RU2341863C2 - Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении - Google Patents

Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении Download PDF

Info

Publication number
RU2341863C2
RU2341863C2 RU2006140995A RU2006140995A RU2341863C2 RU 2341863 C2 RU2341863 C2 RU 2341863C2 RU 2006140995 A RU2006140995 A RU 2006140995A RU 2006140995 A RU2006140995 A RU 2006140995A RU 2341863 C2 RU2341863 C2 RU 2341863C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric element
wedge
moving
shaped displacement
forms
Prior art date
Application number
RU2006140995A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2006140995A (ru
Inventor
Хидеки КАВАКАЦУ (JP)
Хидеки КАВАКАЦУ
Original Assignee
Джапан Сайенс Энд Текнолоджи Эйдженси
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Джапан Сайенс Энд Текнолоджи Эйдженси filed Critical Джапан Сайенс Энд Текнолоджи Эйдженси
Publication of RU2006140995A publication Critical patent/RU2006140995A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2341863C2 publication Critical patent/RU2341863C2/ru

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/025—Inertial sliding motors

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Изобретение относится к устройствам точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении. Способ и устройство, в котором объединены пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и клин, или пьезоэлектрический элемент, который также формирует деформацию сдвига. Пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, и подвижное тело могут точно перемещаться в перпендикулярном направлении. Предусмотрен способ и устройство, в котором посредством разбиения на слои пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига так, что их направления сдвига отличаются, и посредством объединения с клином подвижное тело может точно перемещаться в перпендикулярном направлении, даже когда значительная сила применяется к поверхности скольжения. Предусмотрены элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела и к которому прикреплен пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, источник импульсов для быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента и подвижное тело. Подвижное тело соприкасается с поверхностью стенки неподвижного тела в перпендикулярном направлении посредством перемещения элемента перемещения клиновидной формы и перемещается в перпендикулярном направлении, и посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела осуществляется позиционирование перемещения подвижного тела. Технический результат: улучшение способа и устройства. 18 н. и 8 з.п. ф-лы, 30 ил.

Description

Текст описания приведен в факсимильном виде.
Figure 00000001
Figure 00000002
Figure 00000003
Figure 00000004
Figure 00000005
Figure 00000006
Figure 00000007
Figure 00000008
Figure 00000009
Figure 00000010
Figure 00000011
Figure 00000012
Figure 00000013
Figure 00000014
Figure 00000015
Figure 00000016
Figure 00000017
Figure 00000018
Figure 00000019
Figure 00000020
Figure 00000021
Figure 00000022
Figure 00000023
Figure 00000024
Figure 00000025
Figure 00000026
Figure 00000027
Figure 00000028
Figure 00000029
Figure 00000030
Figure 00000031
Figure 00000032
Figure 00000033
Figure 00000034
Figure 00000035
Figure 00000036
Figure 00000037
Figure 00000038
Figure 00000039
Figure 00000040
Figure 00000041
Figure 00000042
Figure 00000043
Figure 00000044
Figure 00000045
Figure 00000046
Figure 00000047
Figure 00000048
Figure 00000049
Figure 00000050
Figure 00000051
Figure 00000052
Figure 00000053
Figure 00000054

Claims (26)

1. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:
(a) крепят пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и
(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.
2. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:
(а) крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и
(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения многослойного пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.
3. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:
(a) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, вдоль верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и
(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.
4. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:
(a) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, к верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы,
(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, и
(c) дополнительно, посредством быстрой деформации и перемещения второго пьезоэлектрического элемента осуществляют точное позиционирование подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа.
5. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:
(а) крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, размещенного на основании, и крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, к верхней наклонной поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и
(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, из многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, и многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к верхней наклонной поверхности, и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз к основанию, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, и посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, из многослойного пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к верхней наклонной поверхности, посредством чего также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.
6. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:
(а) крепят первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки на обеих сторонах, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и крепят второй и третий пьезоэлектрические элементы, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, к каждой верхней наклонной поверхности обоих сторон элемента перемещения клиновидной формы, и
(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы в поперечном направлении на основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении не изменялась, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и третьего пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины поверхности листа.
7. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит этапы, на которых:
(а) крепят пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и крепят многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, к каждой верхней наклонной поверхности по обеим сторонам элемента перемещения клиновидной формы, и
(b) перемещают элемент перемещения клиновидной формы на основании посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, прикрепленного к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, и пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига вдоль наклонной поверхности, и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа, посредством чего осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел, так чтобы общая потенциальная энергия подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, размещенного на верхней наклонной поверхности и формирующего деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины поверхности листа.
8. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, в котором устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, в котором первый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикреплен к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на первом основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму, имеющую две наклонные поверхности на верхней стороне в поперечном сечении, второй и третий пьезоэлектрические элементы, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, прикреплены к каждой верхней наклонной поверхности обоих сторон элемента перемещения клиновидной формы, элемент перемещения клиновидной формы перемещается в поперечном направлении на первом основании посредством быстрой деформации и перемещения первого пьезоэлектрического элемента и ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел, перемещаемых в вертикальном направлении к основанию и в направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и третьего пьезоэлектрических элементов точное позиционирование подвижных тел в направлении глубины поверхности листа, содержащее размещение устройства на втором основании посредством четвертого пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига и который прикреплен к нижней поверхности первого основания, и перемещение устройства точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении на втором основании в горизонтальном направлении посредством быстрой деформации и перемещения четвертого пьезоэлектрического элемента, посредством чего осуществляется позиционирование подвижных тел в направлении xyz.
9. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.8, в котором второй и третий пьезоэлектрические элементы являются многослойными пьезоэлектрическими элементами, в которых связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа.
10. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, и второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, и подвижное тело, которое размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и приведения в действие первого и третьего пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, вертикально перемещаемого в направлении вверх и вниз, в поперечном направлении и вертикальном направлении поверхности листа, и посредством быстрой деформации и приведения в действие второго и четвертого пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.
11. Способ точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом способ содержит первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, и второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, при этом подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и приведения в действие первого и третьего пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, перемещаемого в направлении вверх и вниз, в поперечном направлении и в вертикальном направлении поверхности листа, и посредством быстрой деформации и перемещения второго и четвертого пьезоэлектрических элементов также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.
12. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:
(a) элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела, и к нижней поверхности прикреплен пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига,
(b) источник импульсов для быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, и
(c) подвижное тело, вертикально перемещаемое в направлении вверх и вниз к поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела посредством перемещения элемента перемещения клиновидной формы, при этом
(d) посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы к/из подвижного тела осуществляется позиционирование перемещения подвижного тела.
13. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:
(а) элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела, и к нижней поверхности прикреплен многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию,
(b) источник импульсов для быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента, и
(c) подвижное тело, вертикально перемещаемое в направлении вверх и вниз к поверхности в горизонтальном направлении неподвижного тела посредством перемещения элемента перемещения клиновидной формы, при этом
(d) посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы к/из подвижного тела осуществляется позиционирование перемещения подвижного тела.
14. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.12, в котором дополнительно второй пьезоэлектрический элемент закреплен на верхней поверхности элемента перемещения клиновидной формы.
15. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.14, в котором второй пьезоэлектрический элемент является многослойным пьезоэлектрическим элементом.
16. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.14, в котором второй пьезоэлектрический элемент является пьезоэлектрическим элементом, который осуществляет сдвиг в направлении глубины поверхности листа.
17. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.15, в котором второй многослойный пьезоэлектрический элемент представляет собой слои из пьезоэлектрического элемента, который осуществляет сдвиг в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрического элемента, который осуществляет сдвиг в направлении глубины поверхности листа.
18. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.15, в котором второй многослойный пьезоэлектрический элемент представляет собой слои из пьезоэлектрического элемента, который осуществляет сдвиг в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрического элемента, который осуществляет растяжение и сжатие в направлении нормали наклонной поверхности.
19. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.12, в котором дополнительно третий пьезоэлектрический элемент прикреплен к поверхности подвижного тела, которое контактирует со стороной поверхности стенки неподвижного тела.
20. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении по п.13, в котором дополнительно третий многослойный пьезоэлектрический элемент прикреплен к поверхности подвижного тела, которое контактирует со стороной поверхности стенки неподвижного тела.
21. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:
(a) пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикрепленный к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки на обеих сторонах, и имеет треугольную форму в поперечном сечении, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, который прикреплен к каждой верхней наклонной поверхности обеих сторон элемента перемещения клиновидной формы, и
(b) средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрического элемента нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы элемент перемещения клиновидной формы перемещается на основании, и посредством ударения или извлечения элемента перемещения клиновидной формы в/из двух подвижных тел справа и слева, перемещаемых в вертикальном направлении и в направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в поперечном направлении и в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и дополнительно содержит средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, размещенных на внешней наклонной поверхности и формирующих деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины поверхности листа.
22. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:
(a) пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига, прикрепленный к нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы, который размещен на основании, имеющем поверхности стенки по обеим сторонам, и имеет треугольную форму в поперечном сечении, и многослойный пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, который крепится к каждой верхней наклонной поверхности по обеим сторонам элемента перемещения клиновидной формы, и
(b) средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, из пьезоэлектрического элемента нижней поверхности элемента перемещения клиновидной формы и многослойных пьезоэлектрических элементов, прикрепленных к верхним наклонным поверхностям, элемент перемещения клиновидной формы перемещается на основании, и посредством ударения или извлечения подвижного элемента клиновидной формы в/от двух подвижных тел справа и слева, перемещаемых в вертикальном направлении и в направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в поперечном направлении и в вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и дополнительно содержит средство, в котором из многослойных пьезоэлектрических элементов, размещенных на верхних наклонных поверхностях, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижных тел в направлении глубины поверхности листа.
23. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:
(a) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, и
(b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, при этом
(с) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения в поперечном направлении поверхности листа и вертикальном направлении подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины поверхности листа, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.
24. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:
(а) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа,
(в) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, сформированный из многослойного пьезоэлектрического элемента, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, при этом
(с) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела, которое перемещается в вертикальном направлении и направлении глубины поверхности листа, в поперечном направлении поверхности листа и вертикальном направлении, так чтобы общая потенциальная энергия двух подвижных тел в вертикальном направлении оставалась неизменной, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.
25. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:
(а) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый многослойный пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрического элемента, который формирует вертикальную деформацию, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа,
(b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий многослойный пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и пьезоэлектрического элемента, который формирует вертикальную деформацию, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, при этом
(c) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и посредством ударения или извлечения элементов перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в поперечном направлении поверхности листа и вертикальном направлении, и средство, в котором посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, которые формируют деформацию сдвига в направлении глубины поверхности листа, также осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела в направлении глубины поверхности листа.
26. Устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении, при этом устройство содержит:
(a) первый элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на левой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится первый пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится второй пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию,
(b) второй элемент перемещения клиновидной формы, размещенный на правой стороне на основании и имеющий горизонтальную нижнюю поверхность и наклонную поверхность, из которых внутренняя ниже на верхней поверхности, и к нижней поверхности крепится третий пьезоэлектрический элемент, сформированный из пьезоэлектрического элемента, который формирует деформацию сдвига, и к наклонной поверхности крепится четвертый пьезоэлектрический элемент, в котором связаны пьезоэлектрический элемент, который формирует деформацию сдвига в направлении наклонной поверхности, и пьезоэлектрический элемент, который формирует вертикальную деформацию, при этом
(с) устройство дополнительно содержит средство, в котором подвижное тело размещено таким образом, чтобы быть соединенным посредством первого элемента перемещения клиновидной формы и второго элемента перемещения клиновидной формы, посредством быстрой деформации и перемещения пьезоэлектрических элементов, первый и второй элементы перемещения клиновидной формы перемещаются на основании, и посредством ударения или извлечения элементов перемещения клиновидной формы в/из подвижного тела, перемещаемого в вертикальном направлении и направлении глубины поверхности листа, осуществляется точное позиционирование перемещения подвижного тела.
RU2006140995A 2004-05-20 2005-05-20 Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении RU2341863C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004-150134 2004-05-20
JP2004150134 2004-05-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006140995A RU2006140995A (ru) 2008-05-27
RU2341863C2 true RU2341863C2 (ru) 2008-12-20

