JP4658040B2 - 精密高耐荷重移動方法および装置 - Google Patents
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Description
この図において、101は固定部の床面、102は固定部の壁面、103はくさび状の移動体、104はその移動体103の側面に固定されるピエゾ素子、105はそのピエゾ素子104の先端部に固定される衝撃子、106はくさび状の移動体103の移動によって鉛直方向に移動するステージ、107はバネによる移動体103のガイドである。図示しないが、ピエゾ素子104には、ピエゾ素子104の急速変形を生成させるパルス電圧源が接続される(下記非特許文献1参照)。
図2はかかる従来の剪断ピエゾ素子の急速変形によって移動体を移動させる機構の模式図である。
この図に示すように、従来は、本体201と脚203の間に剪断方向に変位するピエゾ素子202を挟み、鋸歯状波の電圧をピエゾ素子202に印加することによって移動を生じるようにしている。
曽國浩、渋谷俊克、樋口俊郎「圧電素子による大荷重用高さ微調整機構の開発(第一報)」2002年度精密工学会春季大会講演論文集pp112. Ph.Niedermann,R.Emch,and P.Descouts,Rev.Sci.Instrum.,59,368,(1988).
また、上記した従来の剪断ピエゾ素子の急速変形によって移動体を移動させる機構では、剪断ピエゾ素子202の急速変形によって移動体を直接鉛直方向に移動させていたが、摺動面への押し付け圧の選択幅の狭さ、移動速度の遅さ、耐荷重の低さ、鉛直方向への力の付加による位置決め後の変位、数〜十nmでの安定した移動の維持ができないことなどの問題点があった。
〔1〕精密高耐荷重移動方法において、剪断変形を起こすピエゾ素子をベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定し、前記ピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向に上下可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする。
〔10〕精密高耐荷重移動方法において、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、ベース上の左側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第1のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、この第1のくさび状移動子の上部傾斜面に、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子を固定し、剪断変形を起こす第3のピエゾ素子を、ベース上の右側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第2のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、この第2のくさび状移動子の上部傾斜面に、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子を固定し、前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することによって前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記第1のくさび状移動子および前記第2のくさび状移動子にブリッジするように配置されるとともに前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、また、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することによって、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする。
〔15〕上記〔14〕記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が積層ピエゾ素子であることを特徴とする。
〔16〕上記〔15〕記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が、前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子であることを特徴とする。
〔18〕上記〔15〕記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が、前記くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と、前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子を積層したものであることを特徴とする。
〔20〕上記〔13〕記載の精密高耐荷重移動装置において、さらに前記固定体の壁面と接触する前記移動体の面に第3の積層ピエゾ素子を固定することを特徴とする。
〔21〕精密高耐荷重移動方法において、両側に壁面を有するベース上に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が底面に固定されるとともに、両側の上部傾斜面各々に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子と第3のピエゾ素子がそれぞれ固定される、断面が3角形状のくさび状移動子と、前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする。
〔23〕精密高耐荷重移動装置において、ベース上の左側に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子が固定される第1のくさび状移動子と、前記ベース上の右側に配置され、剪断変形を起こす第3のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子が固定される第2のくさび状移動子と、前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子にブリッジするように配置され、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする。
〔25〕精密高耐荷重移動装置において、ベース上の左側に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第1のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子が固定される第1のくさび状移動子と、前記ベース上の右側に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第3のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子が固定される第2のくさび状移動子と、前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子にブリッジするように配置され、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする。
このように、本発明は、微小なピエゾ素子でkgオーダの負荷を鉛直方向に位置決め可能にする装置を提供でき、さらにその分解能はnmオーダである。
また、ピエゾ素子は、対向するどちらの面に固定しても良い。また、積層ピエゾ素子の代わりに、積層ピエゾ素子を構成する各層を対向する各々の面に固定しても良いことは言うまでもない。
また、複数個の剪断変形を起こすピエゾ素子を利用し、その剪断変形ピエゾ素子の剪断方向を異なるようにすることにより、2軸あるいは3軸の方向に移動可能な移動機構を実現することができる。
図3は本発明の第1実施例を示す精密高耐荷重移動装置の模式図である。
