KR970071145A - 포토마스크 및 이를 이용한 노광 방법 - Google Patents
포토마스크 및 이를 이용한 노광 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 포토마스크 및 이를 이용한 노광 방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 포토마스크에서 투명한 포토마스크 기판은 크롬막이 형성된 쪽의 표면에서 각각 두께가 서로 다른 복수의 평면을 포함한다. 이와 같이 구성된 본 발명에 의한 포토마스크를 사용하여 포토리그래피 공정에서 노광을 행하는 경우에는, 1회의 노광으로 서로 다른 포커스 오프셋을 가지는 패턴을 형성하는 것이 가능하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 포토마스크를 개략적으로 도시한 것이다, 제5도는 본 발명의 방법에 의해 노광을 행하는 방법을 설명하는 도면이다, 제6도는 본 발명의 방법에 의해 노광을 행한 결과를 도시한 도면이다.
Claims (3)
- 투명한 포토마스크 기판과, 상기 포토마스크 기판상에 차광 영역과 한정하기 위하여 소정 패턴으로 형성된 크롬막을 포함하는 포토마스크에 있어서, 상기 포토마스크 기판은 상기 크롬막이 형성된 쪽의 표면에서 각각 두께가 서로 다른 복수의 평면을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 포토마스크 기판상의 각 평면중 연속되는 2개의 평면 사이의 두께차는 각 평면이 배치된 위치에서 원하는 포커스 오프셋 차이에 따른 웨이퍼로부터 포토마스크까지의 거리차의 정수배에 해당하는 것을 특징으로 하는 포토마스크.
- 소정의 패턴이 형성된 포토마스크를 사용하여 웨이퍼상에 서로 다른 포커스 오프셋으로 노광시키는 포토리소그래피 공정의 노광 방법에 있어서, 상기 노광에 사용되는 포토마스크는 소정의 패턴이 형성된 쪽의 표면에서 각각 두께가 서로 다른 복수의 평면을 포함하는 포토마스크 기판을 포함하는 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 노광방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960012488A KR970071145A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 포토마스크 및 이를 이용한 노광 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960012488A KR970071145A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 포토마스크 및 이를 이용한 노광 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970071145A true KR970071145A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66216968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960012488A KR970071145A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 포토마스크 및 이를 이용한 노광 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970071145A (ko) |
-
1996
- 1996-04-24 KR KR1019960012488A patent/KR970071145A/ko not_active Application Discontinuation
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