KR970072493A - 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이 기판에 관한 것으로, 박막트랜지스터 어레이 개구율을 향상시켜 높은 화면 휘도(brightness)와 저소비전력의 액정표시장치의 제공에 적합하도록, 기판과, 기판상에 형성된 적어도 하나이상의 게이트 버스라인과, 게이트 버스라인에 교차하도록 형성된 데이터 버스라인과, 게이트 버스라인에 게이트 전극이 연결되고, 데이터 버스라인에 일체널 전극이 연결된 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터 및 게이트 버스라인과 데이터 버스라인이 서로 교차하여 정의되는 사이영역에 형성된 컬러필터와, 컬러필터 상부에 형성되되, 컬러필터에 형성된 콘택홀을 통하여 박막트랜지스터의 타 채널전극에 연결되는 화소전극을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판이다.

Description

박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 박막트랜지스터 어레이 기판의 구조를 설명하기 위하여 예시한 도면, 제3도 및 제4도는 본 발명에 따른 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법의 일실시예를 도시한 도면.

Claims (15)

  1. 기판과, 상기 기판상에 형성된 적어도 하나이상의 게이트 버스라인과, 상기 게이트 버스라인에 교차하도록 형성된 데이터 버스라인과, 상기 게이트 버스라인에 게이트 전극이 연결되고, 상기 데이터 버스라인에 일체널 전극이 연결된 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터 및 상기 게이트 버스라인과 상기 데이터 버스라인이 서로 교차하여 정의되는 사이영역에 형성된 컬러필터와, 상기 컬러필터 상부에 형성되되, 상기 컬러필터에 형성된 콘택홀을 통하여 상기 박막트랜지스트의 타 채널전극에 연결되는 화소전극을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 컬러필터가 두 개의 이웃하는 상기 데이터 버스라인 사이에서 데이터 버스라인과 일부 중첩하여 형성된 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 컬러필터 하부에 상기 컬러필터와 동일 패턴의 보호막을 가지는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  4. 박막트랜지터 어레이 기판을 제조방법에 있어서, 1) 기판상에 도전물질로 게이트 전극 및 게이트 버스라인을 형성하는 단계와, 2) 상기게이트 전극 및 게이트 버스라인과 상기 기판 위에 절연물질과 비정질실리콘을 연속으로 적층하고, 상기 비정질실리콘을 패터닝하여 제1절연층과 활성층을 형성하는 단계와, 3)상기 활성층 및 상기 제1절연층의 노출된 표면에 금속물질을 적층한 후, 패터닝하여, 상기 활성층의 일부와 각각 접촉 연결되는 소오스 전극 및 드레인 전극과, 상기 소오스 전극에 연결되어 상기 게이트 버스라인과 교차하는 데이터 버스라인을 형성하는 단계와, 4) 노출된 전표면 위에 비도전성의 염료 또는 안료를 이용하여 컬러필터를 형성하는 단계와, 5) 상기 컬러필터상에 상기 드레인 전극의 일부를 노출시키는 드레인전극콘택홀을 형성하는 단계와, 6) 상기 드레인전극콘택홀 내부 및 상기 컬러필터 상부에 투명도전물질을 적층한 후, 패턴식각하여 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 3)단계에서, 상기 게이트 절연막이 개재되어 상기 게이트 버스라인의 일부영역과 중첩되는 스토리지 용량 전극을 동시에 형성하고, 상기 5)단계에서, 상기 컬러필터상에 상기 스토리지 용량 전극을 노출시키는 스토리지 용량 전극 콘택홀을 동시에 형성하며, 상기 6)단계에서, 상기 투명도전물질을 적층할 때, 상기 스토리지용량전극콘택홀을 통하여 상기 화소전극이 상기 스토리지용량전극에 연결되도록 하여 스토리지 용량을 부가 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터어레이 기판 제조방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 3)단계 후, 상기 소오스 전극과 상기 드레인 전극 및 상기 데이터 버스라인 상부의 노출된 전면에 투명절연물질을 적층하여 보호막을 형성하고, 4)단계에서, 상기 컬러필터와 동일하게 패터닝하고, 상기 5)단계에서 상기 컬러필터와 