この図において、1は固定部の床面、2は固定部の壁面、3はくさび状移動子、4はそのくさび状移動子3の底面に固定される剪断変形を起こすピエゾ素子、5はそのくさび状移動子3によって駆動され鉛直方向へ移動する移動体であり、この移動体5の上面には試料6などが載置される。7はこの移動体5をバネにより押さえるガイド(ベアリング)、8は剪断変形を起こすピエゾ素子4に急速変形を生成するための駆動パルス源である。
まず、図4(a)に示すような位置にくさび状移動子3があり、そのくさび状移動子3の底面に剪断変形を起こすピエゾ素子4が固定されている。
次に、この剪断変形を起こすピエゾ素子4に、駆動パルス源8から図5に示すような鋸歯状の駆動パルス9、9’が印加されると、図4(b)に示すように、ピエゾ素子4は左方向へ急速変形する。すなわち、図4(c)に示すように、ピエゾ素子4がΔdだけ左側へと移動し、くさび状移動子3が移動体5の下に右側から打ち込まれることになるので、移動体5はΔhだけ鉛直上方へ持ち上げられて位置決めされる。
図7は本発明の第2実施例を示す精密高耐荷重移動装置の模式図である。
また、図7において、ピエゾ素子11を紙面奥行き方向(鉛直方向および水平方向に直交する方向、以下同様)に剪断変形を起こすピエゾ素子とすることも可能である。この場合、ピエゾ素子4を急速変形駆動することによりくさび状移動子3をベース上で移動させ、ベースに対して鉛直方向と紙面に対して奥行き方向に移動可能な移動体5にくさび状移動子3を打ち込んだり引き抜くことにより、移動体5の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、ピエゾ素子11を急速変形駆動することにより、鉛直方向と紙面奥行き方向に移動可能な移動体5を紙面奥行き方向に微小移動位置決めを行うことが可能となる。
この実施例では、第2実施例にさらに、移動体5と固定部の壁面2が接触する部分に剪断変形(ここでは上下方向)を起こすピエゾ素子12を固定して、前記剪断変形を起こすピエゾ素子4,11と同期を取って駆動する。それにより、移動体5と固定部の壁面2が接触する面の摩擦係数を下げた状態で、移動体5にくさび状移動子3を打ち込んだり引き抜くことになるため、移動体5の鉛直方向の微小移動位置決めを行うことができる。
この図において、21は固定部の床面、22は固定部の壁面、23はくさび状移動子、24はそのくさび状移動子23の底面に固定される、剪断変形(ここでは左方向)を起こすピエゾ素子24Aと、固定部の床面21に対して鉛直方向の変形(伸長)を起こすピエゾ素子24Bとを張り合わせた積層ピエゾ素子、25はそのくさび状移動子23によって駆動され鉛直方向へ移動する移動体であり、この移動体25の上面には試料26などが載置される。27は移動体25をバネにより固定部の壁面22に対して押さえるガイド(ベアリング)、30は積層ピエゾ素子24を駆動するための駆動パルス源である。
まず、図10(a)に示すような位置にくさび状移動子23があり、そのくさび状移動子23の底面に、剪断変形(ここでは左方向)を起こすピエゾ素子24Aと固定部の床面21に対して鉛直方向の変形(伸長)を起こすピエゾ素子24Bとを貼り合わせた積層ピエゾ素子24が固定されている。
なお、駆動パルスとしては、図6に示したような富士山形状の駆動パルスであってもよい。
この実施例では、第4実施例にさらに、くさび状移動子23の上面にも、剪断変形(ここでは左方向)を起こすピエゾ素子28Aと固定部の床面21に対して鉛直方向の変形(伸長)を起こすピエゾ素子28Bとを貼り合わせた積層ピエゾ素子28を固定して、前記積層ピエゾ素子24と同期を取って駆動する。それにより、移動体25にくさび状移動子23を打ち込んだり引き抜くことになるため、移動体25の鉛直方向の微小移動位置決めを行うことができる。
この実施例では、第4実施例にさらに、くさび状移動子23の上面にも、剪断変形(ここでは左方向)を起こすピエゾ素子28Aと紙面奥行き方向に剪断変形を起こすピエゾ素子28Cとを貼り合わせた積層ピエゾ素子28を固定して、前記積層ピエゾ素子24と同期を取って駆動する。それにより、移動体25にくさび状移動子23を打ち込んだり引き抜くことになるため、移動体25の鉛直方向の微小移動位置決めを行うことができる。また、ピエゾ素子28Cを急速変形駆動することにより、鉛直面(固定部の床面21)と移動体25の下側を案内面として、紙面奥行き方向に微小移動位置決めを行うことができる。
この実施例は、第5実施例にさらに、移動体25と固定部の壁面22が接触する部分に剪断変形(ここでは上方向)を起こすピエゾ素子29Aと縦変形を起こすピエゾ素子29Bとを貼り合わせた積層ピエゾ素子29を固定して、前記積層ピエゾ素子24及び28と同期を取って駆動する。それにより、移動体25にくさび状移動子23を打ち込んだり、引き抜くことになるため、移動体25の鉛直方向の微小移動位置決めを行うことができる。
固定部の床面21上に剪断変形(ここでは左方向)を起こすピエゾ素子24Aと鉛直方向の変形(伸長)を起こすピエゾ素子24Bとを貼り合わせ、剪断変形を起こすピエゾ素子24Aに図15(a)に示すような正弦波を、鉛直方向の変形を起こすピエゾ素子24Bに図15(b)に示すような正弦波を印加する。これにより、摺動面は図16に示すように、図を見る方向から時計方向の円運動ないし楕円運動をしており、くさび状移動子23を駆動する。なお、上記した正弦波に代えて、余弦波を印加するようにしてもよい。
(1)上記した精密高耐荷重移動装置をバネにより押さえるガイド7,27に代えて、固定部の壁面を磁性体にするとともに、移動体の、固定部の壁面側に磁石を配置することによって、移動体を固定部に吸着させることができる。なお、かかる磁石による移動体の固定部への吸着手段は、その他の全ての実施例(図3、図4、図7、図8、図9、図10、図12、図13、図14、図18参照)に適用できることは言うまでもない。
この図において、31は固定部の床面、32は磁性体からなる固定部の壁面、33はくさび状移動子、34はそのくさび状移動子33の底面に固定される剪断変形(ここでは左方向)を起こすピエゾ素子、35はそのくさび状移動子33によって駆動され鉛直方向へ移動する移動体であり、この移動体35の上面には試料36などが載置される。37は磁性体からなる固定部の壁面32に接触するように、移動体35に固定される磁石である。
(3)上記した積層ピエゾ素子を直接固定部の床面に接触させるのではなく、積層ピエゾ素子に別体の摺動面を付設して、固定部の床面と接触させるようにしてもよい。
図18はかかる摺動面を付設した精密高耐荷重移動装置の模式図である。
このように構成することにより、安定な接触状態を保持することができる。
次に、図19は全体として位置ポテンシャルが変化しない上下位置決め機構を有する本発明の精密高耐荷重移動装置(その1)の模式図である。
ここでは、上記した図19に示す上下位置決め機構を有する精密高耐荷重移動装置40を、第1のベース41’の底面に固定された、剪断変形を起こすピエゾ素子からなる第4のピエゾ素子52を介して第2のベース51上に載置するようにしたものである。
図21は全体として位置ポテンシャルが変化しない上下位置決め機構を有する本発明の精密高耐荷重移動装置(その3)の模式図、図22は全体として位置ポテンシャルが変化しない上下位置決め機構で、移動体のxyz3軸の移動位置決め機能を有する本発明の精密高耐荷重移動装置(その4)の模式図である。
図21において、40は上下位置決め機構を有する精密高耐荷重移動装置、41はベース、42は第1の固定部(ベース)、42Aは第1の固定部(ベース)の壁面、43は第2の固定部(ベース)、43Aは第2の固定部(ベース)の壁面、44は断面が3角形状のくさび状移動子、45はその断面が3角形状のくさび状移動子44の底面に固定される剪断変形を起こすピエゾ素子からなる第1のピエゾ素子、46は断面が3角形状のくさび状移動子44の左側の傾斜面に固定される、剪断変形を起こすピエゾ素子46Aと紙面奥行き方向に剪断変形を起こすピエゾ素子46Cとを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子、47は断面が3角形状のくさび状移動子44の右側の傾斜面に固定される、剪断変形を起こすピエゾ素子47Aと紙面奥行き方向に剪断変形を起こすピエゾ素子47Cとを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第3のピエゾ素子、48は第1の移動体、49は第2の移動体である。
