DE602005015579D1 - Verfahren und einrichtung zum präzisen widerstehen und bewegen hoher lasten - Google Patents
Verfahren und einrichtung zum präzisen widerstehen und bewegen hoher lastenInfo
- Publication number
- DE602005015579D1 DE602005015579D1 DE200560015579 DE602005015579T DE602005015579D1 DE 602005015579 D1 DE602005015579 D1 DE 602005015579D1 DE 200560015579 DE200560015579 DE 200560015579 DE 602005015579 T DE602005015579 T DE 602005015579T DE 602005015579 D1 DE602005015579 D1 DE 602005015579D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- restricting
- precision
- high loads
- moving high
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/025—Inertial sliding motors
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004150134 | 2004-05-20 | ||
PCT/JP2005/009229 WO2005114825A1 (ja) | 2004-05-20 | 2005-05-20 | 精密高耐荷重移動方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE602005015579D1 true DE602005015579D1 (de) | 2009-09-03 |
Family
ID=35428648
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200560015579 Active DE602005015579D1 (de) | 2004-05-20 | 2005-05-20 | Verfahren und einrichtung zum präzisen widerstehen und bewegen hoher lasten |
DE200560026141 Active DE602005026141D1 (de) | 2004-05-20 | 2005-05-20 | Verfahren und Einrichtung für präzise und Hochlast-widerstandsfähige Bewegung |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200560026141 Active DE602005026141D1 (de) | 2004-05-20 | 2005-05-20 | Verfahren und Einrichtung für präzise und Hochlast-widerstandsfähige Bewegung |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7622847B2 (de) |
EP (2) | EP1793432B1 (de) |
JP (1) | JP4658040B2 (de) |
KR (1) | KR100891605B1 (de) |
DE (2) | DE602005015579D1 (de) |
RU (1) | RU2341863C2 (de) |
WO (1) | WO2005114825A1 (de) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100891605B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2009-04-08 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 중량물 이동 방법 및 장치 |
JP2006125984A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Japan Science & Technology Agency | デイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置 |
JP2009136050A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Nidec Copal Corp | 駆動装置 |
DE102010025149B4 (de) * | 2010-06-25 | 2013-12-19 | Aspre Ag | Elektronisch ansteuerbare Antriebsvorrichtung |
JP5664089B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-02-04 | 株式会社ニコン | 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ |
NL1038691C2 (en) * | 2011-03-18 | 2012-09-19 | Janssen Prec Engineering B V | Cryogenic compatible slide actuator. |
CN102570620B (zh) * | 2011-12-26 | 2013-12-11 | 上海交通大学 | 步行能收集系统 |
KR102147514B1 (ko) * | 2013-11-27 | 2020-08-25 | 씨이비티 주식회사 | 피에조를 이용한 마이크로 스테이지 |
CN103701362B (zh) * | 2013-12-25 | 2015-12-02 | 武汉理工大学 | 组合式压电发电系统 |
CN105375686A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-03-02 | 武汉理工大学 | 一种采用变速齿轮加速的便携式压电电磁混合发电装置 |
WO2020049008A1 (en) * | 2018-09-06 | 2020-03-12 | Abb Schweiz Ag | Transducer for non-invasive measurement |
CN109186980A (zh) * | 2018-09-17 | 2019-01-11 | 南京林业大学 | 一种连续可调试的单向偏心加载装置 |
CN111601434B (zh) * | 2020-05-22 | 2022-06-17 | 深圳市大红点装饰有限公司 | 一种基于bim的建筑照明系统及控制方法 |
CN112872536B (zh) * | 2021-01-19 | 2023-01-24 | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 | 激光芯片的辅助焊接装置 |
CN112945747B (zh) * | 2021-02-03 | 2022-04-01 | 武汉大学 | 一种适用于纳米压痕测试系统的三向压力加载装置 |
CN113466060B (zh) * | 2021-07-02 | 2023-09-22 | 河南城建学院 | 一种基于多层剪切的流变松弛耦合测试系统及试验方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4928030A (en) * | 1988-09-30 | 1990-05-22 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric actuator |
US5205147A (en) * | 1989-05-12 | 1993-04-27 | Fuji Electric Co., Ltd. | Pre-loaded actuator using piezoelectric element |
JP2773777B2 (ja) | 1989-07-25 | 1998-07-09 | 住友重機械工業株式会社 | アクチュエータユニットおよびそれを用いたレベル調整のできるステージ装置 |
JPH0681692B2 (ja) | 1989-08-24 | 1994-10-19 | 積水化学工業株式会社 | 軽量板状体の製造方法およびその装置 |
JPH04341644A (ja) * | 1991-05-16 | 1992-11-27 | Omron Corp | 変位発生装置 |
US5247222A (en) * | 1991-11-04 | 1993-09-21 | Engle Craig D | Constrained shear mode modulator |
GB9205665D0 (en) * | 1992-03-16 | 1992-04-29 | Fisons Plc | Piezo-electric motor |
JP3081119B2 (ja) * | 1994-11-15 | 2000-08-28 | 松下電工株式会社 | 気泡発生浴槽 |
JP4073060B2 (ja) * | 1997-11-04 | 2008-04-09 | 株式会社ナノコントロール | 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置 |
US6873087B1 (en) * | 1999-10-29 | 2005-03-29 | Board Of Regents, The University Of Texas System | High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes |
US6313567B1 (en) * | 2000-04-10 | 2001-11-06 | Motorola, Inc. | Lithography chuck having piezoelectric elements, and method |
