KR950025885A - 노광마스크 형성방법 - Google Patents
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- KR950025885A KR950025885A KR1019940001951A KR19940001951A KR950025885A KR 950025885 A KR950025885 A KR 950025885A KR 1019940001951 A KR1019940001951 A KR 1019940001951A KR 19940001951 A KR19940001951 A KR 19940001951A KR 950025885 A KR950025885 A KR 950025885A
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Abstract
본 발명은 노광마스크 형성방법에 관한 것으로, 설계시 형성하고자하는 패턴의 모서리부분을 이빔장치를 고려하여 보상함으로써, 라운딩형산에 의한 문제점을 해결함과 동시에 공정여유를 높일 수 있는 노광마스크를 형성하여 마스크의 특성을 살리고 균일도가 높은 패턴을 형성할 수 있어 반도체 소자의 신뢰성 및 수율을 향상시키는 기술이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 내지 제2C도는 본 발명의 실시예에 의한 노광마스크 형성공정을 도시한 도면,
제3A도 내지 제3B도는 본 발명의 다른 실시예에 의한 노광마스크 형성공정을 도시한 도면.
Claims (2)
- 노광마스크 설계시 모서리부분을 볼록하도록 형성하는 것을 특징으로 하는 노광마스크 형성방법.
- 제1항에 있어서, 상기 모서리부분은 이빔장치를 이용하여 노광할 때 볼록하게 스폿(spot)이 네 개 더 들어갈 수 있도록 설계하는 것을 특징으로 하는 노광 마스크 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940001951A KR950025885A (ko) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 노광마스크 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940001951A KR950025885A (ko) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 노광마스크 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950025885A true KR950025885A (ko) | 1995-09-18 |
Family
ID=66663144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940001951A KR950025885A (ko) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 노광마스크 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950025885A (ko) |
-
1994
- 1994-02-03 KR KR1019940001951A patent/KR950025885A/ko not_active Application Discontinuation
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