KR970076964A - 전자선 장치 - Google Patents

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KR970076964A
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아끼히꼬 오까모또
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가네꼬 히사시
닛뽕덴끼 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 전자선 장치는 복수개의 에미터가 배치된 에미터 영역의 중심점으로부터 거리 r만큼 이격된 에미터로부터 방출된 다수개의 전자에 의해 형성된 소정 크기(폭)를 갖는 전자 궤도의 일부로서, 전류밀도가 최대인 그 부분은 전자를 방출한 상기 에미터가 에미터 영역의 중심점과 상기 렌즈의 중심점을 통과하는 제1평면에 수직이고, 또한 상기 에미터 영역의 중심점과 상기 렌즈의 중심점을 통과하는 제2평면을 가로질러, 이 제2평면에 대하여 전자를 방출한 상기 에미터와는 반대측의 영역에서 상기 렌즈를 통과하는 전계방출 냉음극을 포함한다. 렌즈의 통과점과 렌즈의 중심점간의 거리는 r이 클수록 커진다.

Description

전자선 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 발명의 실시예 1의 구조를 나타낸 단면도, 제7도는 전자렌즈의 구면수차를 설명하는 도면, 제8a도 및 제8b도는 본 발명의 실시예 1의 요부를 나타낸 단면도.

Claims (4)

  1. 기판상에 전자의 전계방출을 제어하는 전자 유도방출 전극을 갖는 복수개의 날카로운 에미터의 집합체가 형성된 전계방출 냉음극으로부터 방출되는 전자를 전자기 렌즈를 통해 접속시키는 전자선 장치에 있어서, 복수개의 에미터가 배치된 에미터 영역의 중심점으로부터 거리 r만큼 이격된 에미터로부터 방출된 다수개의 전자에 의해 형성된 소정 크기를 갖는 전자 궤도의 일부로서, 전류밀도가 최대인 그의 부분은 전자를 방출한 상기 에미터가 에미터 영역의 중심점과 상기 렌즈의 중심점을 통과하는 제1평면에 수직이고, 또한 상기 에미터 영역의 중심점과 상기 렌즈의 중심점을 통과하는 제2평면을 가로질러, 이 제2평면에 대하여 전자를 방출한 상기 에미터와는 반대측의 영역에서 상기 렌즈를 통과하고, 그 통과하는 점과 상기 렌즈의 중심점간의 거리는 r이 클수록 커지는 것을 특징으로 하는 전자선 장치.
  2. 제1항에 있어서, 전자궤도를 제어하기 위한 집속전극이 상기 에미터 영역을 둘러싸도록 상기 기판상에서 상기 에미터 영역의 평면과 거의 동일 평면상의 상기 에미터 영역의 주변부에 형성되어 있는 전계방출 냉음극을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자선 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 집속전극의 전압은 상기 전자 유도방출 전극의 전압보다 낮게 설정되는 것을 특징으로 하는 전자선 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 에미터, 상기 전자 유도방출 전극, 및 상기 집속전극에 각각 접속된 제1, 제2 및 제3신호 소오스를 더 포함하고, 상기 제2 및 제3신호 소오스에서 상기 전계방출 냉음극으로 인가된 신호들 사이의 전압 차이가 소정 값으로 유지되는 것을 특징으로 하는 전자선 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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