JP6803483B2 - 光学系における倍率補正及び/又はビームステアリング - Google Patents
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- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 149
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 153
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 123
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 31
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 27
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 16
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 10
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 123
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000006855 networking Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
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- G02B17/0896—Catadioptric systems with variable magnification or multiple imaging planes, including multispectral systems
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B15/14—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective
- G02B15/16—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective with interdependent non-linearly related movements between one lens or lens group, and another lens or lens group
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/008—Systems specially adapted to form image relays or chained systems
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
- G02B17/0892—Catadioptric systems specially adapted for the UV
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/09—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted for automatic focusing or varying magnification
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/10—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification by relative axial movement of several lenses, e.g. of varifocal objective lens
- G02B7/102—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification by relative axial movement of several lenses, e.g. of varifocal objective lens controlled by a microcomputer
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B13/00—Viewfinders; Focusing aids for cameras; Means for focusing for cameras; Autofocus systems for cameras
- G03B13/18—Focusing aids
- G03B13/24—Focusing screens
- G03B13/26—Focusing screens with magnifiers for inspecting image formed on screen
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70191—Optical correction elements, filters or phase plates for controlling intensity, wavelength, polarisation, phase or the like
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70258—Projection system adjustments, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of projection system
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Description
本出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる、2017年6月19日に出願された「MAGNIFICATION COMPENSATION AND/OR BEAM STEERING IN OPTICAL SYSTEMS」という名称の米国仮特許出願第62/522,062号に対する優先権及び利益を主張するものである。
1つ以上の実施形態は、概して光学系に関し、より具体的には、例えば、光学系における倍率補正及びビームステアリングに関する。
極端1:最大対称倍率補正+最大非対称倍率補正