この実施例でも、第1の移動体48と第2の移動体49の上下位置決め機構において、全体として位置ポテンシャルが変化しないくさび形移動機構を提供することができ、上り下りの特性に差が生じない利点があり、信頼性も高い。摺動面への押しつけバネや、押しつけ力を得るための磁石を必要とせず、また、くさびにより大荷重の負荷に耐えることができる。さらに、上下負荷に対して変位を生じにくい。第1の移動体48と第2の移動体49は、鉛直方向、および紙面奥行き方向に変位可能であるのみならず、剪断変形を起こすピエゾ素子からなる第4のピエゾ素子52の駆動により、水平方向への変位を可能にすることができる。
図23は、ベースとくさび状移動子2個とピエゾ素子4個を用いて、移動体を位置決めする本発明の精密高耐荷重移動装置の模式図である。
この図において、61はベース、62はベース61上左側に配置され、底面は水平で内側が低い上部傾斜面を有する第1のくさび状移動子であり、この第1のくさび状移動子62の底面には剪断変形を起こす第1のピエゾ素子63が固定され、上部傾斜面には、上部傾斜面の傾斜方向の剪断変形を起こすピエゾ素子64Aと紙面奥行き方向の剪断変形を起こすピエゾ素子64Cとを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子64が固定される。また、65はベース61上右側に配置され、底面は水平で内側が低い上部傾斜面を有する第2のくさび状移動子であり、この第2のくさび状移動子65の底面には剪断変形を起こす第3のピエゾ素子66が固定され、上部傾斜面には、上部傾斜面の傾斜方向の剪断変形を起こすピエゾ素子67Aと紙面奥行き方向の剪断変形を起こすピエゾ素子67Cとを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第4のピエゾ素子67が固定される。68は第1のくさび状移動子62と第2のくさび状移動子65にブリッジするように配置される移動体である。
また、図23に記載した位置決め機構の他の変形として、第1のピエゾ素子63と第3のピエゾ素子66を、剪断変形を起こすピエゾ素子とベース61に対して鉛直方向変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子とした場合も同様の自由度の変位が得られることは言うまでもない。
Claims (26)
- (a)剪断変形を起こすピエゾ素子をベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定し、
(b)前記ピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向に上下可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - (a)剪断変形を起こすピエゾ素子とベースに対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子を前記ベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定し、
(b)前記積層ピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向に上下可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - (a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子をベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子を前記くさび状移動子の上部傾斜面に固定し、
(b)前記第1及び第2のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向に上下可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - (a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子をベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定するとともに、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子を前記くさび状移動子の上部傾斜面に固定し、
(b)前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(c)また、前記第2のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - (a)剪断変形を起こすピエゾ素子とベースに対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第1のピエゾ素子を前記ベース上に載置されるくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子を前記くさび状移動子の上部傾斜面に固定し、
(b)前記第1のピエゾ素子と、前記第2のピエゾ素子の前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形するピエゾ素子とを急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を前記ベース上で移動させ、前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(c)また、前記第2のピエゾ素子の前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形するピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - (a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、両側に壁面を有するベース上に載置される断面が上側に斜辺2個を有する3角形状のくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の両側の上部傾斜面各々に、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子と第3のピエゾ素子をそれぞれ固定し、
(b)前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することによって前記くさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な左右2個の移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記2個の移動体の鉛直方向の位置エネルギーの総和が変わらない様に前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(c)また、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - (a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、両側に壁面を有するベース上に載置される断面が上側に斜辺2個を有する3角形状のくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の両側の上部傾斜面各々に、該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子と第3のピエゾ素子をそれぞれ固定し、
