KR970066697A - 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법 - Google Patents

액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

각각의 픽셀에 대한 스위칭 디바이스로서 TFT를 사용하는 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판에 있어서, 상호 수직으로 연장되는 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인이 한 금속막을 패터닝하므로써 동시에 형성되며, 상기 두 개의 버스 라인들중 한 라인 갭을 제공하도록 중단되며, 이 갭을 가로질러 다른 한라인이 연장된다. 상기 갭은 상기 TFT를 제공하도록 형성된 반도체 층과 게이트 유전체 막의 섬(island)구조에 의해 커버되며, 보조 버스 라인이 상기 갭에 대해 브릿지(bridge)를 제공하도록 상기 갭의 양 측면상에서 상기 중단된 버스 라인과 직접 접촉한다. 상기 보조 버스 라인은 투명 도전막을 패터닝하므로써 픽셀 전극과 함께 형성된다. 이 버스 라인들의 배열에 의해, 생산 공정에 있어서 전체 포토리소그래피 단계들의 수가 감소되어, 당해 생산 비용이 저감될 수 있다.

Description

액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 장치 및 그의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본원 발명에 따른 액티브 매트릭스 기판을 생산하는 공정의 초기 단계들을 도시한 도면으로서, 제1도는 단편적인 평면도이다.

Claims (12)

