KR970023624A - 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법 - Google Patents

액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 4매 마스크를 이용하므로써 수율을 높이고 제조 원가를 낮출 수 있는 액정표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의제조 방법에 관한 것이다.
기판 위에 도전막을 적층하고 제1 마스크를 이용하여 사진 식각하여 게이트 전극을 형성하는 제1 단계, 상기 게이트 전극 위에 절연막과 반도체막 그리고 소스/드레인 도전막을 차례로 적층한 후 제2 마스크를 이용하여 상기 반도체막, 소스/드레인 도전막을 사진 식각하는 제2 단계, 상기 소스/드레인 전극 위에 보호막을 적층하고, 제3 마스크를 이용하여 사진 식각하여 컨택 구멍을 형성하는 제3 단계, 상기 보호막 위에 투명 도전막을 적층한 후 제4 마스크를 이용하여 사진 식각하여 화소 전극을 형성하는 제4 단계, 상기 화소 전극을 마스크로 하여 상기 보호막과 상기 소스/드레인 도전막을 사진 식각하여 소스/드레인 전극을 형성하는 제5 단계로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다.

Description

액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도의 (다)-(마)는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 공정 순서를 나타낸 단면도이다.

Claims (8)

  1. 기판 위에 도전막을 적층하고 제1 마스크를 이용하여 사진 식각하여 게이트 전극을 형성하는 제1 단계, 절연막과 반도체막 그리고 소스/드레인 도전막을 차례로 적층한 후 제2 마스크를 이용하여 상기 반도체막, 소스/드레인 도전막을 사진 식각하는 제2 단계, 보호막을 적층하고, 제3 마스크를 이용하여 사진 식각하여 상기 소스/드레인 전극 위에 컨택 구멍을 형성하는 제3 단계, 상기 보호막 위에 투명 도전막을 적층한 후 제4 마스크를 이용하여 사진 식각하여 화소 전극을 형성하는 제4 단계, 상기 화소 전극을 마스크로 하여 상기 보호막과 상기 소스/드레인 도전막을 사진 식각하여 소스/드레인 전극을 형성하여 제5 단계로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막트랜지스터 기판의 제조 방법.
  2. 제1항에서, 상기 제2단계에서 상기 반도체막과 상기 소스 / 드레인 도전막 사이에 외인성 반도체막을 형성하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
  3. 제2항에서, 상기 외인성 반도체막은 n+ 비정질 실리콘으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
  4. 제3항에서, 상기 반도체막은 비정질 실리콘으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
  5. 제1항에서, 상기 게이트 전극은 Aℓ 또는 Ta 또는 Mo-Ta 중에 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
  6. 제1항에서, 상기 소스/드레인 전극은 크롬으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
  7. 제1항에서, 상기 화소 전극은 IT0로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터기판의 제조 방법.
  8. 기판 위에 도전막을 적층하고 제1 마스크를 이용하여 사진 식각하여 게이트 전극, 저장 캐패시터 전극, 패드 금속층을 형성하는 제1 단계, 절연막과 반도체막 그리고 소스/드레인 도전막을 차례로 적층한 후 제2 마스크를 이용하여 상기 반도체막, 소스/드레인 도전막을 사진 식각하는 제2 단계, 보호막을 적층한 후, 제3 마스크를 이용하여 상기 절연막과 함께 사진 식각하여 상기 소스/드레인 전극 및 상기 패드 금속층 위에 컨택 구멍을 형성하는 제3단계, 상기 보호막 위에 투명 도전막을 적층한 후 제4 마스크를 이용하여 사진 식각하여 화소 전극을 형성하는 제4단계, 상기 화소 전극으 마스크로 하여 상기 보호막과 상기 소스/드레인 도전막을 사진 식각하여 소스/드레인 전극을 형성하는 제5 단계로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100348995B1 (ko) * 1999-09-08 2002-08-17 엘지.필립스 엘시디 주식회사 4 마스크를 이용한 액정표시소자의 제조방법 및 그에 따른 액정표시소자
KR100463410B1 (ko) * 1999-12-28 2004-12-23 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. 액티브매트릭스기판 및 그 제조방법
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KR100705616B1 (ko) * 2000-12-30 2007-04-11 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 박막트랜지스터 액정표시장치의 제조방법

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