NL1025905C2

NL1025905C2 - Werkwijze en inrichting voor het aan een vormholte toevoeren van omhulmateriaal.

Info

Publication number: NL1025905C2
Application number: NL1025905A
Authority: NL
Inventors: Johannes Lambertus Ge Venrooij; Willem Otto De Jong
Original assignee: Fico Bv
Priority date: 2004-04-08
Filing date: 2004-04-08
Publication date: 2005-10-11
Also published as: JP2007533132A; JP4819796B2; WO2005098932A3; KR20070004079A; KR101199096B1; WO2005098932A2; CN1957453A; CN100576479C

Description

*1

Werkwijze en inrichting voor het aan een vormholte toevoeren van omhulmateriaal

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het, ter omhulling 5 van elektronische componenten, aan een vormholte toevoeren van omhulmateriaal. De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting voor het, ter omhulling van elektronische componenten, aan een vormholte toevoeren van omhulmateriaal, alsook op een mal voor het omhullen van elektronische componenten welke kan worden toegepast in samenhang met zo een toevoerinrichting.

10

Het omhullen van elektronische componenten vindt gebruikelijk plaats met een thermo hardend materiaal dat ook wel wordt aangeduid als “epoxy” respectievelijk “hars” waarin gebruikelijk als vulmateriaal silicium is opgenomen. In het bijzonder bij het omhullen van halfgeleider schakeling wordt gebruik gemaakt van mallen waarin een 15 drager met halfgeleiders wordt ingeklemd en waarin tevens ruimten zijn opgenomen voor het plaatsen van pillen (“pellets”) omhulmateriaal. In een dergelijke mal zijn tevens voorzieningen aangebracht voor het verwarmen van het omhulmateriaal en voor het uitoefenen van druk op het omhulmateriaal. Door het verwarmen en/of onder druk plaatsen van het omhulmateriaal wordt dit geactiveerd zodanig dat het nadat het naar op 20 de elektronische componenten aansluitende vormholten is verplaatst na beperkte tijd uithardt. Na ten minste gedeeltelijke uitharding van het omhulmateriaal wordt de mal geopend en worden vervolgens de drager met omhulde componenten uitgenomen inclusief het overige uitgeharde omhulmateriaal (zoals de restanten van de pillen en het in toevoerkanalen uitgehard omhulmateriaal). De bestaande werkwijze leidt tot een 25 beheersbaar omhulproces met een relatief lange cyclustijd aangezien opvolgend het plaatsen van het omhulmateriaal en de producten in de mal, het sluiten van de mal, het activeren en verplaatsen van het omhulmateriaal, het ten minste gedeeltelijk uitharden van het omhulmateriaal, het openen van de mal, het uitnemen van de omhulde producten en het reinigen van de geleegde mal alle genoemde bewerkingsstappen 30 opvolgend deel uitmaken van het kritische pad van de werkwijze.

Doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een werkwijze, en de daarbij behorende middelen, ter verkorting van de cyclustijd bij het omhullen van elektronische componenten. Het is tevens een doel de doelmatigheid van het omhullen te vergroten.