  1. 각 픽셀에 대한 스위칭 디바이스로서 박막 트랜지스터(TFT)를 사용하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판에 있어서, 절연 기판과; 이 기판상에 한 금속 막을 패터닝하므로써 동시에 형성되며 상호 수직으로 연장되는 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인으로서, 이들 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인중 한 라인이 갭을 제공하도록 중단되고 이 갭을 가로질러 다른 한 라인이 연장되는 게이트 버스라인 및 드레인 버스 라인과; 상기 갭을 포함하는 버스 라인 교차 영역과 최소한 TFT영역에 걸친 상기 기판상에 형성된 게이트 유전체 막과 반도체 층의 적층으로 이루어진 섬 구조와; 상기 TFT영역내의 상기 유전체 막상의 게이트 전극과; 상기 TFT영역내의 반도체 층과 접촉하는 소스 전극 및 드레인 전극과; 상기 소스 전극에 연결된 픽셀 전극; 및 상기 갭에 걸쳐 브릿지를 제공하도록 상기 갭의 양 측면상에 상기 게이트 버스 라인 및 상기 드레인 버스 라인중 한 라인과 직접 접촉하며 상기 교차 영역에서 상기 섬 구조에 의해 다른 한 버스 라인으로부터 분리되는 보조 버스 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보조 버스 라인과 상기 픽셀 전극이 한 투명 도전 막을 패터닝하므로써 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판.
  3. 각 픽셀에 대한 스위칭 디바이스로서 박막 트랜지스터(TFT)를 사용하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판에 있어서, 절연 기판과; 이 기판의 한 표면상에 형성된 게이트 전극과; 상기 기판의 상기 표면상에 형성되며 상기 수직으로 연장되는 게이트 버스 전극과; 상기 기판의 상기 표면상에 형성되며 상호 수직으로 연장되는 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인으로서, 이들 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인중 한 라인이 갭을 제공하도록 중단되고 이 갭을 가로질러 다른 한 라인이 상기 한 라인을 교차하지 않고 연장되는 게이트 버스라인 및 드레인 버스 라인과; 상기 갭을 포함하는 버스 라인 교차 영역과 최소한 상기 게이트 전극을 포함하는 TFT영역에 걸친 상기 기판의 상기 표면상에 형성된 게이트 유전체 막과 반도체 층의 섬 구조와; 상기 섬 구조상에 형성된 소스 및 드레인 전극과; 상기 기판의 표면상에 형성되며 상기 소스 전극에 연결된 투명 픽셀 전극; 및 상기 갭에 결쳐 브릿지를 제공하도록 상기 갭의 양 측면상에 상기 게이트 버스 라인 및 상기 드레인 버스 라인중 한 라인과 직접 접촉하며 상기 교차 영역에서 상기 섬 구조에 걸쳐 연장되는 보조 버스 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판.
  4. 제3항에 있어서, 상기 게이트 전극과, 상기 게이트 버스 라인, 및 상기 드레인 버스 라인이 금속 막과, 상기 소스 전극, 및 상기 드레인 전극을 패터닝하므로써 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판.
  5. 제3항에 있어서, 상기 게이트 전극과, 상기 게이트 버스 라인, 및 상기 드레인 버스 라인중 한 라인이 드레인 버스 라인인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판.
  6. 각 픽셀에 대한 스위칭 디바이스로서 박막 트랜지스터(TFT)를 사용하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판에 있어서, 절연 기판과; 이 기판의 한 표면상에 형성된 소스 및 드레인 전극과; 상기 기판의 상기 표면상에 형성되며 상기 수직으로 연장되는 게이트 버스 전극과; 상기 기판의 상기 표면상에 형성된 보조 버스 라인과; 상기 소스 및 드레인 전극을 포함하는 TFT영역과 상기 보조 버스라인이 연장되는 버스 라인 교차 영역에 걸친 상기 기판의 상기 표면상에 형성된 반도체 층과 게이트 유전체 층의 섬 구조체와; 상기 섬 구조체상에 형성된 게이트 전극; 및 상호 수직으로 연장되는 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인으로서, 이들 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인중 한 라인이 상기 교차 영역내의 상기 섬 구조체상에서 연장되며 다른 한 라인이 상기 보조 버스 라인과 직접 접촉하며 갭을 제공하도록 상기 교차 영역에서 중단되고 이 갭을 가로질러 상기 섬 구조체 및 상기 버스 라인이 그 위에서 연장되는 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판.
  7. 제6항에 있어서, 상기 소스 전극과, 상기 드레인 전극과, 상기 픽셀 전극, 및 상기 보조 버스 라인이 투명 도전 막을 패터닝하므로써 동시에 형성되고, 상기 게이트 전극과, 상기 게이트 버스 라인과, 상기 드레인 버스 라인이 한 금속 막을 패터닝하므로써 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판.
  8. 제6항에 있어서, 상기 게이트 버스 라인 및 상기 드레인 버스 라인중 한 라인이 드레인 버스 라인인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판.
  9. 각 픽셀에 대한 스위칭 디바이스로서 박막 트랜지스터(TFT)를 사용하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판을 생산하는 방법에 있어서, (a)한 절연 기판의 표면상에 한 금속 막을 퇴적시키는 단계와;(b)상기 금속막을 패터닝하여 게이트 전극, 게이트 버스 라인, 및 이 게이트 버스 라인에 수직으로 연장되는 드레인 버스 라인을 형성하는 단계로서, 상기 드레인 버스 라인이 갭을 제공하도록 중단되고; 이 갭을 가로질러 다른 한 버스 라인이 상기 한 버스 라인과 교차하지 않고 연장되는 금속막 패터닝 단계와; (c)최소한 상기 게이트 전극을 포함하는 TFT 영역상의 기판위와, 상기 갭과 상기 게이트 버스 라인 및 상기 드레인 버스 라인중 다른 한 라인을 포함하는 버스 라인 교차 영역상에 게이트 유전체 막 및 반도체 층으로 이루어진 섬 구조를 형성하는 단계와; (d)상기 섬 구조체와 상기 중단된 버스 라인을 포함하는 상기 기판상에 투명도전 막을 퇴적시키는 단계; 및 (e)상기 투명 도전 막을 패터닝하여 상기 TFT영역내의 상기 섬 구조상에 소스 전극 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극에 이어지는 픽셀 전극, 및 상기 갭위에서 상기 섬 구조에 걸쳐 연장되며 상기 갭에 걸쳐 브릿지를 제공하도록 상기 갭의 양 측면상에 상기 게이트 버스 라인 및 상기 드레인 버스 라인중 한 버스 라인과 직접 접촉하는 보조 버스라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 각 픽셀에 대한 스위칭 디바이스로서 박막 트랜지스터(TFT)를 사용하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판을 생산하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 게이트 버스 라인 및 상기 드레인 버스 라인중 한 라인이 드레인 버스 라인이고, 상기 보조 버스 라인이 상기 드레인 전극에 이어지는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판을 생산하는 방법.
  11. 각 픽셀에 대한 스위칭 디바이스로서 박막 트랜지스터(TFT)를 사용하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판을 생산하는 방법에 있어서, (a)한 절연 기판상에 투명 도전 막을 퇴적시키는 단계와;(b)상기 투명 도전막을 패터닝하여 소스 전극, 드레인 전극, 상기 소스 전극에 이어지는 픽섹 전극, 및 보조 버스 라인을 형성하는 단계와; (c)최소한 상기 소스 및 드레인 게이트 전극들을 포함하는 TFT 영역에 걸친 상기 기판상과 상기 보조 버스 라인이 연장되는 버스 라인 교차 영역사의 게이트 유전체 막과 반도체 층의 섬 구조를 형성하는 단계로서, 상기 교차 영역의 양 측면상의 상기 보조 버스 라인 및 상기 드레인 전극의 일부분이 노출되도록 상기 섬 구조체가 형성되는 단계와; (d)상기 섬 구조체와 상기 보조 버스 라인을 포함하는 상기 기판상에 금속 막을 패터닝하는 단계; 및 (e)상기 금속막을 패터닝하므로써 상기 TFT영역내의 상기 섬 구조체상에 게이트 전극, 게이트 버스라인, 및 드레인 버스 라인을 형성하는 단계로서, 이들 게이트 버스 라인 및 드레인 버스 라인중 한 라인이 상기 교차 영역내의 섬 구조체상에 연장되며 다른 한 층은 상기 보조 버스 라인과 직접 교차하고 아울러 갭을 제공하도록 상기 교차 영역내에서 중단되며 상기 갭을 가로질러 이 갭위에 상기 섬 구조체 및 상기 버스 라인이 연장되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판을 생산하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 게이트 버스 라인 및 상기 드레인 버스 라인중 상기 한 라인이 게이트 버스 라인 인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 액정 디스플레이의 액티브 매트릭스 기판을 생산하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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