KR960042873A - 개선된 전계 방출 냉음극의 2차원 어레이를 갖는 전자총 - Google Patents
개선된 전계 방출 냉음극의 2차원 어레이를 갖는 전자총 Download PDFInfo
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Abstract
전계 방출 냉음극 구조물은 2차원 어레이의 캐비티를 갖고 있는 절연층과, 이 절연층상에 배치되고 일반적으로 원형이며 캐비티 위치 배치되는 개구부의 2차원 어레이를 갖고 있는 게이트 전극과, 캐비티 내에 수용되어 있고 끝이 뾰족한 원추형상을 갖고 있는 전계 방출 냉음극들을 포함하고 있으며, 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 뾰족한 부분은 게이트 전극상에 배치된 기준점을 향해서 수평 방향을 개구부들의 중심으로부터 일정거리만큼 중심에서 벗어나게 배치되어 있고, 상기 개구부들의 중심으로부터 끝이 뾰족한 부분들의 거리는 기준점으로부터 전계 방출 냉음극들의 거리 증가에 따라서 증가하도록 변화함으로써, 게이트 전극의 표면에 대해 수직한 방향으로 기준점으로부터 연장되는 성상에 위치한 집중점을 향해 전계 방출 냉음극들의 끝이 뾰족한 부분으로부터 방출된 전자 빔이 편향된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 제1실시예의 개선된 전계 방출 냉음극 구조물을 도시한 부분 정단면도, 제4도는 본 발명에 따른 제2실시예의 개선된 전계 방출 냉음극 구조물을 도시한 부분 정단면도.
Claims (23)
- 전계 방출 냉음극 구조물에 있어서, 2차원 어레이의 캐비티들을 갖고 있는 절연층과, 상기 절연층상에 배치된 게이트 전극을 포함하고, 상기 게이트 전극은 일반적으로 원형인 개구부의 2차원 어레이를 갖고 있으며, 상기 개구부들은 상기 캐비티들 위에 배치되고, 상기 캐비티들 내에 수용되어 있으며 각각이 원추형이며 끝이 뾰족한 부분을 갖고 있는 전계 방출 냉음극들을 포함하고 있으며, 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 끝이 뾰족한 부분은 상기 게이트 전극상에 위치한 기준점을 향해서 수평 방향으로 상기 개구부들의 중심으로부터 일정 거리만큼 중심에서 벗어나 있으며, 상기 개구부들의 중심으로부터의 상기 끝이 뾰족한 부분의 상기 거리를 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 거리 증가에 따라서 증가되게 변함으로써, 상기 게이트 전극의 표면에 대해 수직 방향으로 상기 기준점으로부터 연장되는 선상에 위치해 있는 집중점을 향해 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 끝이 뾰족한 부분으로부터 방출된 전자빔이 편향되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 개구부들의 상기 중심으로부터의 상기 거리는 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 거리 증가에 따라서 선형으로 증가되게 변하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 기준점은 상기 게이트의 전극 중심에 위치해 있고, 상기 전계 방출 냉음극들 중 하나의 끝이 뾰족한 부분은 상기 기준점상에 위치해 있고 또한 상기 전계 방출 냉음극들 중 상기 하나를 수용하는 상기 캐비티들 중 캐비티의 중심에 위치해 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제3항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 전계 방출 냉음극들을 둘러싸는 상기 캐비티들의 하나의 원을 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제3항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 전계 방출 냉음극들 중 상기 하나를 둘러싸는 상기 캐비티들의 동심원들을 형성하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 전계 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 캐비티들의 매트릭스를 형성하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 전계 방출 냉음극들 각각은 편심성이 없는 원추 형상을 갖고 있고 상기 캐비티들내의 상기 전계 방출 냉음극들의 위치는 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 거리에 따라서 변하므로 상기 개구부들의 상기 중심으로부터의 상기 끝이 뾰족한 부분들의 상기 거리는 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극의 상기 거리 증가에 따라서 증가되게 변하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 전계 방출 냉음극들 각각은 편심 원추 형상을 갖고 있어서 상기 개구부들의 상기 중심으로부터의 상기 끝이 뾰족한 부분의 상기 거리가 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 거리 증가에 따라서 증가되게 변하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 개구부들 각각은 편심성이 없는 원추 형상을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제1항에 있어서, 상기 캐비티들 각각은 원통 형상을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제1항에 있어서, 끝에 상기 절연층과 상기 전계 방출 냉음극들이 제공되어 있는 음극 전극 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 전계 방출 냉음극 구조물에 있어서, 음극 전극 플레이트와, 상기 음극 전극 플레이트상에 제공되어 있으며, 일반적으로 원통형인 음극 전극 플레이트와, 2차원 어레이의 캐비티들을 갖고 있는 절연층과, 상기 절연층상에 배치된 게이트 전극을 포함하고, 상기 게이트 전극은 일반적으로 원형인 개구부의 2차원 어레이를 갖고 있으며, 상기 개구부들은 상기 캐비티들 위에 배치되고, 상기 캐비티들 내에 수용되어 있고 상기 음극 전극 플레이트상에 배치되어 있으며, 각각이 원추형이며 끝이 뾰족한 부분을 갖고 