KR910019154A - 안티패턴효과패턴을 이용한 반도체장치의 식각방법 - Google Patents
안티패턴효과패턴을 이용한 반도체장치의 식각방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 식각방법으로 테스트칩의 패턴을 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면, 제4도는 본발명에 따른 식각방법으로 오토얼라인키 영역에서의 패턴효과 발생을 방지하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
Claims (2)
- 소자칩의 패턴(1)과 테스트칩의 패턴(2)을 형성하기 위한 식각공정 이전에 소자칩의 패턴(1) 각각에서의 식각면적을 기준으로 하여 특수패턴의 마스크(MK)를 디자인하고, 이 마스크(MK)를 테스트칩의 패턴(2)을 형성할 영역상에 마스킹하여 소자 칩의 패턴(1)들 각각의 식가면적과 테스트칩의 패턴(2) 형성영역에서의 식각면적이 동일하게 되도록 한 다음 식각공정을 실시함을 특징으로 하는 안티패턴 효과 패턴을 이용한 반도체장치의 식각방법.
- 소자칩의 패턴(1)과 오토얼라인키(K,K')를 형성하기 위한 식각공정 이전에 소자칩의 패턴(1)각각에서의 식각면적을 기준으로 하여 특수패턴의 마스크(MK)를 디자인하고, 이 마스크(MK)를 상기 오토얼라인키(K,K′)중 기사용된 얼라인키(K)의 영역 위에 마스킹하여 소자칩의 패턴(1)들 각각의 식각면적과 오토얼라인키(K,K′)형성 영역의 식각면적이 동일하게 되도록한후 식각공정을 실시함을 특징으로 하는 안티패턴효과 패턴을 이용한 반도체장치의 식각방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900005003A KR910019154A (ko) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 안티패턴효과패턴을 이용한 반도체장치의 식각방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900005003A KR910019154A (ko) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 안티패턴효과패턴을 이용한 반도체장치의 식각방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910019154A true KR910019154A (ko) | 1991-11-30 |
Family
ID=67470021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900005003A KR910019154A (ko) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 안티패턴효과패턴을 이용한 반도체장치의 식각방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR910019154A (ko) |
-
1990
- 1990-04-11 KR KR1019900005003A patent/KR910019154A/ko not_active Application Discontinuation
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