KR980003738A - 액정표시장치의 스토리지 캐패시터와 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 스토리지 캐패시터의 축적용량을 크게 하는 데 적당한 액정표시장치의 스토리지 캐패시터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 스토리지 캐패시터 제1전극의 양단에 양극산화막을 형성하지 않음으로써 스토리지 캐패시터의 유전체 영역의 두께를 줄여서 축적용량을 크게 하려 하는 것이다. 이를 실현하기 위하여 본 발명의 액정표시장치의 스토리지 캐패시터는 기판상에 형성되는 스토리지 캐패시터 제1전극 상과 상기 기판 상에 형성되는 절연막과, 상기 절연막 상에 형성된 스토리지 캐패시터 제2전극을 구비하여 이루어진다.

Description

액정표시장치의 스토리지 캐패시터와 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 의한 스토리지 캐패시터의 일실시예의 제조공정도.
제4도는 본발명의 스토리지 캐패시터의 다른 일실시예의 제조공정도.

Claims (6)

  1. 액정표시장치의 스토리지 캐패시터에 있어서, 기판상에 형성되는 스토리지 캐패시터 제1전극과, 상기 스토리지 캘패시터 제1전극의 측면에 형성된 양극산화막과, 상기 양극산화막 상과 상기 스토리지 캐패시터 제1전극 상과 상기 기판 상에 형성되는 절연막과, 상기 절연막 상에 형성된 스토리지 캐패시터 제2전극을 구비하여 이루어지는 액정표시장치의 스토리지 캐패시터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2전극은 화소 전극인 것이 특징인 액정표시장치의 스토리지 캐패시터.
  3. 제1항에 있어서, 상기 화소전극 상에는 보호막이 형성되는 것이 특징인 액정표시장치의 스토리지 캐패시터.
  4. 제1항에 있어서, 상기 절연막과 상기 화소전극 사이에는 보호막이 형성되는것이 특징인 액정표시장치의 스토리지 캐패시터.
  5. 액정표시장치의 스토리지 캐패시터 제조방법에 있어서, (1) 기판상에 제1도전층을 중착한 후, 사전식각하여 스코리지 캐패시터 제1전극을 형성하는 단셰와, (2) 상기 스토리지 캐패시터 제1전극의 측면에 양극산화막을 형성하는 단계와, (3) 상기 양극산화막 상과 상기 스토리지 캐패시터 제1전극의 상과, 상기 기판 상에 절연막을 형성하는 단계와,(4) 상기 절연막 상에 제2도전층을 중착한 후, 사진식각하여 스토리지 캐패시터 제2전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 액정표시장치의 스토리지 캐패시터 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 양극산화막은 상기 제1전극의 상단에 임의의 패턴형상으로 감광막을 형성하고, 상기 감광막을 마스크로 하여 상기 제1전극에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 스토리지 캐패시터 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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