1025905 · 2

De uitvinding verschaft daartoe een werkwijze voor het, ter omhulling van elektronische componenten, aan een vormholte toevoeren van omhulmateriaal omvattende de bewerkingsstappen: A) het in een toevoerinrichting ten minste 5 gedeeltelijk activeren van het toe te voeren omhulmateriaal, B) het met de toevoerinrichting koppelen van een vormholte met een te omhullen elektronische component, C) het vanuit de toevoerinrichting in de vormholte brengen van het ten minste gedeeltelijk geactiveerde omhulmateriaal, en D) het ontkoppelen van de toevoerinrichting en de ten minste gedeeltelijk met omhulmateriaal gevulde vormholte. 10 Aldus wordt het mogelijk om het toevoeren en activeren van het omhulmateriaal ten minste gedeeltelijk te scheiden van het in een vormholte plaatsen van te omhullen elektronische componenten en als (ten minste deels) als parallelle bewerkingen uit te voeren. Aldus wordt het mogelijk om de cyclustijd van een omhulbewerking te verkorten. Zo kan bijvoorbeeld gelijktijdig een mal worden beladen, een met de 15 toevoerinrichting gekoppelde mal worden gevuld met omhulmateriaal, een mal met toevoermateriaal uitharden en een mal worden ontladen. De cyclustijd wordt dan bepaald door de langstdurende bewerking van de genoemde separate bewerkingen, hetgeen evident korter is dan de seriële uitvoering van al deze bewerkingen. Nog een voordeel is dat een enkele toevoerinrichting kan samenwerken met meerdere 20 eenvoudiger uitgevoerde (en daardoor goedkopere) mallen. De kosten aan apparatuur benodigd voor het omhullen van elektronische componenten kunnen zo door toepassing van de werkwijze overeenkomstig de uitvinding aanzienlijk worden gereduceerd. Weer een ander voordeel van de werkwijze volgens de uitvinding is dat er doelmatiger gebruik kan worden gemaakt van het omhulmateriaal; er kan worden omhuld met 25 minder afval. Hierbij dient te worden gedacht aan de restanten van de pillen omhulmateriaal die na de conventionele wijzen van omhullen worden resteren als afval. Om te zorgen dat er bij een omhulbewerking volgens de stand der techniek voldoende omhulmateriaal ter beschikking staat is een pil omhulmateriaal, in beperkte mate . óvergedimensioneerd. Een dergelijke overdimensionering van de aanwezige 30 hoeveelheid omhulmateriaal is niet meer nodig bij toepassing van de onderhavige werkwijze; er zal exact die hoeveelheid in een vormholte worden gebracht die benodigd is. Nog een voordeel dat vermeld dient te worden is dat door het fysiek scheiden van de toevoer van omhulmateriaal en het in een mal uitharden van het omhulmateriaal is dat de afzonderlijke processen geoptimaliseerd kunnen worden terwijl bij het in een enkele 1025905 ' I. ·.

3 module uitvoeren van het toevoeren en uitharden er een compromis gesloten dient te worden ten aanzien van de procescondities.

Bij voorkeur wordt het omhulmateriaal tijdens bewerkingsstap A) ten minste 5 gedeeltelijk geactiveerd door middel van verwarmen, eventueel in combinatie met, of als alternatief door, het uitoefenen van druk op het omhulmateriaal. Voordeel hiervan is dat gebruik kan worden gemaakt van het bestaande (en daardoor geaccepteerde en vrij verkrijgbare) omhulmateriaal. Echter ook alternatieve wijzen van activering van omhulmateriaal zijn denkbaar, zoals bijvoorbeeld het ultrasoon of met ultraviolet 10 activeren van omhulmateriaal.

Wanneer de toevoerinrichting opvolgend samenwerkt met wisselende vormholten heeft dit als voordeel dat de relatief kostbare middelen voor het toevoeren van omhulmateriaal beter kunnen worden benut en dat de mallen compacter kunnen worden 15 uitgevoerd.

Een verdere verbetering van de werkwijze kan worden gerealiseerd door de van de toevoerinrichting vrijkomende gassen separaat van het omhulmateriaal af te voeren. Zo kan het door het ontgassen van het omhulmateriaal vrijkomende fluïdum worden 20 afgevoerd voordat het in de mal komt. Dit leidt tot een verbeterde procesbeheersing daar de aanwezigheid van gassen in een mal, met name de ongecontroleerde aanwezigheid van gassen, nadelige gevolgen kan hebben voor de kwaliteit van de aan te brengen omhullingen. De werkwijze overeenkomstig de uitvinding verschaft nu de mogelijkheid (een deel van) de zich bij het ten minste gedeeltelijk activeren van het 25 omhulmateriaal ontwikkelende gassen te verwijderen voordat deze de mal betreden. Deze mogelijkheid ontbreekt bij het omhullen volgens de stand der techniek omdat het omhulmateriaal daarbij volledig in de mal wordt geactiveerd.