(b)前記第1のピエゾ素子と、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子の前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを急速変形駆動することによって前記くさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な左右2個の移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記2個の移動体の鉛直方向の位置エネルギーの総和が変わらない様に前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(c)また、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子の前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - 剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、両側に壁面を有する第1のベース上に載置される断面が上側に斜辺2個を有する3角形状のくさび状移動子の底面に固定するとともに、該くさび状移動子の両側の上部傾斜面各々に、前記第1のベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子をそれぞれ固定し、前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することによって前記くさび状移動子を前記第1のベース上で左右に移動させ、前記第1のベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な左右2個の移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記2個の移動体の鉛直方向の位置エネルギーの総和が変わらない様に前記移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、また、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記第1のベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行う精密高耐荷重移動装置を、前記第1のベースの底面に固定された剪断変形を起こす第4のピエゾ素子を介して第2のベース上に載置し、前記第4のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記精密高耐荷重移動装置を前記第2のベース上で水平方向に移動させることによって、前記移動体のxyz方向の位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。
- 請求項8記載の精密高耐荷重移動方法において、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子が、前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記第1のベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなることを特徴とする精密高耐荷重移動方法。
- (a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、ベース上の左側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第1のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、該第1のくさび状移動子の上部傾斜面に、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子を固定し、
(b)剪断変形を起こす第3のピエゾ素子を、ベース上の右側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第2のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、該第2のくさび状移動子の上部傾斜面に、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子を固定し、
(c)前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することによって前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記第1のくさび状移動子および前記第2のくさび状移動子にブリッジするように配置されるとともに前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(d)また、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することによって、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - (a)剪断変形を起こす第1のピエゾ素子を、ベース上の左側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第1のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、該第1のくさび状移動子の上部傾斜面に、該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子を固定し、
(b)剪断変形を起こす第3のピエゾ素子を、ベース上の右側に載置される内側が低い上部傾斜面を有する第2のくさび状移動子の水平な底面に固定するとともに、該第2のくさび状移動子の上部傾斜面に、該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第4のピエゾ素子を固定し、
(c)前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子と、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子の前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子とを急速変形駆動することによって前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子を前記ベース上で左右に移動させ、前記第1のくさび状移動子および前記第2のくさび状移動子にブリッジするように配置されるとともに前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体の鉛直方向の微小移動位置決めを行い、
(d)また、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子の前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形するピエゾ素子を急速変形駆動することによって、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向にも前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動方法。 - (a)固定体の水平方向の面上に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が底面に固定されるくさび状移動子と、
(b)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(c)前記くさび状移動子の駆動によって前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に上下可能な移動体とを備え、
(d)前記移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。 - (a)固定体の水平方向の面上に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子と前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子とを貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第1のピエゾ素子が底面に固定されるくさび状移動子と、
