
JP4658040B2 (ja) | 2011-03-23 |
US7834519B2 (en) | 2010-11-16 |
EP1793432B1 (en) | 2011-01-26 |
EP1753120A4 (en) | 2008-05-28 |
WO2005114825A1 (ja) | 2005-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2006140995A (ru) | Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении | |
CN102944474B (zh) | 一种高速率单向拉伸试验方法 | |
CN102620967A (zh) | 用于岩石力学领域的类岩石试件模具 | |
CN107283909A (zh) | 一种抗震能力强的冲压机 | |
CN107096842A (zh) | 一种冰柜内胆囗形围板铆接机构 | |
CN100413202C (zh) | 一种利用压电效应箝位的超磁致伸缩直线驱动器 | |
CN107081754A (zh) | 一种冷柜内胆围板吸盘机械手 | |
CN208577084U (zh) | 一种提手底板的送料装置 | |
EP3892979A1 (en) | A falling weight deflectometer | |
KR20080047277A (ko) | 금속 박판용 매니플레이터 | |
CN212639106U (zh) | 一种全自动轻型砖制砖机用码垛装置 | |
JP4024027B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
CN205837921U (zh) | 物体水平转换成垂直位置的装置 | |
CN210680047U (zh) | 超声波振动刮料装置和pcb自动印刷机 | |
CN206953008U (zh) | 一种冷柜内胆围板吸盘机械手 | |
JP6812842B2 (ja) | 搬送装置 | |
CN111673481A (zh) | 一种用于钎焊片自动化连续切料送料结构 | |
CN206952007U (zh) | 一种冰柜内胆囗形围板铆接机构 | |
CN116533272B (zh) | 一种用于工业机器人的夹取机构 | |
CN104753392B (zh) | 一种直线运动压电驱动器 | |
CN216302070U (zh) | 一种钣金件运输保护装置 | |
CN210704791U (zh) | 一种飞轮盘用打标机 | |
SU1630662A2 (ru) | Устройство дл прессовани волокнистых материалов | |
CN114635512B (zh) | 一种用于建筑物保温的保温墙板结构 | |
CN216836101U (zh) | 一种兼容多层吸盘的切换结构 |