In weer een andere voorkeurstoepassing van de werkwijze overeenkomstig de 30 uitvinding vindt bij het overeenkomstig bewerkingsstap B) koppelen van de toevoerinrichting aan de vormholte een ontsluiting plaats van de toevoerinrichting. Zo kan worden voorkomen dat er ongewenst omhulmateriaal vrijkomt uit de toevoerinrichting wanneer deze niet gekoppeld is met een vormholte (mal). Nog een belangrijk voordeel is dat zo veroudering van omhulmateriaal in de toevoerinrichting 1025905 % 4 kan worden beperkt of in extreme situaties kan worden stopgezet. Hiertoe is het wenselijk dat bij het overeenkomstig bewerkingsstap D) ontkoppelen van de toevoerinrichting en de vormholte een afsluiting plaatsvindt van de toevoerinrichting 5 De uitvinding verschaft tevens een inrichting voor het, ter omhulling van elektronische componenten, aan een vormholte toevoeren van omhulmateriaal omvattende: een houder voor het bevatten van ongeactiveerd omhulmateriaal, op de houder aansluitende activeringsmiddelen voor het ten minste gedeeltelijk activeren van het omhulmateriaal, transportmiddelen voor het vanuit de houder langs de activeringsmiddelen verplaatsen 10 van het omhulmateriaal, en een op de activeringsmiddelen aansluitende afvoer voor het ten minste gedeeltelijk (of volledig) geactiveerde omhulmateriaal.

In een voorkeursvariant van de inrichting worden de activeringsmiddelen gevormd door . verwarmingsmiddelen, bijvoorbeeld een contactverwarming en/of een andere 15 stralingsbron. Als alternatief kan de warmte ook worden overgedragen als infraroodstraling, kan de warmte worden opgewekt met een verwarmingselement dat microgolven opwekt of kan er gebruik gemaakt worden van een hoogfrequente verwarmingsbron (“HF heating”). In geval van het toepassen van straling ter verwarming van het omhulmateriaal is het voordelig in het omhulmateriaal van de 20 stralingsbron wordt gescheiden door een scheidingswand van een ten minste gedeeltelijk voor de straling permeabel materiaal om zo verontreiniging van de stralingsbron tegen te gaan. Met ten minste gedeeltelijke activering wordt daarbij gedoeld op het doen aanvangen (respectievelijk versnellen) van het uithardingstraject van het omhulmateriaal, dit ten minste gedeeltelijke activeren kan maar hoeft niet 25 noodzakelijk te worden geïnitieerd door de toevoer van warmte. Öok andere wijzen van activering zijn denkbaar'zoals bijvoorbeeld het toevoeren van een additionele (bijvoorbeeld katalyserende) stof, het aanbrengen van druk en zo voorts. Voor het verplaatsen van het omhulmateriaal kunnen de transportmiddelen ten minste één plunjer omvatten voor het uit de houder langs de activeringsmiddelen naar de afvoer dringen 30 van het omhulmateriaal. Het omhulmateriaal kan volledig worden geactiveerd in de toevoerinrichting, maar het is ook denkbaar dat de toevoerinrichting het omhulmateriaal slechts gedeeltelijk activeert en dat er het omhulmateriaal opvolgend bijvoorbeeld in de vormholte volledig wordt geactiveerd.

1025905 t \ .

5

In weer een andere voorkeursvariant is de afvoer voorzien van een koppeling ingericht voor samenwerking met een de vormholte rond een elektronische component bepalende mal. Een dergelijke koppeling maakt het mogelijk snel en mediumdicht een koppeling te realiseren tussen de onderdelen. De afvoer is wenselijk voorzien van een afsluiter. Dit 5 kan bijvoorbeeld worden uitgevoerd in de vorm van bijvoorbeeld slechts een door het koppelen van de afvoer met een mal openbare, of automatisch openende, afsluiter. De afsluiter kan bijvoorbeeld zijn uitgevoerd als een in stoomrichting in een uit een mondstuk te verplaatsen sluitpen. Naast het nodeloze verlies van omhulmateriaal dat zo kan worden tegengaan wordt tevens voorkomen dat verouderend (uithardend) 10 omhulmateriaal buiten de inrichting een goed functioneren van de inrichting overeenkomstig de uitvinding verhindert of belemmerd. Daartoe kan de inrichting eveneens worden voorzien van reinigingsmiddelen waarmee ten minste gedeeltelijk geactiveerd omhulmateriaal uit de toevoeriniichting kan worden verwijderd nadat het in ten minste gedeeltelijk geactiveerde toestand een minimale periode in de 15 omhulinrichting aanwezig is. Bij het niet voldoende snel uit de toevoeriniichting verwijderen van het ten minste gedeeltelijk geactiveerde omhulmateriaal kan dit gaan uitharden in de omhulinrichting en zo het functioneren ervan belemmeren. Middels de reinigingsmiddelen kan dit worden verkomen.

