KR940015621A - 액정 표시 판넬 제작방법 및 전극 패드 구조 - Google Patents
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Abstract
매트릭스 어레이로 배치되는 스위칭소자와 이에 연결된 화소전극 및 게이트, 데이타 전극 패드를 갖는 액정표시판넬 제작방법에 있어서, 기판위에 알루미늄 증착후 제1마스크에 의해 게이트전극 및 라인의 패턴 형성후 양극 산화하는 단계; 절연층; 실리콘층 증착후 제2마스크에 의해 패터닝하여 스위칭부에 대한 실리콘층을 형성하는 단계; 게이트 라인의 단부가 드러나도록 제3마스크에 의해 패터닝하여 게이트전극 패드부의 접촉개구부를 형성하는 단계; 전면에 ITO막을 도포하여 제4마스크에 의해 패터닝하여 화소전극과 ITO게이트 전극패드와, 데이타전극 패드를 형성하는 단계; 금속막 증착후 제5마스크에 의해 패터닝하여 소오스/드레인 전극 및 소오스라인을 형성하는 단계; 및 보호막 증착후 새도우마스크를 사용하여 패드 콘택부를 오픈하는 단계로 이루어져 5마스크를 사용하여 액정표시판넬이 형성됨을 특징으로 하는 액정표시판넬 제작방법.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도 (a)~(d)는 본 발명의 액정판넬의 전극패드 제작 공정을 설명하는 공정도.
Claims (5)
- 매트릭스 어레이로 배치되는 스위칭소자와 이에 연결된 화소전극 및 게이트, 데이타 전극 패드를 갖는 액정 표시판넬 제작방법에 있어서, 기판위에 알루미늄 증착후 제1마스크에 의해 게이트전극 및 라인의 패턴 형성후 양극산화하는 단계; 절연층; 실리콘층 증착후 제2마스크에 의해 패터닝하여 스위칭부에 대한 실리콘층을 형성하는 단계; 게이트 라인의 단부가 드러나도록 제3마스크에 의해 패터닝하여 게이트전극 패트부의 접촉개구부를 형성하는 단계; 전면에 ITO막을 도포하여 제4마스크에 의해 패터닝하여 화소전극과 ITO게이트 전극패드와, 데이타 전극패드를 형성하는 단계; 금속막 증착후 제5마스크에 의해 패터닝하여 소오스/드레인 전극 및 소오스라인을 형성하는 단계; 및 보호막 증착후 새도우마스크를 사용하여 패드 콘택부를 오픈하는 단계로 이루어져 5마스크를 사용하여 액정표시판넬이 형성됨을 특징으로 하는 액정표시판넬 제작방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제4마스크에는 ITO전극 패드위에 금속막층이 포함되도록 패턴을 갖고 있어 ITO게이트라인, 데이타 전극 패드위에 금속보호층이 형성됨을 특징으로 하는 액정표시판넬 제작방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제5마스크 공정에 있어서, 전면에 보호층을 형성하고 전극 패드층이 드러나도록 제6마스크에 의해 패터닝하는 단계를 또한 포함함을 특징으로 하는 액정표시판넬 제작방법.
- 매트릭스 어레이로 배치되는 스위칭 소자와 이에 연결되는 화소전극 그리고 게이트, 데이타 전극 패드를 갖는 액정표시 판넬에 있어서, 상기 전극패드는 화소전극과 동일물질로서 게이트라인의 단부에 연결된 ITO막과 데이타 라인 단부에 연결된 ITO막으로 형성된 구조이며 그 위에 소오스/드레인 전극 물질과 동일한 금속층이 형성되어 접촉을 강화시키도록 한 패드구조임을 특징으로 하는 액정표시판넬의 전극패드구조.
- 제4항에 있어서, 상기 ITO전극 패드들을 ITO화소전극 형성시 동시에 형성됨을 특징으로 하는 액정표시판넬의 전극패드구조.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920025836A KR940015621A (ko) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 액정 표시 판넬 제작방법 및 전극 패드 구조 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019920025836A KR940015621A (ko) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 액정 표시 판넬 제작방법 및 전극 패드 구조 |
Publications (1)
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|---|---|
| KR940015621A true KR940015621A (ko) | 1994-07-21 |
Family
ID=67214781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1019920025836A KR940015621A (ko) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 액정 표시 판넬 제작방법 및 전극 패드 구조 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940015621A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990052396A (ko) * | 1997-12-22 | 1999-07-05 | 김영환 | 액정 표시 소자 및 그의 제조방법 |
| KR100497297B1 (ko) * | 2002-04-18 | 2005-06-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
| KR100508008B1 (ko) * | 1997-03-27 | 2005-11-28 | 가부시키가이샤 아드반스트 디스프레이 | 전기광학소자의제조방법 |
-
1992
- 1992-12-28 KR KR1019920025836A patent/KR940015621A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100508008B1 (ko) * | 1997-03-27 | 2005-11-28 | 가부시키가이샤 아드반스트 디스프레이 | 전기광학소자의제조방법 |
| KR19990052396A (ko) * | 1997-12-22 | 1999-07-05 | 김영환 | 액정 표시 소자 및 그의 제조방법 |
| KR100497297B1 (ko) * | 2002-04-18 | 2005-06-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
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