KR950021037A - 반도체 노광장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 노광장치에 관한 것으로서, 광원과 노광미스로의 사이에 반사광을 0차 및 1차로 분리하는 반사형 회절마스크를 설치하며, 상기 반사형 회절 마스크는 석영기판 상에 노광 마스크의 광차단막 패턴과 대응되는 홈 패턴이 입사광의 위상을 반전시키는 깊이로 형성되어 있고, 석영기판의 뒷면에 반사막이 형성되어 있다. 상기의 반사형 회절 마스크는 입사광의 각도를 조절하면 위상반전과 가간섭에 의해 반사광이 0차와1차광으로 이루어져 사입사광의 효과를 얻을 수 있으므로, 광분해능 및 촛점심도가 증가되어 미세패턴 형성이 용이다.

Description

반도체 노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 반사형 회절마스크를 설명하기 위한 개략도.
제3도는 제2도의 반사형 회절마스크를 통과한 빛의 위치에 따른 세기를 도시한 그래프.
제4도는 (A)~(C)는 제2도의 반사형 회절마스크의 제조공정도.

Claims (1)

  1. 광원에서 방사되는 빛을 집광하는 플라이 아이랜즈와, 상기 플라이 아이랜즈를 통과한 빛을 소정영역에서만 통과시켜 노광마스크에 입사되도록 하는 어퍼쳐와, 상기 어퍼쳐를 통과한 빛이 상을 갖도록 소정의 광차단막 패턴이 형성되어 있는 노광마스크와, 상기 노광마스크를 통과한 빛의 상을 소정비율로 축소시켜 웨이퍼에 전사시키는 프로잭션 랜즈를 구비하는 반도체 노광장치에 있어서, 상기 광원과 노광마스크의 사이에 설치되며, 투명기판 상부에 반사광의 위상이 0차와 1차가 되도록 소정형상의 홈들이 패턴으로 예정된 부분에 형성되어 있고, 투명기판의 하부에 반사막이 형성되어 있는 반사형 회절마스크를 구비하는 반도체 노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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