20 De uitvinding verschaft tevens een mal voor het omhullen van elektronische componenten, omvattende ten minste twee ten opzichte van elkaar verplaatsbare maldelen ingericht voor het zodanig opnemen van een drag;er voorzien van ten minste één elektronische component dat de elektronische component is opgenomen in een vormholte, waarbij de mal tevens is voorzien van een op de vormholte aansluitende 25 contra-koppeling ingericht voor samenwerking met een toevoeriniichting voor omhulmateriaal. Een dergelijke mal kent een ten opzichte van de bestaande mallen eenvoudige constructie, is daardoor relatief goedkoop en is zo uit te voeren dat deze eenvoudig is te reinigen. Voor de verdere voordelen van de mal overeenkomstig de onderhavige uitvinding wordt verwezen naar de bovengenoemde voordelen naar 30 aanleiding van de werkwijze en de inrichting overeenkomstig de onderhavige uitvinding. Zo een mal kan zijn voorzien van sluitmiddelen voor het afsluiten van de contra-koppélmiddelen. Door afsluiting van de contra-koppelmiddelen kan worden voorkomen dat nog niet uitgehard omhulmateriaal ongewenst uit de mal treedt en/of dat verontreinigingen ongewenst in de mal komen.

1025905 6

De uitvinding verschaft daarenboven een omhulinrichting voor het omhullen van elektronische componenten, omvattende een samenstel van een toevoerinrichting zoals bovengaand beschreven en ten minste één met de toevoerinrichting samenwerkende mal 5 zoals eveneens bovengaand beschreven. Zo een de omhulinrichting is bij voorkeur voorzien van meerdere mallen die met een transportsysteem (bijvoorbeeld eindloos) ten opzichte van de toevoerinrichting worden verplaatst. De hoeveelheid mallen kan nu zo worden afgestemd op de enkele toevoerinrichting (of de naar keuze meerdere toevoerinrichtingen) dat optimaal gebruik wordt gemaakt van de capaciteit van zowel de 10 toevoerinrichting(en) als de mallen. Daarenboven wordt zo een inrichting minder gevoelig voor storingen en onderhoud. Het is zelf mogelijk ook hierop te anticiperen zodat het uitvallen van een toevoerinrichting en/of één of meerdere mallen niet leidt tot een (te) grote terugval in omhulcapaciteit.

15 Zo een inrichting kan ook nog zijn voorzien van een ontlaadinrichting voor het uit een mal verwijden van een met omhulmateriaal omgeven elektronische component, van stationair opgestelde sluitmiddelen voor het sluiten van de ten opzichte van de sluitmiddelen verplaatsbare maldelen, en/of van stationair opgestelde openmiddelen voor het openen van de ten opzichte van de sluitmiddelen verplaatsbare maldelen. Aldus 20 kan het omhulproces in meerdere of mindere mate worden geautomatiseerd.

De onderhavige uitvinding zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de in navolgende figuren weergegeven niet-limitatieve uitvoeringsvoorbeelden. Hierin toont: figuur 1 een schematisch aanzicht op een omhulinrichting overeenkomstig de 25 uitvinding, met een toevoerinrichting en twee met de toevoerinrichting samenwerkende mallen, figuur 2A een doorsnede door een alternatieve uitvoeringsvariant van een toevoerinrichting volgens de uitvinding tijdens het toevoeren van omhulmateriaal, figuur 2B een doorsnede door de toevoerinrichting getoond in figuur 2A in een 30 afgesloten toestand, figuur 2C een doorsnede door de toevoerinrichting getoond in figuren 2A en 2B in een toestand waarin de toevoerinrichting wordt gereinigd, figuur 3 een dwarsdoorsnede door een mal overeenkomstig de uitvinding en een van een toevoerinrichting deel uitmakende aansluiting, 1025905 7 figuur 4A een dwarsdoorsnede door een aansluiting van een toevoerinrichting in een toestand waarin deze aansluit op een mal, en figuur 4B een dwarsdoorsnede door de aansluiting en de mal getoond in figuur 4A in een ontkoppelde toestand.

