KR960032099A - 투영 광학 시스템 및 그 투영 광학 시스템을 갖는 투영 노광 장치 - Google Patents

투영 광학 시스템 및 그 투영 광학 시스템을 갖는 투영 노광 장치 Download PDF

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Abstract

투영 광학 시스템은 제1면에 배열된 패턴의 영상을 투사 및 형성하고 제2면에 예정 방향(X 또는 Y방향)으로 주기성을 나타낸다. 스톱은 상기 투영 광학 시스템의 광축선을 교차하는 대칭축에 관하여 대칭선을 보이고, 예정 방향에 수직인 방향(Y는 X방향)으로 연장하며 또 최소한의 부분이 직선인 윤곽선을 가지는 개구를 가진다. 상기 스톱은 투영 광학 시스템내의 제1면의 푸리에 변환면 또는 이 변환면 부근의 한 표면에 설치된다.

Description

투영 광학 시스템 및 그 투영 광학 시스템을 갖는 투영 노광 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 투영 노광 장치의 한 실시예의 구조를 개략적으로 도시한 사시도.
내용 없음

Claims (15)

  1. 제1면에 배열된 패턴의 형상을 투사 및 형성하고 제2면에 예정 방향으로 주기성을 나타내는 투영 광학 시스템에 있어서, 상기 투영 광학 시스템은 이 시스템의 광축선을 통과하는 대칭축에 관하여 대칭선을 보이고, 예정 방향에 수직인 방향으로 연장하며 또 최소한의 부분이 직선인 윤곽선을 가지는 개구를 갖는 스톱을 포함하고, 상기 스톱은 투영 광학 시스템내의 제1면의 푸리에 변환면 또는 이 변환면 부근의 한 표면에 설치되는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 스톱의 개구의 윤곽선은 대칭축에 평행한 직선부를 갖는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 스톱은 개구의 윤곽선을 규정하기 위해 각각 직선 에지를 갖춘 다수의 이동 블레이드를 가지는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 이동 블레이드는 가변 치수를 갖는 직사각형 개구를 규정하기 위해 서로 결합되어 이동되는 4개의 블레이드로 구성된 제1블레이드 세트와, 가변 치수를 갖는 직사각형 개구를 규정하기 위해 서로 결합되어 있으며 동시에 제1블레이드 세트의 각 블레이드에 대해 45도의 각도를 만드는 4개의 블레이드로 구성된 제2블레이드 세트를 가지는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 스톱은 원형 개구를 형성한 고정 스톱과, 가변 치수를 갖는 직사각형 개구를 형성한 가변 스톱을 가지는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템.
  6. 투영 광학 시스템을 장착한 투영 노광 장치에 있어서, 제1면에 배열된 패턴의 영상을 투사 및 형성하고 또 제2면에 예정 방향으로 주기성을 나타내는 투영 광학 시스템과 ,상기투영 광학 시스템내의 제1면의 푸리에 변환면에 설치되어 있고, 상기 투영 광학 시스템의 광축선을 통과하는 대칭 축에 관하여 대칭선을 보이며 또 예정 방향에 수직 방향으로 연장하며 동시에 최소한의 부분이 직선인 윤곽선을 가지는 개구를 갖는 스톱과, 상기 스톱의 개구의 윤곽선의 직선부에 해당하는 윤곽선이 직선 형상을 갖는 그러한 면광원으로부터 방출되는 노광용 조명 광선으로 마스크를 쾨흘러 조명하기 위한 조명 광학 시스템을 포함하고, 여기서 전사해야 할 패턴을 형성한 마스크가 제1면에 설정되고, 감광성 기판이 제2면에 설정되고, 상기 마스크상의 패턴은 상기 조명 광학 시스템에서 나오는 광선으로 투영광학 시스템을 통하여 감광성 기판에 노출되는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 투영 광학 시스템의 면광원은 직사각형 프레임 형태에 속하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 스톱의 윤곽선은 대칭축에 평행한 직선부를 가지는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 스톱은 개구의 윤곽선을 규정하기 위해 각각 직선 에지를 갖춘 다수의 이동 블레이드를 가지는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 이동 블레이드는 가변 치수를 갖는 직사각형 개구를 규정하기 위해 서로 결합되어 이동되는 4개의 블레이드로 구성된 제1블레이드 세트와, 가변 치수를 갖는 직사각형 개구를 규정하기 위해 서로 결합되어 있으며 동시에 제1블레이드 세트의 각 블레이드에 대해 45도의 각도를 만드는 4개의 블레이드로 구성된 제2블레이드 세트를 가지는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  11. 제6항에 있어서, 상기 스톱은 원형 개구를 형성한 고정 스톱과, 가변 치수를 갖는 직사각형 개구를 형성한 가변 스톱을 가지는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  12. 제1면에 배열된 패턴의 형상을 토사 및 형성하고 제2면에 예정 방향으로 주기성을 나타내는 투영 광학 시스템에 있어서, 상기투영 광학 시스템의 동공면에 배치되어 있으며 예정 방향에 수직인 방향으로 연장하는 에지를 갖는 개구 스톱을 구비하는 것을 특징으로 하는 투영 광학 시스템.
  13. 마스크에 형성되어 있고 예정 방향으로 주기적으로 배열된 패턴을 투영 광학 시스템을 통해 감광성 기판에 전사하기 위한 투영 노광 장치에 있어서, 상기 투영 광학 시스템의 동공면에 배치되어 있으며 예정 방향에 수직인 방향으로 연장하는 에지를 갖는 개구 스톱을 구비하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 개구 스톱의 형태 및 치수중 적어도 어느 하나는 가변 가능한 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
  15. 마스크에 형성된 패턴을 투영 광학 시스템을 통해 감광성 기판에 전사하기 위한 투영 노광 장치에 있어서, 마스크를 조명하기 위한 조명 광학 시스템과, 상기 조명 광학 시스템의 동공면내에 배치되어 있으며 이 동공면에 형성된 광원 영상의 윤곽선의 적어도 일부분을 직선으로 규정하기 위한 제1개구 스톱과, 상기 투영 광학 시스템의 동공면내에 배치되어 있으며 상기 제1개구 스톱의 직선 에지에 해당하는 직선 에지를 규정하기 위한 제2개구 스톱을 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960003552A 1995-02-10 1996-02-09 투영 광학 시스템 및 그 투영 광학 시스템을 갖는 투영 노광 장치 KR960032099A (ko)

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