X+250ppm、Y+300ppm
極端2:最大対称倍率補正+最小非対称倍率補正
X+250ppm、Y+200ppm
極端3:最小対称倍率補正+最大非対称倍率補正
X−250ppm、Y−200ppm
極端4:最小対称倍率補正+最小非対称倍率補正
X−250ppm、Y−300ppm
Claims (25)
- 光学系であって、
物体に関連付けられた第1の放射線を受容し、前記物体の像に関連付けられた第2の放射線を像平面に向けて方向付けるように構成されている、レンズシステムを備え、
前記物体がマスクのパターンを含み、前記像平面がウェハ上に配置され、前記像が前記ウェハ上の前記物体の投影を含み、前記レンズシステムは、
前記第1の放射線を受容し、選択的に拡大するように構成されている、第1のレンズセットと、
前記第1のレンズセットを選択的に調整して、前記像に関連付けられた倍率を第1の方向及び第2の方向に沿って対称的に調整するように構成されている、アクチュエータシステムと、
前記第1のレンズセットによって選択的に拡大された前記第1の放射線を、少なくともビームステアリングレンズの傾斜に基づいて方向付けて、前記第2の放射線を提供するように構成されている、ビームステアリングレンズと、を含み、
前記アクチュエータシステムは、1つ以上の制御信号に応答して、前記ウェハが走査される際に前記ビームステアリングレンズの前記傾斜を調整するように更に構成され、
前記光学系は、前記第1の放射線を受容し、選択的に拡大するように構成されている第2のレンズセットを更に備え、前記アクチュエータシステムは、前記第2のレンズセットを選択的に調整し、前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って前記倍率を非対称的に調整するように更に構成されており、前記ビームステアリングレンズは、前記第1のレンズセット及び前記第2のレンズセットによって選択的に拡大された前記第1の放射線を、少なくとも前記ビームステアリングレンズの前記傾斜に基づいて方向付けて、前記第2の放射線を提供するように構成される、光学系。 - 複数のレンズを含むレンズアセンブリと、
前記第1の放射線を前記レンズアセンブリまで通過させるように構成されている、第1のプリズムであって、前記第1のレンズセットは、前記第1の放射線を前記第1のプリズムまで通過させるように構成されている、該第1のプリズムと、
前記レンズアセンブリの前記複数のレンズを介して前記第1のプリズムから前記第1の放射線を受容し、前記第1の放射線を反射するように構成されている、ミラーと、
前記レンズアセンブリの前記複数のレンズを介して前記ミラーから反射された前記第1の放射線を受容し、光路上の前記第1の放射線を前記ビームステアリングレンズ及び前記像平面に向けて方向付けるように構成されている、第2のプリズムと、を更に備える、請求項1に記載の光学系。 - 複数のレンズを含むレンズアセンブリと、
前記第1の放射線を前記レンズアセンブリまで通過させるように構成されている、第1のプリズムと、
前記レンズアセンブリの前記複数のレンズを介して前記第1のプリズムから前記第1の放射線を、前記レンズアセンブリの前記複数のレンズから直接受容し、前記第1の放射線を反射するように構成されている、ミラーと、
前記レンズアセンブリの前記複数のレンズを介して前記ミラーから反射された前記第1の放射線を受容し、光路上の前記第1の放射線を前記像平面に向けて方向付けるように構成されている、第2のプリズムと、を更に備え、
前記第1のレンズセットは、前記第1の放射線を前記第1のプリズムまで通過させるように構成されており、前記第2のプリズムは、前記第1の放射線を前記第2のレンズセットまで通過させるように構成されている、請求項1に記載の光学系。 - 前記アクチュエータシステムが、前記第2のレンズセットを調整して、前記第1の方向に沿った第1の倍率補正値を前記倍率に適用し、かつ、前記第2の方向に沿った第2の倍率補正値を前記倍率に適用するように構成されており、
前記第1の倍率補正値は、前記第2の倍率補正値と異なり、前記第1の方向は、前記第2の方向に直交している、請求項1に記載の光学系。 - 前記アクチュエータシステムが、前記第1のレンズセットの少なくとも1つのレンズを第1の位置から第2の位置に、及び/又は、前記第2のレンズセットの少なくとも1つのレンズを第3の位置から第4の位置に移動させて、前記倍率を調整するように構成されている、請求項1に記載の光学系。
- 前記第2のレンズセットが単レンズを含み、前記アクチュエータシステムが、前記単レンズを屈曲及び/又は回転させて、前記倍率を調整するように構成されている、請求項1に記載の光学系。
- 前記光学系が、リソグラフィシステムであり、
前記光学系が、前記ウェハの位置に対する前記マスクの位置に少なくとも基づく前記倍率に対する調整に関連付けられた、前記1つ以上の制御信号を生成するように構成されている倍率コントローラを更に備え、
前記1つ以上の制御信号が、前記ビームステアリングレンズの前記傾斜の調整に関連付けられ、前記ウェハの位置に対する前記マスクの位置に少なくとも基づく前記倍率に対する調整に関連付けられ、
前記アクチュエータシステムが、前記1つ以上の制御信号を受信し、前記1つ以上の制御信号に応答して前記倍率の調整を引き起こすように構成されている、請求項1に記載の光学系。 - 前記マスクの前記位置に対する前記ウェハの前記位置を調整して、前記ウェハ上の前記像の位置を遷移させるように構成されている、ウェハ位置決めコントローラを更に備える、請求項7に記載の光学系。
- 前記レンズシステムは、前記パターンのそれぞれの部分を前記ウェハのそれぞれの部分上に投影するように構成されており、
前記アクチュエータシステムは、前記1つ以上の制御信号に応答して、前記ウェハの動きと更に協調して
前記ビームステアリングレンズの前記傾斜を調整するように更に構成されており、
前記ウェハのそれぞれの部分は、前記ビームステアリングレンズのそれぞれの傾斜に関連付けられている、請求項7に記載の光学系。 - 方法であって、
物体に関連付けられた第1の放射線を受容するステップであって、前記物体がマスクのパターンを含む、該ステップと、
選択的に拡大された第1の放射線を得るために、前記第1の放射線を少なくとも第1のレンズセットを通して方向付けるステップであって、前記第1の放射線を方向付ける前記ステップ中に、前記第1のレンズセットを選択的に調整して、前記物体の像に関連付けられた倍率を第1の方向及び第2の方向に沿って対称的に調整し、前記像がウェハ上の前記物体の投影を含み、前記ウェハ上に像平面が配置される、該ステップと、
前記ウェハが走査される際にビームステアリングレンズの傾斜を調整することによって、前記像平面に向かう第2の放射線を提供するために、前記選択的に拡大された第1の放射線を方向付けるステップでと、を含み、