있는 전계 방출 냉음극들을 포함하고 있으며, 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 끝이 뾰족한 부분은 상기 게이트 전극상에 위치한 기준점을 향해서 수평 방향으로 상기 개구부들의 중심으로부터 일정 거리만큼 중심에서 벗어나 있으며, 상기 개구부들의 중심으로부터의 상기 끝이 뾰족한 부분의 상기 거리를 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 거리 증가에 따라서 증가되게 변함으로써, 상기 게이트 전극의 표면에 대해 수직 방향으로 상기 기준점으로부터 연장되는 선상에 위치해 있는 집중점을 향해 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 끝이 뾰족한 부분으로부터 방출된 전자빔이 편향되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제12항에 있어서, 상기 개구부들의 상기 중심으로부터의 상기 거리는 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 거리 증가에 따라서 선형으로 증가되게 변하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제12항에 있어서, 상기 기준점은 상기 게이트의 전극 중심에 위치해 있고, 상기 전계 방출 냉음극들 중 하나의 끝이 뾰족한 부분은 상기 기준점상에 위치해 있고 또한 상기 전계 방출 냉음극들 중 상기 하나를 수용하는 상기 캐비티들 중 한 캐비티의 중심에 위치해 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제14항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 전계 방출 냉음극들을 둘러싸는 상기 캐비티들의 하나의 원을 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제14항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 전계 방출 냉음극들 중 상기 하나를 둘러싸는 상기 캐비티들의 동심원들을 형성하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제12항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 캐비티들의 매트릭스를 형성하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제12항에 있어서, 상기 전계 방출 냉음극들 각각은 편심성이 없는 원추 형상을 갖고 있고 상기 캐비티들내의 상기 전계 방출 냉음극들의 위치는 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 거리에 따라서 변하므로 상기 개구부들의 상기 중심으로부터의 상기 끝이 뾰족한 부분들의 상기 거리는 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극의 상기 거리 증가에 따라서 증가되게 변하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제12항에 있어서, 상기 전계 방출 냉음극들 각각은 편심 원추 형상을 갖고 있어서 상기 개구부들의 상기 중심으로부터의 상기 끝이 뾰족한 부분의 상기 거리가 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 거리 증가에 따라서 증가되게 변하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 전계 방출 냉음극 구조물에 있어서, 음극 전극 플레이트와, 상기 음극 전극 플레이트상에 제공되어 있으며, 일반적으로 원통형인 음극 전극 플레이트와, 2차원 어레이의 캐비티들을 갖고 있는 절연층과, 상기 절연층상에 배치된 게이트 전극을 포함하고, 상기 게이트 전극은 일반적으로 원형인 개구부의 2차원 어레이를 갖고 있으며, 상기 개구부들은 상기 캐비티들 위에 배치되고, 상기 캐비티들 내에 수용되어 있고 상기 음극 전극 플레이트상에 배치되어 있는 전계 방출 냉음극들을 포함하고, 상기 전계 방출 냉음극들이 각각은 편심성이 없는 원추 형상을 갖고 있고, 상기 전계 방출 냉음극들 중 하나의 끝이 뾰족한 부분은 상기 게이트 전극의 중심에 해당되는 기준점과 상기 전계 방출 냉음극들 중 상기 하나를 수용하는 상기 캐비티들 중 하나의 중심에 위치해 있으며, 상기 캐비티들 내의 상기 전계 방출 냉음극들의 위치는 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 거리에 따라서 변하여, 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 끝이 뾰족한 부분이 상기 기준점을 향해 수평 방향으로 상기 개구부들의 중심으로부터 일정 거리만큼 중심에서 벗어나 있고, 상기 개구부들의 중심으로 부터의 상기 끝이 뾰족한 부분의 상기 거리는 상기 기준점으로부터 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 거리에 따라서 선형으로 증가되게 변함으로써, 상기 게이트 전극의 표면에 대해 수직 방향으로 상기 기준점으로부터 연장되는 선상에 위치해 있는 집중점을 향해 상기 전계 방출 냉음극들의 상기 끝이 뾰족한 부분으로부터 방출된 전자 빔의 편향되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제20항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 캐비티들의 다중 동심원을 형성하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제20항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 전계 방출 냉음극들 중 상기 하나를 둘러싸는 상기 캐비티들의 하나의 원을 형성하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.
- 제20항에 있어서, 상기 캐비티들의 상기 어레이는 상기 전계 방출 냉음극들 중 상기 하나를 둘러싸는 상기 캐비티들의 매트릭스를 형성하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 전계 방출 냉음극 구조물.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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