JP2002272149A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-20 | Taiheiyo Cement Corp | 送り装置および回転装置 |
JP4024027B2 (ja) | 2001-10-16 | 2007-12-19 | 俊郎 樋口 | 圧電アクチュエータ |
JP2003243282A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-29 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
JP4300003B2 (ja) * | 2002-08-07 | 2009-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台の駆動装置及びプローブ方法 |
CN1781196A (zh) * | 2003-04-04 | 2006-05-31 | 瓦伊金技术有限公司 | 一种智能材料致动器功的最佳化装置和方法 |
KR100891605B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2009-04-08 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 중량물 이동 방법 및 장치 |
US7301257B2 (en) * | 2005-10-14 | 2007-11-27 | Academia Sinica | Motion actuator |
JP4984673B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2012-07-25 | 日産自動車株式会社 | 駆動装置 |
-
2005
- 2005-05-20 KR KR20067023895A patent/KR100891605B1/ko active IP Right Grant
- 2005-05-20 JP JP2006513734A patent/JP4658040B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-20 US US11/596,757 patent/US7622847B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-20 RU RU2006140995A patent/RU2341863C2/ru active
- 2005-05-20 DE DE200560015579 patent/DE602005015579D1/de active Active
- 2005-05-20 DE DE200560026141 patent/DE602005026141D1/de active Active
- 2005-05-20 EP EP20070003909 patent/EP1793432B1/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-20 EP EP20050741265 patent/EP1753120B1/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-20 WO PCT/JP2005/009229 patent/WO2005114825A1/ja active Application Filing
-
2009
- 2009-09-09 US US12/556,384 patent/US7834519B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1793432B1 (de) | 2011-01-26 |
EP1753120A1 (de) | 2007-02-14 |
US20080088205A1 (en) | 2008-04-17 |
JP4658040B2 (ja) | 2011-03-23 |
US7834519B2 (en) | 2010-11-16 |
US20100060105A1 (en) | 2010-03-11 |
WO2005114825A1 (ja) | 2005-12-01 |
DE602005026141D1 (de) | 2011-03-10 |
EP1753120B1 (de) | 2009-07-22 |
EP1793432A3 (de) | 2008-07-09 |
KR100891605B1 (ko) | 2009-04-08 |
EP1793432A2 (de) | 2007-06-06 |
RU2006140995A (ru) | 2008-05-27 |
KR20070012483A (ko) | 2007-01-25 |
US7622847B2 (en) | 2009-11-24 |
RU2341863C2 (ru) | 2008-12-20 |
EP1753120A4 (de) | 2008-05-28 |
JPWO2005114825A1 (ja) | 2008-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE602005015579D1 (de) | Verfahren und einrichtung zum präzisen widerstehen und bewegen hoher lasten | |
DE602005019500D1 (de) | Lithographischer Apparat und Verfahren zum Kalibrieren desselben | |
DE602005019961D1 (de) | Steuervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE602006017954D1 (de) | Verbesserte stereolithographische Vorrichtung und Verfahren | |
DE602005017948D1 (de) | Einrichtung und verfahren zum arbitrieren zwischen direktspeicherzugriffs-task-anforderungen | |
DE602006010214D1 (de) | Vorrichtung und verfahren für präzisionsbearbeitung | |
DE602006000330D1 (de) | Verfahren und Einrichtung zum Anziehen von Bolzen sowie Verwendung derselben | |
DE602006021122D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum automatischen Setzen von Verriegelungen zwischen Robotern | |
DE602005000512D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum montieren von bauelementen | |
DE602004007484D1 (de) | Verfahren und Gerät zum Messen der UV-Strahlung | |
DE102007039939A8 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Einsparung von Diafiltrat | |
DE602006012823D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum neusynthetisieren von signalen | |
DE602005012917D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Umformen | |
DE602005012251D1 (de) | Reifen-gewichtsanlegevorrichtung und verfahren | |
DE602006021341D1 (de) | Rauchgasnassentschwefelungsvorrichtung und verfahren zur rauchgasnassentschwefelung | |
DE602006019769D1 (de) | Verfahren und gerät zum falten von artikeln | |
DE602006009890D1 (de) | Verfahren zum Hinzufügen eines Effekts und Vorrichtung zum Hinzufügen eines Effekts | |
DE502007001070D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum verbinden von bändern | |
DE602007012633D1 (de) | Lithographische Vorrichtung und Verfahren | |
DE602005004493D1 (de) | Präzisionsbearbeitungsapparat und Verfahren zur Präzisionsbearbeitung | |
DE502005004321D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum steuern eines injektors | |
AT504567A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zum bonden von wafern | |
ATE531600T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum ausser-betrieb- setzen defekter türen | |
DE502005010348D1 (de) | Verfahren und werkzeugeinrichtung zum umformen | |
ATE517706T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum stranggiessen doppel-t-vorprofilen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |