KR960001904A - 노광 장치 - Google Patents

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KR960001904A
KR960001904A KR1019950017375A KR19950017375A KR960001904A KR 960001904 A KR960001904 A KR 960001904A KR 1019950017375 A KR1019950017375 A KR 1019950017375A KR 19950017375 A KR19950017375 A KR 19950017375A KR 960001904 A KR960001904 A KR 960001904A
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KR
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optical system
imaging optical
exposure apparatus
imaging
concave
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KR1019950017375A
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English (en)
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마사시 타나카
마사키 카토
히로시 치바
킨야 카토
Original Assignee
오노 시게오
가부시끼가이샤 니콘
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G—PHYSICS
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 노광 영역이 큰 경우라도, 스루풋을 저하시킴이 없이 양호한 결상 성능의 것으로 회로 패턴을 전사할 수 있는 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 마스크(10)와 기반(20)을 이동시키면서 마스크상의 패턴을 기반상에 투영하는 노광 장치는, 마스크의 등배의 정립상을 형성하는 제1투영 광학계 (31a~43a) 및 제2투영 광학계(31c~43c)를 가진다. 그리고, 제1 및 제2투영 광학계는 2개의 공역점의 한쪽을 마스크 또는 기반상에 위치되도록 설치한 제1결상 광학계(31a~33a, 31c~33c)와, 2개의 공역점의 한쪽을 제1결상 광학계의 다른쪽의 공역점과 일치시켜 다른쪽의 공역점을 기반 또는 마스크 상에 위치되도록 설립한 제2결상 광학계(41a~44a, 41c~44c)를 가진다.

Description

노광 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예에 의한 노광 장치의 구성을 개략적으로 예시한 모식도.

Claims (10)

  1. 제1물체와 제2물체를 일정 방향으로 이동시키면서 상기 제1물체의 상을 제2물체의 투영 노광하는 노광장치에 있어서, 상기 제1물체의 정립상을 상기 제2물체상에 형성하는 제1투영 광학계와, 상기 제1물체의 정립상을 상기 제2물체상에 형성하고, 상기 제1투영 광학계의 이웃에 배치된 제2투영 광학계를 가지며, 상기 제1 및 제2투영광학계는, 2개의 공역점의 한쪽을 상기 제1물체상에 위치되도록 배치한 제1결상 광학계와, 2개의 공역점의 한쪽을 상기 제1결상 광학계의 다른쪽의 공역점과 일치시키는 동시에, 다른쪽의 공역점을 상기 제2물체상에 위치되도록 배치한 제2결상 광학계와, 이를 각각 가지며, 상기 제1결상 광학계 및 제2결상 광학계의 어느 한쪽이 오목면 반사경과 볼록면 반사경을 가지며, 또한 한쪽의 공역점으로 부터의 광을 상기 오목면 반사경, 상기 볼록면 반사경 및 상기 오목면 반사경의 순서로 반사시켜서 다른쪽의 공역점에 인도하는 오프너형 광학계이며, 다른쪽이 제1 및 제2반사 프리즘과, 정굴절력의 렌즈군과, 이 렌즈군측에 오목면을 향하게 한 오목면 반사경을 가지며, 또한 한쪽의 공역점으로 부터의 광을 상기 제1반사 프리즘, 상기 렌즈군, 상기 오목면 반사경, 상기 렌즈군 및 상기 제2반사 프리즘의 순으로 경유시켜서 다른쪽의 공역점에 인도하는 다이슨형 광학계인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1결상 광학계의 공역점과 상기 제2결상 광학계의 공역점이 일치하는 위치에는 시야 조리개가 배치되고, 상기 제1결상 광학계와 제2결상 광학계와의 사이의 광로중에는, 굴절력이 가변인 배율 보정 광학계가 배치되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 시야 조리개의 개구부는, 노광 영역의 이동 방향에 따른 길이의 합이 상기 이동방향과 직행하는 방향에 있어서 항상 동등하게 되도록 규정되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 시야 조리개는 대략 활형상의 개구부를 가진 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1결상 광학계는 상기 제1물체의 중간상을 형성하고, 상기 제2결상 광학계는 상기 중간상을 상기 제2물체상에 재결상 시키는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1결상 광학계와 상기 제2결상 광학계와의 사이의 광로중에는, 상기 제1 및 제2결상 광학계 간의 광속에 대하여 경사 가능하게 설치된 평행 평면판이 배치되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1투영 광학계의 상기 제1결상 광학계와 상기 제2투영 광학계의 상기 제2결상 광학계가, 오목면 반사경과 볼록면 반사경을 가지며, 또한, 한쪽의 공역점으로부터의 광을 상기 오목면 반사경; 상기 볼록면 반사경 및 상기 오목면 반사경의 순서로 반사시켜서 다른쪽의 공역점에 인도하는 오프너형 광학계이며, 상기 제1투영 광학계의 상기 제2결상 광학계와 상기 제2투영 광학계의 상기 제1결상 광학계가 제1 및 제2반사 프리즘과, 정굴절력의 렌즈군과, 이 렌즈군측에 오목면을 향한 오목면 반사경을 가지며, 또한 한쪽의 공역점으로 부터의 광을 상기 제1반사 프리즘, 상기 렌즈군, 상기 오목면 반사경, 상기 렌즈군 및 상기 제2반사 프리즘의 순서로 경유시켜서 다른쪽의 공역점에 인도하는 다이슨형 광학계이며, 상기 제1결상 광학계는 상기 제1물체의 중간상을 형성하고, 상기 제2결상 광학계는 상기 중간상을 상기 제2물체상에 재결상시키는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1결상 광학계의 광축과 상기 제2결상 광학계의 광축이 편심되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1물체가 노광용 마스크이며, 상기 제2물체가 피노광기판인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1투영 광학계와 상기 제2투영 광학계가 상기 제1 및 제2물체의 이동 방향에 수직인 방향으로 번갈아 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950017375A 1994-06-23 1995-06-22 노광 장치 KR960001904A (ko)

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