KR960035153A - 투영 노광 방법, 이에 사용되는 마스크 - Google Patents

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Abstract

마스크의 인접한 패턴간에 위상차를 둠으로써 해상도를 높이는 투영 노광 방법, 이에 사용되는 마스크에 관하여 개시한다. 본 발명은 바스크를 이용한 노광 대상물의 투영 노광 방법에 있어서, 광원으로부터 조사되어 상기 마스크를 통과하는 광의 경로상에 수직한 방향과 소정의 각도로 경사진 투명한 마스크 기판과 상기 마스크 기판의 하면에 규칙적으로 형성되어 있는 차광막 패턴을 이용하여, 인접한 마스크 패턴들 사이에 위상차를 갖게 하여 상기 노광 대상물을 노광하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 주어진 광원의 파장 및 개구수에서 마스크의 피치에 대한 주파수차를 작게하여 패턴형성가능한 최소피치를 광원의 단파장화 또는 렌즈의 개구수를 크게하지 않고 줄일 수 있다.

Description

투영 노광 방법, 이에 사용되는 마스크
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도는 본 발명에 의하여 경사진 마스크 기판을 갖는 해상도 개선 마스크를 이용한 투영노광방법을 설명하기 위하여 도시한 도면들이다.

Claims (5)

  1. 마스크를 이용한 노광 대상물의 투영 노광 방법에 있어서, 광원으로부터 조사되어 상기 마스크를 통과하는 광의 경로상에 수직한 방향과 소정의 각도로 경사진 투명한 마스크 기판과 상기 마스크 기판의 하면에 규칙적으로 형성되어 있는 차광막 패턴을 이용하여, 인접한 마스크 패턴들 사이에 위상차를 갖게 하여 상기 노광대상물을 노광하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 위상차는 ndtan θ(n은 마스크 기판의 굴절율, d는 마스크의 피치, θ는 마스크 기판의 경사진 각도)인 것을 특징으로 하는 투영 노광 방법.
  3. 상면이 광경로상에 수직한 방향과 소정의 각도로 경사진 투명한 마스크 기판; 및 상기 마스크 기판의 하면에 규칙적으로 형성되어 있는 차광막 패턴을 구비하여, 상기 경사진 마스크 기판으로 인하여 인접한 마스크 패턴들 사이에 위상차를 갖게 하는 것을 특징으로 하는 마스크.
  4. 제3항에 있어서, 상기 위상차는 ndtan θ(n은 마스크 기판의 굴절율, d는 마스크의 피치, θ는 마스크 기판의 경사진 각도)인 것을 특징으로 하는 마스크.
  5. 제1면이 광경로상에 수직한 방향과 소정의 각도로 경사진 투명한 마스크 기판; 및 상기 마스크 기판의 제2면에 규칙적으로 형성되어 있는 차광막 패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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