前記第1の放射線を方向付ける前記ステップが、前記選択的に拡大された第1の放射線を得るために、前記第1の放射線を少なくとも前記第1のレンズセット及び第2のレンズセットを通して方向付けるステップを含み、前記第1の放射線を方向付ける前記ステップ中に、前記第2のレンズセットを選択的に調整して、前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って前記倍率を非対称的に調整するステップを含む、方法。 - 前記第2のレンズセットを選択的に調整するステップが、前記第2のレンズセットを選択的に調整して、前記第1の方向に沿った第1の倍率補正値を前記倍率に適用し、かつ、前記第2の方向に沿った、前記第1の倍率補正値とは異なる第2の倍率補正値を前記倍率に適用するステップを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記第1のレンズセットが複数のレンズを含み、前記第1のレンズセットを選択的に調整するステップが、前記複数のレンズのうちの少なくとも2つの間の距離を調整するステップを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記選択的に拡大された第1の放射線を方向付ける前記ステップが、前記パターンのそれぞれの部分を前記ウェハのそれぞれの部分上に投影するステップを含む、請求項10に記載の方法。
- 少なくとも前記ウェハの位置に対する前記マスクの位置に基づく前記倍率に対する調整に関連付けられた、1つ以上の制御信号を生成するステップであって、前記第1のレンズセットを選択的に調整するステップは、前記1つ以上の制御信号に基づく、該ステップを更に含み、
前記調整するステップは、前記1つ以上の制御信号に応答し、
前記ウェハのそれぞれの部分は、前記ビームステアリングレンズのそれぞれの傾斜に関連付けられている、請求項13に記載の方法。 - 方法であって、
物体に関連付けられた放射線を受容するステップと、
少なくとも第1のレンズセット及び第2のレンズセットを通して、前記放射線を像平面に向けて方向付けるステップであって、前記方向付けるステップの間に、
前記第1のレンズセットを選択的に調整して、前記物体の像に関連付けられた倍率を第1の方向及び第2の方向に沿って対称的に調整するステップと、
前記第2のレンズセットを選択的に調整して、前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って前記倍率を非対称的に調整するステップと、を含む、該ステップと、を含む、方法。 - 前記物体が、マスクのパターンを含み、
前記像平面が、ウェハを含み、
前記像が、前記ウェハ上の前記物体の投影を含み、
前記放射線を方向付ける前記ステップが、前記パターンのそれぞれの部分を前記ウェハのそれぞれの部分上に投影するステップを含む、請求項15に記載の方法。 - 少なくとも前記ウェハの位置に対する前記マスクの位置に基づいて、1つ以上の制御信号を生成するステップと、
前記1つ以上の制御信号に応答してビームステアリングレンズの傾斜を調整するステップであって、前記ウェハのそれぞれの部分は、前記ビームステアリングレンズのそれぞれの傾斜に関連付けられている、該ステップと、を更に含む、請求項16に記載の方法。 - 光学系であって、
物体に関連付けられた第1の放射線を受容し、前記物体の像に関連付けられた第2の放射線を像平面に向けて方向付けるように構成されている、レンズシステムを備え、前記レンズシステムは、
前記第1の放射線を受容し、選択的に拡大するように構成されている、第1のレンズセットと、
前記第1の放射線を受容し、選択的に拡大するように構成されている、第2のレンズセットと、
アクチュエータシステムであって、
前記第1のレンズセットを選択的に調整して、前記像に関連付けられた倍率を第1の方向及び第2の方向に沿って対称的に調整するように、かつ
前記第2のレンズセットを選択的に調整して、前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って前記倍率を非対称的に調整するように構成されている、該アクチュエータシステムと、を含む、光学系。 - 前記レンズシステムが、前記第1の放射線を少なくともビームステアリングレンズの傾斜に基づいて方向付けて、前記第2の放射線を提供するように構成されている、ビームステアリングレンズを更に含み、前記ビームステアリングレンズの前記傾斜は、前記アクチュエータシステムによって調整可能である、請求項18に記載の光学系。
- 複数のレンズを含むレンズアセンブリと、
前記第1の放射線を前記レンズアセンブリまで通過させるように構成されている、第1のプリズムと、
前記レンズアセンブリの前記複数のレンズを介して前記第1のプリズムから前記第1の放射線を受容し、前記第1の放射線を反射するように構成されている、ミラーと、
前記レンズアセンブリの前記複数のレンズを介して前記ミラーから反射された前記第1の放射線を受容し、光路上の前記第1の放射線を前記像平面に向けて方向付けるように構成されている、第2のプリズムと、を更に備える、請求項18に記載の光学系。 - 前記第1のレンズセットが、前記第1の放射線を前記第1のプリズムまで通過させるように構成されており、前記第2のプリズムが、前記第1の放射線を前記第2のレンズセットまで通過させるように構成されている、請求項20に記載の光学系。
- 前記アクチュエータシステムが、前記第2のレンズセットを調整して、前記第1の方向に沿った第1の倍率補正値を前記倍率に適用し、かつ、前記第2の方向に沿った第2の倍率補正値を前記倍率に適用するように構成されており、
前記第1の倍率補正値は、前記第2の倍率補正値と異なり、
前記第1の方向は、前記第2の方向に直交している、請求項18に記載の光学系。 - 前記アクチュエータシステムが、前記第1のレンズセットの少なくとも1つのレンズを第1の位置から第2の位置に、及び/又は、前記第2のレンズセットの少なくとも1つのレンズを第3の位置から第4の位置に移動させて、前記倍率を調整するように構成されている、請求項18に記載の光学系。
- 前記光学系が、リソグラフィシステムであり、
前記物体が、マスクのパターンを含み、
前記像平面が、ウェハを含み、
前記像が、前記ウェハ上の前記物体の投影を含む、請求項18に記載の光学系。 - 少なくともビームステアリングレンズの傾斜に基づいて、前記第2の放射線を提供するように構成されている、ビームステアリングレンズを更に含み、
前記レンズシステムは、前記パターンのそれぞれの部分を前記ウェハのそれぞれの部分上に投影するように構成されており、
前記アクチュエータシステムは、1つ以上の制御信号に応答して前記ビームステアリングレンズの傾斜を調整するように更に構成されており、
前記ウェハのそれぞれの部分は、前記ビームステアリングレンズのそれぞれの傾斜に関連付けられている、請求項24に記載の光学系。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762522062P | 2017-06-19 | 2017-06-19 | |
US62/522,062 | 2017-06-19 | ||
PCT/US2018/038119 WO2018236770A1 (en) | 2017-06-19 | 2018-06-18 | MAGNIFICATION AND / OR BEAM ORIENTATION COMPENSATION IN OPTICAL SYSTEMS |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020524309A JP2020524309A (ja) | 2020-08-13 |
JP6803483B2 true JP6803483B2 (ja) | 2020-12-23 |
Family
ID=62842324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019572844A Active JP6803483B2 (ja) | 2017-06-19 | 2018-06-18 | 光学系における倍率補正及び/又はビームステアリング |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10539770B2 (ja) |
EP (1) | EP3642674B1 (ja) |
JP (1) | JP6803483B2 (ja) |
KR (1) | KR102290482B1 (ja) |
CN (1) | CN110998453A (ja) |
PT (1) | PT3642674T (ja) |
TW (1) | TWI706158B (ja) |
WO (1) | WO2018236770A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11175487B2 (en) * | 2017-06-19 | 2021-11-16 | Suss Microtec Photonic Systems Inc. | Optical distortion reduction in projection systems |
US11835838B2 (en) | 2017-10-27 | 2023-12-05 | Exciting Technology LLC | System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering |
US10845671B2 (en) | 2017-10-27 | 2020-11-24 | Exciting Technology, Llc | System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering |
US11835841B2 (en) | 2017-10-27 | 2023-12-05 | Exciting Technology LLC | System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering |
US11169425B2 (en) | 2018-10-23 | 2021-11-09 | Exciting Technology, Llc | System, method and apparatus for non-mechanical optical and photonic beam steering |
CN110646091B (zh) * | 2019-10-08 | 2021-08-20 | 中国科学院光电研究院 | 一种采用自由曲面的大视场Dyson光谱成像系统 |
US20230038746A1 (en) | 2020-04-17 | 2023-02-09 | Exciting Technology LLC | System, method, and apparatus for high precision light beam steering using a triplet lens |
CN115668028A (zh) * | 2020-04-17 | 2023-01-31 | 雀跃科技有限责任公司 | 偏心透镜光束转向 |
CN111399202B (zh) * | 2020-05-12 | 2020-12-15 | 西安交通大学 | 无零级衍射光的空间光调制器耦合装置 |
US20220014682A1 (en) * | 2020-07-08 | 2022-01-13 | Cognex Corporation | System and method for extending depth of field for 2d vision system cameras in the presence of moving objects |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3610597B2 (ja) * | 1994-07-29 | 2005-01-12 | 株式会社ニコン | 露光装置及び方法 |
US5729331A (en) | 1993-06-30 | 1998-03-17 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, optical projection apparatus and a method for adjusting the optical projection apparatus |
JP3451721B2 (ja) * | 1994-06-06 | 2003-09-29 | 株式会社ニコン | 投影光学装置及びそれを備えた露光装置並びにその調整方法 |
JPH088169A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Nikon Corp | 露光装置 |
US5559629A (en) | 1994-08-19 | 1996-09-24 | Tamarack Scientific Co., Inc. | Unit magnification projection system and method |
