KR970052719A - 기판 세정방법 및 그 장치 - Google Patents

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Abstract

기판세정장치가, 기판을 빙점이하로 냉각하는 냉각시스템과, 냉각수단에 의해 냉각된 기판의 표면에 안개 상태의 물을 포함한 가스를 공급하여 상기 기판의 표면상에 얼음이 형성되도록 하는 습식가스 공급시스템과, 기판의 표면상에 형성된 얼음을 제거하는 얼음 제거부를 구비한다. 이 장치는 비교적 큰 오염입자 뿐만 아니라 미세한 오염입자도 기판으로부터 제거된다.

Description

기판세정방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정장치의 구조를 나타내는 개략도.

Claims (20)

  1. 기판을 빙점 이하로 냉각시키는 단계와; 빙점 이하로 냉각된 상기 기판의 표면에 안개상태의 물을 포함하는 가스를 공급하여 상기 기판 표면에 얼음을 형성시키는 단계와; 상기 기판의 표면상에 형성된 얼음을 제거하는 단계를 구비하는 기판 세정방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판은 빙점이하로 냉각된 냉각판 상에 놓여짐으로써 냉각되는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 얼음은 상기 기판의 표면상에 고압으로 가스를 분사함으로써 제거되는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 얼음은 상기 기판의 표면 상에 고압으로 가스를 분사함으로써 제거되는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 기판은 고압가스의 분사중 회전하는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
  6. 제4항에 있어서, 고압가스에 의해 얼음이 제거되는 단계후에 상기 기판의 표면에 순수를 스프레이하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
  7. 제1항에 있어서, 안개상태의 물을 포함한 상기 가스는 질소가스를 안개상태의 순수와 혼합함으로써 만들어지는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
  8. 기판을 빙점이하로 냉각시키는 냉각수단과; 냉각수단에 의해 냉각된 상기 기판의 표면에 안개상태의 물을 포함하는 가스를 공급하여 상기 기판의 표면에 얼음을 형성시키는 습식가스 공급수단과; 상기 기판의 표면상에 형성된 얼음을 제거하는 얼음 제거수단을 구비하는 기판 세정장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 냉각수단은, 상기 기판이 놓여지는 냉각판과; 냉매를 흘리기 위해 상기 냉각판내에 마련되는 튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 냉매는 액화 질소인 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 습식가스 공급수단은 안개상태의 물을 포함하는 질소가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 습식가스 공급수단은, 질소가스를 공급하는 질소가스 공급기와; 안개상태의 순수를 공급하는 순수 안개공급기와; 상기 질소가스와 상기 안개상태의 순수를 혼합하는 혼합기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 얼음 제거수단은 고압 가스분사기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 얼음 제거수단은, 상기 기판을 지지하는 회전 지지대와; 상기 회전지지대를 회전시키는 구동기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 얼음 제거수단은 상기 기판의 표면에 순수를 공급하는 순수공급기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  16. 제8항에 있어서, 상기 습식가스 공급수단은 안개상태의 물을 포함하는 질소가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 습식가스 공급수단은, 질소가스를 공급하는 질소가스 공급기와; 안개상태의 순수를 공급하는 순수 안개공급기와; 상기 질소가스와 상기 안개상태의 순수를 혼합하는 혼합기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  18. 제8항에 있어서, 상기 얼음 제거수단은 고압 가스분사기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  19. 제8항에 있어서, 상기 냉각수단 및 상기 기판을 둘러싸는 밀봉용기와; 상기 밀봉용기의 내부를 진공으로 만드는 진공장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  20. 제19항에 있어서, 건조가스를 밀봉용기 내로 공급하는 건조가스 공급기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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