KR970071897A - 전계방출소자 및 그의 제조방법 - Google Patents

전계방출소자 및 그의 제조방법 Download PDF

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마사테루 다니구치
다카히로 니이야마
데루오 와타나베
미노루 가타야마
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니시무로 아츠시
후다바 덴시 고교 가부시키가이샤
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Abstract

전계방출 캐소드 기판과 해당 전계방출 캐소드 기판과 격리되어 봉착되어 있는 애노드 기판에 의하여 구성되어 있는 전계방출소자는, 상기 전계방출 캐소드 기판상의 동일 평면에 형성된 캐소드 전극 및 게이트 단자와, 상기 캐소드 전극위에 절연층을 통하여 형성된 게이트 라인과, 상기 절연층 및 게이트 라인에 설치된 개구부와, 상기 개구부내에 형성되어 전자를 방출하는 콘상의 이미터와, 상기 게이트 라인을 접속하는 콘택트 홀과, 를 구비하여, 상기 게이크 단자상에 형성된 상기 절연층이 상기 애노드기판을 봉착할때의 시일의 보호막으로서 구성되어 있다.

Description

전계방출 소자 및 그의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 실시형태의 전계방출소자의 외관사시도이다, 제2도는 본 발명 실시형태의 전계방출소자와의 제조공정을 설명하는 사시도이다., 제4도는 제2도에 계속하는 본 실시의 형태의 전계방출소자의 제조공정을 설명하는 사시도이다, 제5도는 제4도에 도시하는 전계방출소자를 단면적으로 도시하는 도면이다, 제6도는 제4도에 계속하는 본 실시의 형태의 전계방출소자의 제조공정을 설명하는 사시도이다. 제7도는 제6도에 도시하는 전계방출소자를 단면적으로 도시하는 도면이다, 제8도는 제6도에 계속하는 본 실시형태의 전계방출소자의 제조공정을 설명하는 사시도이다, 제9도는 본 발명 실시형태의 전계방출소자를 단면적으로 도시하는 도면이다.

Claims (5)

  1. 전계방출 캐소드 기판과 해당 전계방출 캐소드 기판과 격리되어 봉착되어 있는 애노그 기판에 의하여 구성되어 있는 전계방출소자에 있어서, 상기 전계방출 캐소드 기판상의 동일 평면에 형성된 캐소드 전극 및 게이트 단자와, 상기 캐소드 전극위에 절연층을 통하여 형성된 게이트 라인과, 상기 절연층 및 게이트 라인에 설치된 개구부와, 상기 개구부내에 형성되어 전자를 방출하는 콘상의 이미터와, 상기 게이트 단자와 게이트라인을 접속하는 콘택트 홀과, 를 구비하여, 상기 게이크 단자상에 형성된 상기 절연층이 상기 애노드기판을 봉착할때의 시일의 보호막으로서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전계방출소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 콘택트 홀은, 상기 개구부 보다도 큰 직경을 갖고 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전계방출 소자.
  3. 전계방출 캐소드 기판과, 해당 전계방출 캐소드 기판과 격리되어 봉착되어 있는 애노드 기판에 의하여 구성되어 있는 전계방출소자의 제조방법에 있어서, 상기 전계방출캐소드 기판상의 동일 평면에 단부가 캐소드 단자를 형성하는 캐소드 전극 및 게이트 단자를 형성하여, 그위에 절연층을 형성하여, 더욱 해당 절연층상에 콘택트홀을 형성하여, 상기 절연층상에 형성되는 게이트 전극과 상기 게이트 단자가 상기 게이트 전극 제작시에 상기 콘택트홀에 형성되는 도전막에 의하여 접속되도록 한 것을 특징으로 하는 전계방출소자의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 콘택트홀은, 전계방출이미터의 내부에 형성되어 있는 개구부 보다도 큰 직경을 갖고 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전계방출소자의 제조방법.
  5. 제3항 또는 4항에 있어서, 상기 콘택트홀에 형성되는 도전막이, 경사진 증착에 의하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전계방출소자의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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