Family

ID=35428648

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006140995A RU2341863C2 (ru) 2004-05-20 2005-05-20 Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7622847B2 (ru)
EP (2) EP1793432B1 (ru)
JP (1) JP4658040B2 (ru)
KR (1) KR100891605B1 (ru)
DE (2) DE602005015579D1 (ru)
RU (1) RU2341863C2 (ru)
WO (1) WO2005114825A1 (ru)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100891605B1 (ko) * 2004-05-20 2009-04-08 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 중량물 이동 방법 및 장치
JP2006125984A (ja) * 2004-10-28 2006-05-18 Japan Science & Technology Agency デイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置
JP2009136050A (ja) * 2007-11-29 2009-06-18 Nidec Copal Corp 駆動装置
DE102010025149B4 (de) * 2010-06-25 2013-12-19 Aspre Ag Elektronisch ansteuerbare Antriebsvorrichtung
JP5664089B2 (ja) * 2010-09-30 2015-02-04 株式会社ニコン 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
NL1038691C2 (en) * 2011-03-18 2012-09-19 Janssen Prec Engineering B V Cryogenic compatible slide actuator.
CN102570620B (zh) * 2011-12-26 2013-12-11 上海交通大学 步行能收集系统
KR102147514B1 (ko) * 2013-11-27 2020-08-25 씨이비티 주식회사 피에조를 이용한 마이크로 스테이지
CN103701362B (zh) * 2013-12-25 2015-12-02 武汉理工大学 组合式压电发电系统
CN105375686A (zh) * 2015-12-02 2016-03-02 武汉理工大学 一种采用变速齿轮加速的便携式压电电磁混合发电装置
CN112638549B (zh) * 2018-09-06 2022-07-12 Abb瑞士股份有限公司 用于非侵入测量的换能器
CN109186980A (zh) * 2018-09-17 2019-01-11 南京林业大学 一种连续可调试的单向偏心加载装置
CN111601434B (zh) * 2020-05-22 2022-06-17 深圳市大红点装饰有限公司 一种基于bim的建筑照明系统及控制方法
CN112872536B (zh) * 2021-01-19 2023-01-24 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 激光芯片的辅助焊接装置
CN112945747B (zh) * 2021-02-03 2022-04-01 武汉大学 一种适用于纳米压痕测试系统的三向压力加载装置
CN113466060B (zh) * 2021-07-02 2023-09-22 河南城建学院 一种基于多层剪切的流变松弛耦合测试系统及试验方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4928030A (en) * 1988-09-30 1990-05-22 Rockwell International Corporation Piezoelectric actuator
US5205147A (en) * 1989-05-12 1993-04-27 Fuji Electric Co., Ltd. Pre-loaded actuator using piezoelectric element
JP2773777B2 (ja) * 1989-07-25 1998-07-09 住友重機械工業株式会社 アクチュエータユニットおよびそれを用いたレベル調整のできるステージ装置
JPH0681692B2 (ja) 1989-08-24 1994-10-19 積水化学工業株式会社 軽量板状体の製造方法およびその装置
JPH04341644A (ja) * 1991-05-16 1992-11-27 Omron Corp 変位発生装置
US5247222A (en) * 1991-11-04 1993-09-21 Engle Craig D Constrained shear mode modulator
GB9205665D0 (en) * 1992-03-16 1992-04-29 Fisons Plc Piezo-electric motor
JP3081119B2 (ja) * 1994-11-15 2000-08-28 松下電工株式会社 気泡発生浴槽
JP4073060B2 (ja) * 1997-11-04 2008-04-09 株式会社ナノコントロール 圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置