5

Figuur 1 toont een toevoerinrichting 1 voorzien van een voorraadhouder 2 waarin omhulmateriaal 3 wordt gehouden. De voorraadhouder 2 sluit aan op een transportbuis 4 waarin een spindel 5 roteerbaar is overeenkomstig de pijl PI. De spindel 5 sluit daartoe aan op een elektromotor 6. Het omhulmateriaal 3 zal door de rotatie van de 10 spindel 5 worden verplaatst in een richting overeenkomstig pijl P2. Het omhulmateriaal 3 wordt zo naar een op de transportbuis 4 aansluitende verwarmingsruimte 7 gedrongen tér zijden waarvan, schematisch weergegeven, verwarmingselementen 8 staan opgesteld. De verwarmingselementen 8 dragen warmte over aan het omhulmateriaal 3 dat zich in de verwarmingsruimte 7 bevindt waardoor het wordt geactiveerd en 15 waardoor het slechts een beperkte tijd kan verblijven in de verwarmingsruimte 8. Door het openen van een op de verwarmingsruimte 8 aansluitende kraan 9 kan geactiveerd omhulmateriaal 3 aan de verwarmingsruimte 8 worden onttrokken.

Figuur 1 toont tevens mallen 10,10’ waardoor een drager 11 met een chip 12 wordt 20 opgesloten zodanig dat rond de chip 12 een vormholte 13 is vrijgelaten. De mallen zijn daartoe voorzien van twee op elkaar aansluitende maldelen 14,14’, 15,15’. Tevens zijn de mallen 10,10’ voorzien van een toevoerkanaal 16,16’ voor geactiveerd omhulmateriaal 3. Door aansluiting van een contra-koppeling 17,17’, die deel uitmaakt van de mallen 10,10’ op de toevoerinrichting 1 kan omhulmateriaal aan de mallen 10, 25 10’ worden toegevoerd. In de figuur is een eerste mal 10’ reeds gevuld met omhulmateriaal 3 en is een tweede mal 10 nog niet gevuld met omhulmateriaal 3. de mallen 10,10’ zijn verplaatsbaar overeenkomstig een pijl P3 langs een schematisch weergeven geleiding 18.

30 Figuur 2A toont een alternatieve uitvoeringsvariant van een toevoerinrichting 20 met een voorraadhouder 21 voor omhulmateriaal dat door middel van een plunjer 22 door een transportbuis 23 kan worden gedrongen. Een deel van de transportbuis 23 wordt gevormd door een gasdoorlaatbaar materiaal 24zodanig dat zich in het omhulmateriaal 25 bevindend gas kan ontwijken overeenkomstig de pijlen P5. In een aansluitende 1025905 I · 8 ruimte 26 kan het omhulmateriaal 25 worden geactiveerd bijvoorbeeld door middel van een, niet nader weergegeven, microgolf verwarming. Een tweede plunjer 27 laat een afvoerkanaal 28 voor geactiveerd omhulmateriaal 25 vrij zodanig dat dit uit de toevoerinrichting 20 kan stromen.

5

In figuur 2B is de toevoerinrichting 20 weergegeven in een toestand waarin het afvoerkanaal 28 voor het omhulmateriaal 25 wordt afgesloten door de tweede plunjer 27. Tevens is de eerste plunjer 22 naar achter bewogen ten opzichte van de positie zoals de plunjer 22 inneemt in figuur 2A. De plunjer 22 zal een intermitterend 10 bewegingspatroon kennen tijdens de voorwaartse beweging waarvan het omhulmateriaal 25 door de toevoerinrichting 20 wordt verplaatst. Daarbij kan het omhulmateriaal 25 opvolgende zones doorlopen waarin verschillende procescondities aanwezig zijn.