(b)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(c)前記くさび状移動子の駆動によって前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に上下可能な移動体とを備え、
(d)前記移動体に前記くさび状移動子を打ち込んだり引き抜くことにより、前記移動体の移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。 - 請求項13記載の精密高耐荷重移動装置において、さらに第2のピエゾ素子を前記くさび状移動子の上部傾斜面に固定することを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- 請求項14記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が積層ピエゾ素子であることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- 請求項14記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が、前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子であることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- 請求項15記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が、前記くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と、前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を積層したものであることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- 請求項15記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子が、前記くさび状移動子の上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と、前記固定体の水平方向の面に対して鉛直方向に変形を起こすピエゾ素子を積層したものであることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- 請求項12記載の精密高耐荷重移動装置において、さらに前記固定体の壁面と接触する前記移動体の面に第3のピエゾ素子を固定することを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- 請求項13記載の精密高耐荷重移動装置において、さらに前記固定体の壁面と接触する前記移動体の面に第3の積層ピエゾ素子を固定することを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- (a)両側に壁面を有するベース上に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が底面に固定されるとともに、両側の上部傾斜面各々に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子と第3のピエゾ素子がそれぞれ固定される、断面が3角形状のくさび状移動子と、
(b)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(c)前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、
(d)前記第1のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。 - 請求項21記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子および第3のピエゾ素子が、前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- (a)ベース上の左側に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子が固定される第1のくさび状移動子と、
(b)前記ベース上の右側に配置され、剪断変形を起こす第3のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子が固定される第2のくさび状移動子と、
(c)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(d)前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子にブリッジするように配置され、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、
(e)前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。 - 請求項23記載の精密高耐荷重移動装置において、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子が、前記上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなることを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
- (a)ベース上の左側に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第1のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第2のピエゾ素子が固定される第1のくさび状移動子と、
(b)前記ベース上の右側に配置され、剪断変形を起こすピエゾ素子と前記ベースに対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第3のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向に剪断変形を起こす第4のピエゾ素子が固定される第2のくさび状移動子と、
(c)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(d)前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子にブリッジするように配置され、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向と鉛直方向および水平方向に直交する方向に移動可能な移動体とを備え、
(e)前記第1のピエゾ素子および第3のピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うとともに、前記第2のピエゾ素子および第4のピエゾ素子を急速変形駆動することにより、前記ベースに対して鉛直方向および水平方向に直交する方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。 - (a)ベース上の左側に配置され、剪断変形を起こす第1のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記上部傾斜面に対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第2のピエゾ素子が固定される第1のくさび状移動子と、
(b)前記ベース上の右側に配置され、剪断変形を起こす第3のピエゾ素子が水平な底面に固定されるとともに、内側が低い上部傾斜面に該上部傾斜面の斜面方向に剪断変形を起こすピエゾ素子と前記上部傾斜面に対して鉛直方向に剪断変形を起こすピエゾ素子を貼り合わせた積層ピエゾ素子からなる第4のピエゾ素子が固定される第2のくさび状移動子と、
(c)前記ピエゾ素子を急速変形駆動するパルス源と、
