KR970016801A - 양호한 포토레지스트 패턴을 얻을 수 있는 사진 묘화 공정 - Google Patents
양호한 포토레지스트 패턴을 얻을 수 있는 사진 묘화 공정 Download PDFInfo
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- KR970016801A KR970016801A KR1019950032951A KR19950032951A KR970016801A KR 970016801 A KR970016801 A KR 970016801A KR 1019950032951 A KR1019950032951 A KR 1019950032951A KR 19950032951 A KR19950032951 A KR 19950032951A KR 970016801 A KR970016801 A KR 970016801A
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Abstract
꼬리가 없는 양호한 포토레지스트 패턴을 얻을 수 있는 사진 묘화 공정에 관하여 개시한다. 본 발명은 물질층 위에 포토레지스트 패턴을 형성하는 사진 묘화 공정에 있어서, 상기 물질층과 상기 포토레지스트 패턴 사이에 보조 물질층을 삽입하여 꼬리가 없는 포토레지스트 패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여 보조 물질층으로 사용한 실리콘 산화막 위에 꼬리가 없는 양호한 포토레지스트 패턴을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 4도 내지
제 7도는 본 발명을 SEPOX 공정에 적용하여 양호한 포토레지스트 패턴을 형성하는 과정을 보여주는 단면도들이다.
Claims (2)
- 물질층 위에 포토레지스트 패턴을 형성하는 사진 묘화 공정에 있어서, 상기 물질층과 상기 포토레지스트 패턴 사이에 보조 물질층을 삽입하여 꼬리가 없는 포토레지스트 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 사진 묘화 공정.
- 제 1항에 있어서, 상기 보조 물질층은 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 사진 묘화 공정.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950032951A KR970016801A (ko) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 양호한 포토레지스트 패턴을 얻을 수 있는 사진 묘화 공정 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950032951A KR970016801A (ko) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 양호한 포토레지스트 패턴을 얻을 수 있는 사진 묘화 공정 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970016801A true KR970016801A (ko) | 1997-04-28 |
Family
ID=66616493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950032951A KR970016801A (ko) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 양호한 포토레지스트 패턴을 얻을 수 있는 사진 묘화 공정 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970016801A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150025979A (ko) * | 2013-08-30 | 2015-03-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 포토 레지스트 필름 및 이를 이용하는 유기발광디스플레이장치의 제조 방법 |
-
1995
- 1995-09-29 KR KR1019950032951A patent/KR970016801A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150025979A (ko) * | 2013-08-30 | 2015-03-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 포토 레지스트 필름 및 이를 이용하는 유기발광디스플레이장치의 제조 방법 |
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