15 Figuur 2C toont de toevoerinrichting 20 in weer een andere toestand namelijk een toestand waarin het afvoerkanaal 28 is geopend door het ten opzichte van de vóorraadhouder 21 en de transportbuis 23 verplaatsen van een behuizing 29 van de tweede plunjer 27, welke behuizing 29 gelijktijdig een deel van het afvoerkanaal 28 vormt. In het nu geopende afvoerkanaal wordt een reinigingsinrichting 30 (bijvoorbeeld 20 een borstel en/of een schraper) heen en weer bewogen zoals aangeduid door middel van de pijlen P6. Aldus kan onverhoopt in het afvoerkanaal 28 uitgehard omhulmateriaal 25 worden verwijderd.

Figuur 3 toont een schematisch weergegeven mal 40 met een bovenste maldeel 41 en 25 een onderste maldeel 42 waartussen een drager 43 is ingesloten zodanig dat tweezijdig van een toevoeropening 44 voor omhulmateriaal vormholten 45 worden bepaald. De toevoeropening 44 is zodanig uitgevoerd dat deze een runner 46 vormt waarop door middel van gates 47 (openingen, eventueel, langgerekte openingen of “filmgates”) de vormholten 45 aansluiten.

30

Tevens toont deze figuur 3 een toevoer 48 vöor omhulmateriaal 49. In de toevoer 48 is een centrale pen 50 geplaatst waarmee een uitstroomopening 51 van de toevoer 48 is afgesloten.

1025905

I I

9

In figuur 4A wordt de toevoer 48 getoond met een deel van de mal 40 waarbij de uitstroomopening 51 van de toevoer 48 aansluit op de runner 46 van de toevoeropening 44 in de mal 40. De runner 46 en de toevoer 48 staan hier in een open verbinding met elkaar doordat de centrale pen 50 zodanig is verplaatst dat deze de uitstroomopening 51 5 in de toevoer 48 vrijlaat. Aldus stroomt het omhulmateriaal 49 vanuit de toevoer 48 in de runner 46 en vervolgens in de vormholten 45. Ter verhoging van de temperatuur zodanig dat het uitharden van het omhulmateriaal 49 wordt versneld is het uiteinde van de toevoer 48 voorzien van twee extra verwarmingselementen 52 waarmee overeenkomstig de pijlen P7 is weergegeven warmte (bijvoorbeeld in de vorm van 10 infrarood straling of andere verwarmingsmiddelen) kan worden afgeven. Het uitharden kan als alternatief ook worden versneld door een andere invloed dan een verhoogde temperatuur, zoals bijvoorbeeld verhoogde druk en/of een specifieke belichting.

In figuur 46 ten slotte is de toevoer 48 getoond nadat deze is ontkoppeld van de mal 40. 15 De uitstroomopening 51 van de toevoer 48 is nu weer afgesloten door de centrale pen 50. Het afgegeven omhulmateriaal 49 is voor een deel uitgehard in de runner 46 en voor het overige deel is dit omhulmateriaal 49 uitgehard in de vormholten 45. Het in de runner 46 uitgeharde omhulmateriaal 49 vormt aldus een afsluiting van de vormholten 45 en kan worden beïnvloed door het ter hoogte van de runner 46 beïnvloeden van 20 bijvoorbeeld de temperatuur, de belichting, de druk, en/of een hoogfrequente straling om zo het omhulmateriaal 49 plaatselijk versneld te activeren (uit te laten harden).

1025905

Claims

1. Werkwijze voor het, ter omhulling van elektronische componenten, aan een vormholte toevoeren van omhulmateriaal omvattende de bewerkingsstappen:

2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk dat het omhulmateriaal 15 tijdens bewerkingsstap A) ten minste gedeeltelijk wordt geactiveerd door middel van verwarmen.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk dat de toevoerinrichting opvolgend samenwerkt met wisselende vormholten. 20

4. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de . toevoerinrichting vrijkomende gassen separaat van het omhulmateriaal afvoert.

5. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat bij het 25 overeenkomstig bewerkingsstap B) koppelen van de toevoerinrichting aan de vormholte een ontsluiting plaatsvindt van de toevoerinrichting.

5 A) het in een toevoerinrichting ten minst gedeeltelijk activeren van het toe te voeren omhulmateriaal, B) het met de toevoerinrichting koppelen van een vormholte met een te omhullen elektronische component, C) het vanuit de toevoerinrichting in de vormholte brengen van het ten minste 10 gedeeltelijk geactiveerde omhulmateriaal, en D) het ontkoppelen van de toevoerinrichting en de ten minste gedeeltelijk met omhulmateriaal gevulde vormholte.

6. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat bij het overeenkomstig bewerkingsstap D) ontkoppelen van de toevoerinrichting en de 30 vormholte een afsluiting plaatsvindt van de toevoerinrichting

7. Inrichting voor het, ter omhulling van elektronische componenten, aan een vormholte toevoeren van omhulmateriaal omvattende: • een houder voor het bevatten van ongeactiveerd omhulmateriaal, 1025905 Λ * - op de houder aansluitende activeringsmiddelen voor het ten minste gedeeltelijke activeren van het omhulmateriaal, - transportmiddelen voor het vanuit de houder langs de activeringsmiddelen verplaatsen van het omhulmateriaal, en S - een op de activeringsmiddelen aansluitende afvoer voor het ten minste gedeeltelijk geactiveerde omhulmateriaal.

8. Toevoerinrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk dat de activeringsmiddelen worden gevormd door verwarmingsmiddelen. 10

9. Toevoerinrichting volgens conclusie 8, met het kenmerk dat de verwarmingsmiddelen worden gevormd door een contactverwarming.

10. Toevoerinrichting volgens conclusie 8 of 9, met het kenmerk dat de 15 verwarmingsmiddelen worden gevormd door een stralingsbron.

11. Toevoerinrichting volgens een der conclusies 7-10, met het kenmerk dat de transportmiddelen ten minste één plunjer omvatten voor het uit de houder langs de activeringsmiddelen naar de afvoer dringen van het omhulmateriaal. 20 |

12. Toevoerinrichting volgens een der conclusies 7-11, met het kenmerk dat de ' . i afvoer is voorzien van een koppeling ingericht voor samenwerking met een de j vormholte rond een elektronische component bepalende mal.

13. Toevoerinrichting volgens een der conclusies 7 - 12, met het kenmerk dat de afvoer is voorzien van een afsluiter.

14. Toevoerinrichting volgens een der conclusies 7 -13, met het kenmerk dat de inrichting tevens is voorzien van reinigingsmiddelen. 30

15. Mal voor het omhullen van elektronische componenten, omvattende ten minste twee ten opzichte van elkaar verplaatsbare maldelen ingericht voor het zodanig opnemen van een drager voorzien van ten minste één elektronische component dat de elektronische component is opgenomen in eèn vormholte, waarbij de mal tevens is 1025905 L· voorzien van een op de vormholte aansluitende contra-koppeling ingericht voor samenwerking met een toevoerinrichting voor omhulmateriaal.

16. Mal volgens conclusie 15, met het kenmerk dat de mal is voorzien van 5 sluitmiddelen voor het afsluiten van de contra-koppelmiddelen.

17. Omhulinrichting voor het omhullen van elektronische componenten, omvattende een toevoerinrichting volgens een der conclusies 7 -14 en ten minste één met de toevoerinrichting samenwerkende mal volgens één der conclusies 15 of 16. 10

18. Omhulinrichting volgens conclusie 17, met het kenmerk dat de omhulinrichting is voorzien van meerdere mallen volgens conclusie 15 of 16.

19. Omhulinrichting volgens conclusie 18, met het kenmerk dat de 15 omhulinrichting tevens is voorzien van ene transportsysteem voor het ten opzichte van de toevoerinrichting verplaatsen van de mallen.

20. Omhulinrichting volgens conclusie 19, met het kenmerk dat het transportsysteem eindloos is. 20

21. Omhulinrichting volgens een der conclusies 17 - 20, met het kenmerk dat de inrichting tevens is voorzien van een ontlaadinrichting voor het uit een mal verwijden van een met omhulmateriaal omgeven elektronische component.

22. Omhulinrichting volgens een der conclusies 19-21, met het kenmerk dat de inrichting tevens is voorzien van stationair opgestelde sluitmiddelen voor het sluiten van de ten opzichte van de sluitmiddelen verplaatsbare maldelen.

23. Omhulinrichting volgens een der conclusies 19 - 22, met het kenmerk dat de 30 inrichting tevens is voorzien van stationair opgestelde openmiddelen voor het openen van.de ten opzichte van de sluitmiddelen verplaatsbare maldelen. 1025905