US6873087B1 (en) * 1999-10-29 2005-03-29 Board Of Regents, The University Of Texas System High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes
US6313567B1 (en) * 2000-04-10 2001-11-06 Motorola, Inc. Lithography chuck having piezoelectric elements, and method
JP2002272149A (ja) * 2001-03-15 2002-09-20 Taiheiyo Cement Corp 送り装置および回転装置
JP4024027B2 (ja) 2001-10-16 2007-12-19 俊郎 樋口 圧電アクチュエータ
JP2003243282A (ja) * 2002-02-14 2003-08-29 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP4300003B2 (ja) * 2002-08-07 2009-07-22 東京エレクトロン株式会社 載置台の駆動装置及びプローブ方法
US7368856B2 (en) * 2003-04-04 2008-05-06 Parker-Hannifin Corporation Apparatus and process for optimizing work from a smart material actuator product
KR100891605B1 (ko) * 2004-05-20 2009-04-08 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 중량물 이동 방법 및 장치
US7301257B2 (en) * 2005-10-14 2007-11-27 Academia Sinica Motion actuator
JP4984673B2 (ja) * 2006-06-22 2012-07-25 日産自動車株式会社 駆動装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070012483A (ko) 2007-01-25
US20080088205A1 (en) 2008-04-17
KR100891605B1 (ko) 2009-04-08
EP1793432A2 (en) 2007-06-06
JPWO2005114825A1 (ja) 2008-03-27
EP1753120A1 (en) 2007-02-14
DE602005015579D1 (de) 2009-09-03
US20100060105A1 (en) 2010-03-11
US7622847B2 (en) 2009-11-24
EP1793432A3 (en) 2008-07-09
DE602005026141D1 (de) 2011-03-10
EP1753120B1 (en) 2009-07-22
JP4658040B2 (ja) 2011-03-23
US7834519B2 (en) 2010-11-16
EP1793432B1 (en) 2011-01-26
RU2006140995A (ru) 2008-05-27
EP1753120A4 (en) 2008-05-28
WO2005114825A1 (ja) 2005-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2341863C2 (ru) Способ и устройство точного перемещения при высоком нагрузочном сопротивлении
RU2017134701A (ru) Способ и устройство для закрепления соединителя
ES2438181T3 (es) Método para fabricar juntas entre miembros en forma de lámina con una capa adhesiva intermedia y aparato para llevar a cabo dicho método
EP2493065A3 (en) Piezoelectric actuator and piezoelectric actuator array
CN103706713A (zh) 冲孔模具及其冲孔切换机构
EP2584433A3 (en) Keyboard module and method for fabricating the same
TW200906748A (en) Glass sheet breaker
KR101658986B1 (ko) 파이프 성형장치
US20100127230A1 (en) Puller Device
JP3157879U (ja) 天井用目地カバー装置
JP2009090299A (ja) プレス金型のカム構造
JP4844132B2 (ja) エレベータのエプロン装置
CN203944701U (zh) 带自动卸料装置的液压冲孔工具
JP7080645B2 (ja) 柱部材及び柱脚構造
JP6812842B2 (ja) 搬送装置
KR101875604B1 (ko) 4방향 단조 프레스
JP2004237320A (ja) カムスライダの戻し機構
US20110299964A1 (en) Handling unit for relocating parts and method for this purpose
CN217512633U (zh) 一种金属盒卷边加工机构
CN208772304U (zh) 无铆钉压铆设备
CN107718380A (zh) 一种用于模具的二次顶出机构
JP4149902B2 (ja) シリンダブロックの把持装置
JP6543469B2 (ja) 連結機構
CN209760233U (zh) 基柱施工装置
WO2017109869A1 (ja) 電子天秤