KR960024679A - 노광촛점 검사용 마스크 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 노광촛점검사용 마스크로서, 마스크기판의 일측 표면에 다수개의 단차가 형성되고 각각의 단차부분에 검사용 패턴이 형성된 것이 특징이다. 이 단차는 약 10마이크로미터 정도로 한다.
노광 촛점 검사 방법으로는 표면에 다수개의 단차를 형성한 마스크를 사용하여 일회의 노광공정을 실시하는 단계와, 이 노광공정으로 웨이퍼에 형성된 패턴이 디파인 된 값을 검사하는 단계를 포함한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 마스크를 설명하기 위한 도면이다.
Claims (3)
- 노광촛점 검사용 마스크에 있어서, 마스크기판의 일측 표면에 다수개의 단차가 형성되고 각각의 단차부분에 검사용 패턴이 형성된 것이 특징인 노광촛점 검사용 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 단차는 약 10마이크로미터 정도로 한 것이 특징인 노광촛점 검사용 마스크.
- 노광 촛점 검사 방법에 있어서, 표면에 다수개의 단차를 형성한 마스크를 사용하여 일회의 노광공정을 실시하는 단계와, 상기 노광공정으로 웨이퍼에 형성된 패턴이 디파인 된 값을 검사하는 단계를 포함하여 구성된 것이 특징인 노광 촛점 검사 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940033045A KR960024679A (ko) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | 노광촛점 검사용 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940033045A KR960024679A (ko) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | 노광촛점 검사용 마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960024679A true KR960024679A (ko) | 1996-07-20 |
Family
ID=66687983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940033045A KR960024679A (ko) | 1994-12-07 | 1994-12-07 | 노광촛점 검사용 마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960024679A (ko) |
-
1994
- 1994-12-07 KR KR1019940033045A patent/KR960024679A/ko not_active Application Discontinuation
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