KR970048849A - 액정 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스킹 공정 횟수를 줄여 수율을 높이고 제조 비용을 절감할 수 있는 에치 스토퍼형 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
기판 위에 서로 다른 도전 물질을 연속하여 적층한 후 제1마스크를 사용하여 왔시에 패터닝하여 이중 게이트 전극 및 제1게이트 패드 전극을 형성하는 단계, 전면에 게이트 절연막, 반도체막, 절연막을 연속으로 적층하는 단계, 상기 절연막을 제2마스크를 사용하여 패너닝하여 에치스토퍼를 형성하는 단계, 도젖 물질을 적층한 후 제3마스크를 사용하여 패터닝하여 소스/드레인 전극을 형성하는 단계, 상기 소스/드레닝 전극을 마스크로하여 반도체막을 패터닝하는 단계, 보호막을 적층낳 후 상기 게이트 절연막과 동시에 제4마스크를 사용하여 패터닝하는 단계, 투염 도전 물질을 적층한 후 제5마스크를 사용하여 패터닝하여 화소 전극 침 제2게이트모든 패드 전극을 형성하는 단계를 포함하고 있다.

Description

액정 표시 장치의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도의 (가)-(마)는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 패드부를 제조 공정 순서에 따른 나타낸 단면도이고,
제5도의 (가)-(마)는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 게이트 채널부를 제조 공정 순서이러도록 따라 나타낸 단면도.

Claims (6)

  1. 기판 위에 서로 다른 도전 물질을 연속하여 적층한 후 제1마스크를 사용하여 동시에 패터닝하여 이중 게이트 전극 및 제1게이트 패드 전극을 형성하는 단계, 전면에 절연막, 반도체막, 절연막을 연속으로 적응하는 단계, 상기 절연막을 제2마스크를 사용하여 패터닝하여 에치스토프를 형성하는 단계, 도전 물질을 적층한 후 제3마스크를 사용하여 패터닝하여 소스/드레닝 전극, 제2게이트 패드 전극, 제1데이터 패드 전극을 형성하는 단계, 상기 소스/드레인 전극을 마스크로하여 반도체막을 패터닝하는 단계, 보호막을 적층한 후 상기 게이트 절연막과 왔시에 제4마스크를 사용하여 패터닝하는 단계, 투명 도전 물질을 적층한 후 제5마스크를 사용하여 패터닝하여 화소 전극 및 제2게이트 패드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법
  2. 제1항에서, 이중 게이트 전극의 상부 금속층이 하부 금속층 보다 더 빠르게 식각되는 식각액을 사용하여 테이퍼 에칭을 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제2항에서, 상기 이중 게이트 전극의 하부 전극은 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용하여 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  4. 제2항에서, 상기 상부 전극은 Mo, Cr, Ti, Ta 중의 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  5. 제1항에서, 상기 소스/드레인 전극을 형성하는 도전 물질은 Cr, Ti, Mo, Ti/Al/Ti, Ti/Al/Mo, Mo/Al/Ti 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  6. 제1항에서, 상기 에치스토퍼 형성 단계와 상기 소스 드레인 전극 형성 단계 사이에 N+ 반도체층을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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