US5557469A (en) * | 1994-10-28 | 1996-09-17 | Ultratech Stepper, Inc. | Beamsplitter in single fold optical system and optical variable magnification method and system |
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US7301605B2 (en) * | 2000-03-03 | 2007-11-27 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus and method, catadioptric optical system and manufacturing method of devices |
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US7924406B2 (en) | 2005-07-13 | 2011-04-12 | Asml Netherlands B.V. | Stage apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method having switch device for two illumination channels |
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EP2126636B1 (en) * | 2007-01-30 | 2012-06-13 | Carl Zeiss SMT GmbH | Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus |
WO2009008999A1 (en) | 2007-07-06 | 2009-01-15 | Enodis Corporation | System and method for distributing air within a display case |
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JP5850267B2 (ja) * | 2010-08-30 | 2016-02-03 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 |
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EP2876498B1 (en) * | 2013-11-22 | 2017-05-24 | Carl Zeiss SMT GmbH | Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus |
WO2016045945A1 (en) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | Asml Netherlands B.V. | Inspection apparatus and device manufacturing method |
CN105549327B (zh) * | 2014-10-29 | 2018-03-02 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 曝光装置的调整装置及调整方法 |
US10453758B2 (en) * | 2016-03-01 | 2019-10-22 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus to determine a patterning process parameter using an asymmetric optical characteristic distribution portion |
-
2018
- 2018-06-18 CN CN201880052979.3A patent/CN110998453A/zh active Pending
- 2018-06-18 KR KR1020207001353A patent/KR102290482B1/ko active IP Right Grant
- 2018-06-18 JP JP2019572844A patent/JP6803483B2/ja active Active
- 2018-06-18 US US16/011,564 patent/US10539770B2/en active Active
- 2018-06-18 PT PT187381702T patent/PT3642674T/pt unknown
- 2018-06-18 EP EP18738170.2A patent/EP3642674B1/en active Active
- 2018-06-18 WO PCT/US2018/038119 patent/WO2018236770A1/en unknown
- 2018-06-19 TW TW107120991A patent/TWI706158B/zh active
-
2020
- 2020-01-16 US US16/745,273 patent/US11209635B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201905535A (zh) | 2019-02-01 |
PT3642674T (pt) | 2023-05-02 |
TWI706158B (zh) | 2020-10-01 |
KR20200020812A (ko) | 2020-02-26 |
JP2020524309A (ja) | 2020-08-13 |
CN110998453A (zh) | 2020-04-10 |
US10539770B2 (en) | 2020-01-21 |
WO2018236770A1 (en) | 2018-12-27 |
US11209635B2 (en) | 2021-12-28 |
EP3642674A1 (en) | 2020-04-29 |
US20200150409A1 (en) | 2020-05-14 |
EP3642674B1 (en) | 2023-03-15 |
US20180364463A1 (en) | 2018-12-20 |
KR102290482B1 (ko) | 2021-08-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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