(d)前記第1のくさび状移動子および第2のくさび状移動子にブリッジするように配置され、前記ピエゾ素子の駆動によって前記ベースに対して鉛直方向に移動可能な移動体とを備え、
(e)前記ピエゾ素子を急速変形駆動することにより前記くさび状移動子を移動させ、前記ベースに対して鉛直方向の前記移動体の微小移動位置決めを行うことを特徴とする精密高耐荷重移動装置。
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JP2009136050A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Nidec Copal Corp | 駆動装置 |
DE102010025149B4 (de) * | 2010-06-25 | 2013-12-19 | Aspre Ag | Elektronisch ansteuerbare Antriebsvorrichtung |
JP5664089B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-02-04 | 株式会社ニコン | 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ |
NL1038691C2 (en) * | 2011-03-18 | 2012-09-19 | Janssen Prec Engineering B V | Cryogenic compatible slide actuator. |
CN102570620B (zh) * | 2011-12-26 | 2013-12-11 | 上海交通大学 | 步行能收集系统 |
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CN103701362B (zh) * | 2013-12-25 | 2015-12-02 | 武汉理工大学 | 组合式压电发电系统 |
CN105375686A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-03-02 | 武汉理工大学 | 一种采用变速齿轮加速的便携式压电电磁混合发电装置 |
EP3846945B1 (en) * | 2018-09-06 | 2022-06-29 | ABB Schweiz AG | Transducer for non-invasive measurement |
CN109186980A (zh) * | 2018-09-17 | 2019-01-11 | 南京林业大学 | 一种连续可调试的单向偏心加载装置 |
CN111601434B (zh) * | 2020-05-22 | 2022-06-17 | 深圳市大红点装饰有限公司 | 一种基于bim的建筑照明系统及控制方法 |
CN112872536B (zh) * | 2021-01-19 | 2023-01-24 | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 | 激光芯片的辅助焊接装置 |
CN112945747B (zh) * | 2021-02-03 | 2022-04-01 | 武汉大学 | 一种适用于纳米压痕测试系统的三向压力加载装置 |
CN113466060B (zh) * | 2021-07-02 | 2023-09-22 | 河南城建学院 | 一种基于多层剪切的流变松弛耦合测试系统及试验方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04341644A (ja) * | 1991-05-16 | 1992-11-27 | Omron Corp | 変位発生装置 |
JP2003134859A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-05-09 | Toshiro Higuchi | 圧電アクチュエータ |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4928030A (en) | 1988-09-30 | 1990-05-22 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
US5205147A (en) * | 1989-05-12 | 1993-04-27 | Fuji Electric Co., Ltd. | Pre-loaded actuator using piezoelectric element |
JP2773777B2 (ja) * | 1989-07-25 | 1998-07-09 | 住友重機械工業株式会社 | アクチュエータユニットおよびそれを用いたレベル調整のできるステージ装置 |
JPH0681692B2 (ja) | 1989-08-24 | 1994-10-19 | 積水化学工業株式会社 | 軽量板状体の製造方法およびその装置 |
US5247222A (en) * | 1991-11-04 | 1993-09-21 | Engle Craig D | Constrained shear mode modulator |
GB9205665D0 (en) * | 1992-03-16 | 1992-04-29 | Fisons Plc | Piezo-electric motor |
JP3081119B2 (ja) * | 1994-11-15 | 2000-08-28 | 松下電工株式会社 | 気泡発生浴槽 |
JP4073060B2 (ja) | 1997-11-04 | 2008-04-09 | 株式会社ナノコントロール | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
US6873087B1 (en) * | 1999-10-29 | 2005-03-29 | Board Of Regents, The University Of Texas System | High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes |
US6313567B1 (en) * | 2000-04-10 | 2001-11-06 | Motorola, Inc. | Lithography chuck having piezoelectric elements, and method |
JP2002272149A (ja) | 2001-03-15 | 2002-09-20 | Taiheiyo Cement Corp | 送り装置および回転装置 |
JP2003243282A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-29 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
JP4300003B2 (ja) * | 2002-08-07 | 2009-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台の駆動装置及びプローブ方法 |
JP4791957B2 (ja) * | 2003-04-04 | 2011-10-12 | バイキング テクノロジィーズ エル.シー. | 機能材料アクチュエータ製品からの仕事を最適化する機器および方法 |
US7622847B2 (en) * | 2004-05-20 | 2009-11-24 | Japan Science And Technology Agency | Method and device for precisely resisting and moving high load |
US7301257B2 (en) * | 2005-10-14 | 2007-11-27 | Academia Sinica | Motion actuator |
JP4984673B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2012-07-25 | 日産自動車株式会社 | 駆動装置 |
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