KR960015662A - 오프셋 제어 전극이 있는 전자 방출 소자 - Google Patents

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KR960015662A
KR960015662A KR1019950037508A KR19950037508A KR960015662A KR 960015662 A KR960015662 A KR 960015662A KR 1019950037508 A KR1019950037508 A KR 1019950037508A KR 19950037508 A KR19950037508 A KR 19950037508A KR 960015662 A KR960015662 A KR 960015662A
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요시노리 도미하리
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가네꼬 히사시
닛본덴기 가부시끼가이샤
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    • H01J1/02—Main electrodes
    • H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J3/021—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source
    • H01J3/022—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source with microengineered cathode, e.g. Spindt-type

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  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)

Abstract

대전류의 첨예한 고분해능의 전자 빔을 가능하게 하는 전자 방출 소자에는 절연층(9)을 통해서 다수의 캐소오드(4)상에 형성된 게이트 전극(7)상에 위치하는 제어 전극(10)이 있다. 제어 전극(10)의 개구의 각 중심은 게이트 전극(7)의 개구의 중심으로부터 오프셋되어 있다.

Description

오프셋 제어 전극이 있는 전자 방출 소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 전자 방출 소자의 주요부(main portion)의 단면도,
제2도는 본 발명의 제2실시예에 따른 전자 방출 소자의 주요부의 단면도,
제3도는 본 발명의 제3실시예에 따른 전자 방출 소자의 주요부의 단면도.

Claims (3)

  1. 기판의에 형성된 다수의 돌출 캐소오드; 제1절연총을 통해서 상기 캐소오드상에 배치된 제1전극; 및 제2절연층을 통해서 상기 제1전극상에 배치된 제1전극을 구비하고, 상기 제2전극의 개구의 중심이 상기 제1전극의 개구의 중심으로부터 오프셋되는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 캐소오드가 기판의 중심에 그리고 상기 중심을 둘러싸는 위치에 배치되고, 상기 개구의 중심이 상기 중심과 주변 위치간에 라인을 따라 오프셋되는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 다수의 주변 캐소오드가 동심원으로 배열되고, 상기 개구의 오프셋의 양이 상기 라인을 따라 변화하는 것을 특징으로 하는 전자 방출 소자.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950037508A 1994-10-28 1995-10-27 오프셋 제어 전극이 있는 전자 방출 소자 KR0172023B1 (ko)

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