KR940003088A - 박막트랜지스터의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 박막트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로, 특히 반도체층과 반도체층사이의 단차를 없애 수율을 증대하도록한 것으로서, 이러한 본 발명의 목적은 제1절연층(3)을 종래와 달리 게이트전극(2)보다 높게 증착한 후 게이트전극(2)과 저장 캐패시터하판(2')위에 증착된 제1절연층(3)을 에칭하여 편평하게 만들고 이후 공기중에 노출된 제1절연층(3)의 계면효과를 높이기 위해 다시 절연층을 증착하고 이후 제1반도체층(4), 제2반도체층(5) 제2도체층 및 제2절연층(8)을 순차로 증착함으로써 달성된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 박막트랜지스터의 구성도.
제4도는 제3도의 A-A선 단면도.
제5도는 본 발명의 박막트랜지스터의 제조 공정도.
Claims (2)
- 유리기판(1)위에 저1도체층을 선택적으로 형성하고 그위에 제1절연층(3)을 증착하는 과정과, 그위에 제1반도체층(4) 및 제2반도체층(5)을 차례로 증착하여 음 접촉을 형성하는 과정과. 그위에 투명도체층을 만들어 액정표시장치의 화소부분(6)을 구성하며 그위에 제2도체층을 형성하여 소스/드레인 전극(7) 및 저장 캐패시터 상관전극(7')을 형성하는 과정과, 그위에 트랜지스터 보호를 위해 제2절연층(8)을 증착하는 과정으로 이루어짐을 특징으로 한 박막트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 제1절연층(3)의 공정과정은 제1절연층(3)을 게이트전극(2)보다 높게 증착한 후 에칭하여 편평하게 만드는 것을 특징으로 한 박막트랜지스터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019920012791A KR940003088A (ko) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 박막트랜지스터의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019920012791A KR940003088A (ko) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 박막트랜지스터의 제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR940003088A true KR940003088A (ko) | 1994-02-19 |
Family
ID=67147259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1019920012791A KR940003088A (ko) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 박막트랜지스터의 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR940003088A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100386848B1 (ko) * | 2001-05-09 | 2003-06-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시소자의 반도체층 재생방법 |
-
1992
- 1992-07-16 KR KR1019920012791A patent/KR940003088A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100386848B1 (ko) * | 2001-05-09 | 2003-06-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시소자의 반도체층 재생방법 |
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