KR970054526A - 박막트랜지스터-액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

박막트랜지스터-액정표시장치 및 그 제조방법에 대해 기재되어 있다. 이는 유리기판 상에 매트릭스 형태로 형성된 게이트라인과 데이타라인과, 게이트라인의 한쪽 끝에 형성된 게이트패드와, 데이타라인의 한쪽 끝에 형성된 데이타패드와, 하나의 게이트라인과 하나의 데이타라인에 의하여 둘러싸여지는 화소영역을 구비하여 이루어지는 박막트랜지스터-액정표시장치에 있어서, 게이트라인과 데이타라인이 교차되는 부위의 데이타라인과 연결되는 데이타라인 리던던시층을 더 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 화소전극과 동일한 재질로 데이타라인 리던던시층을 형성함으로써 추가의 공정없이도, 데이타라인 하부층의 단차에 의한 데이타라인의 오픈을 방지할 수 있다.

Description

박막트랜지스터-액정표시장치 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명에 따른 박막트랜지스터-액정표시장치의 프로세스 구성을 나타낸 공정흐름도이다.

Claims (6)

  1. 유리기판상에 매트릭스 형태로 형성된 게이트라인과 데이타라인; 상기 게이트라인의 한쪽 끝에 형성된 게이트패드; 상기 데이타라인의 한쪽 끝에 형성된 데이타패드; 및 하나의 게이트라인과 하나의 데이타라인에 의하여 둘러싸여지는 화소영역을 구비하여 이루어지는 박막트랜지스터-액정표시장치에 있어서, 상기 게이트 라인과 데이타링이 교차되는 부위의 데이타링노가 연결되는 데이타라인 리던던시층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 리던던시층은 ITO막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치.
  3. 유리기판상에 형성된 게이트전극과 게이트라인; 상기 게이트전극을 덮도록 형성된 양극산화막; 상기 양극 산화막과 게이트라인이 덮이도록 형성된 게이트절연막; 상기 게이트전극 상부의 게이트절연막위에 형성된 반도체 패턴; 상기 반도체패턴을 중심으로 분리되어 형성된 소오스전극 및 드레인전극; 상기 게이트라인 상부의 게이트절연막위에 상기 소오스전극과 연결되되, 상기 게이트라인과 교차되도록 형성된 데이타라인; 및 상기 드레인전극과 연결되도록 보호막을 개재하여 형성된 화소전극을 구비하여 이루어진 박막트랜지스터-액정표시장치에 있어서, 상기 게이트라인과 데이타라인이 교차되는 부위의 데이타라인과 연결되도록 보호막을 개재하여 형성된 데이타라인 리던던시층을 더 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 화소전극과 데이타라인 리던던시층은 ITO막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치.
  5. 유리기판상에 소정의 금속막을 형성한 후 패터닝함으로써 게이트전극 및 게이트라인을 형성하는 단계; 상기 게이트전극상에 양극산화막을 형성하는 단계; 상기 양극산화막이 형성된 결과물 전면에 게이트절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트전극 상부의 게이트절연막상에 반도체패턴을 형성하는 단계; 게이트패드 형성을 위하여 상기 게이트라인 단부의 일부분을 노출시키는 단계; 및 상기 게이트라인 단부의 일부분을 노출시킨 후 결과물 전면에 소정의 금속막을 형성한 후 패터닝함으로써 소오스전극, 드레인전극, 게이트패드 및 상기 게이트라인과 교차되는 데이타린을 형성하는 단계를 구비하여 이루어지는 박막트랜지스터-액정표시장칠의 제조방법에 있어서, 상기 소오스전극, 드레인전극, 데이타라인 및 게이트패드 형성후 패터닝함으로써, 상기 드레인 전극의 일부분과, 상기 게이트라인과 데이타라인이 교차되는 부위의 데이타라인을 노출시키는 단계; 및 상기 드레인전극의 일부분과, 상기 게이트라인과 데이타라인이 교차되는 부위의 데이타라인을 노출시킨후 결과물 전면에 소정의 금속막을 형성한 후 패터닝함으로써, 화소전극 및 데이타라인 리던던시층을 동시에 형성하는 단계를 더 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 화소전극과 데이타라인 리던던시층은 ITO막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터-액정표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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