동일한 상기 드레인전극콘택홀을 형성시키는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 4)단계에서, 상기 소오스 전극에 연결된 상기 데이터 버스라인에 일부 중첩되도록 하고, 이웃하는 데이터 버스라인과도 일부 중첩되도록 형성하며, 상기 게이트 버스라인과 완전히 중첩되도록 상기 컬러필터를 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 4)단계에서, 상기 소오스 전극에 연결된 상기 데이터 버스라인에 일부 중첩되도록 하고, 이웃하는 데이터 버스라인과도 일부 중첩되도록 형성하며, 상기 게이트 버스라인 및 이웃하는 게이트 버스라인과 일부 중첩되도록 상기 컬러필터를 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  9. 제4항에 있어서, 상기 6)단계에서, 상기 컬러필터의 일부가 노출되도록 상기 화소전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  10. 박막트랜지스터 어레이 기판을 제조방법에 있어서, 1) 기판상에 도전물질로 게이트 전극 및 게이트 버스라인을 형성하는 단계와, 2)상기 게이트 전극 및 게이트 버스라인과 상기 기판 위에 절연물질과 비정질실리콘을 연속 적층하고, 상기 비정질실리콘을 패터닝하여 제1절연층과 활성층을 형성하는 단계와, 3)상기 제1절연층과 상기 활성층의 노출된 표면에 실리콘 질화막을 증착하여 에치스토퍼를 형성하는 단계와, 4) 상기 활성층과 상기 에치스토퍼 및 상기 제1절연층의 노출된 표면에 금속물질을 적층한 후, 패터닝하여, 상기 활성층 및 상기 에치스토퍼의 일부와 각각 접촉 연결되는 소오스 전극 및 드레인 전극과, 상기 소오스 전극에 연결되며 상기 게이트 버스라인과 교차하는 데이터 버스라인을 형성하는 단계와, 5)노출된 전표면 위에 비도전성의 염료 또는 안료를 이용하여 컬러필터를 형성하는 단계와, 6) 상기 컬러필터에 상기 드레인 전극의 일부를 노출시키는 드레인전극 콘택홀을 형성하는 단계와, 7) 상기 드레인전극콘택홀 내부 및 상기 컬러필터 상부에 투명 도전물질을 적층한 후, 패턴식각하여 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  11. 제10항에 있어서 상기 4)단계에서, 상기 게이트 절연막이 개재되어 상기 게이트 버스라인의 일부영역과 중첩되는 스토리지 용량 전극을 동시에 형성하고, 상기 6)단계에서, 상기 컬러필터상에 상기 스토리지 용량 전극을 노출시키는 스토리지 용량 전극 콘택홀을 동시에 형성하며, 상기 7)단계에서, 상기 투명도전물질을 적층할 때, 상기 스토리지용량전극콘택홀을 통하여 상기 화소전극이 상기 스토리지용량전극에 연결되도록 하여 스토리지 용량을 부가 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  12. 제10항에 있어서 상기 4)단계 후, 상기 소오스 전극과 상기 드레인 전극 및 상기 데이터 버스라인 상부의 노출된 전면에 투명절연물질을 적층하여 보호막을 형성하고, 상기 5)단계에서, 상기 컬러필터와 동일하게 패터닝하고, 상기 6)단계에서 상기 컬러필터와 동일한 상기 드레인전극콘택홀을 형성시키는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  13. 제10항에 있어서, 상기 5)단계에서, 상기 소오스 전극에 연결된 상기 데이터 버스라인에 일부 중첩되도록 하고, 이웃하는 데이터 버스라인과도 일부 중첩되도록 형성하며, 상기 게이트 버스라인가 완전히 중첩되도록 상기 컬러필터를 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  14. 제10항에 있어서, 상기 5)단계에서, 상기 소오스 전극에 연결된 상기 데이터 버스라인에 일부 중첩되도록 하고, 이웃하는 데이터 버스라인과도 일부 중첩되도록 형성하며, 상기 게이트 버스라인 및 이웃하는 게이트 버스라인과 일부 중첩되도록 상기 컬러필터를 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  15. 제10항에 있어서, 상기 7)단계에서, 상기 컬러필터의 일부가 노출되도록 상기 화소전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
    ※참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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