KR970013441A - 유기 발광 다이오드 매트릭스 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
다양한 소재가 기판 상에 포토 레지스트층을 형성하는 방법 및 포토 레지스트 상에 금속층을 형성하는 방법에 의해 기판상에 패터닝 된다. 포토 레지스트(층)는 기판이 일부를 노광시키는 개구부를 규정하기 위해 패터닝 되고, 금속(층)은 상기 개구보다 작은 구멍을 만들기 위해 패터닝 되어, 기판의 노광면을 쉐도우 영역과 넌쉐우 영역으로 나눈다. 제1소재 시스템은 통상 넌쉐도우 영역의 기판면에 제1유기 발광 다이오드를 형성하기 위해 통상 개구부에 수직으로 증착되고, 제2소재 및 제3소재 시스템은 쉐도우 영역에 제2 및 제3 유기 발광 다이오드를 형성하기 위해 개구부에 임의의 각도로 증착된다. 보호막 소재는 제1다이오드에는 직각으로 제2다이오드에는 임의의 각도로 증착된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도7은 본 발명에 따른 유기 소재 시스템의 칼라 다이오드의 증착을 나타내는 개략 종단면도.
Claims (5)
- 소재 부품을 지지 기판 상에 패터닝하는 방법에 있어서, 지지 기판을 제공하는 단계와, 기판 상에 제1소재층, 제1소재층 상에 제2소재층을 형성하는 단계와, 넌쉐도우 영역의 기판면 상에 제1소재 시스템의 부품을 형성하도록 개구부에 수직인 제1소재 시스템의 증착 및 쉐도우 영역의 기판면 상에 제2소재 시스템의 부품을 형성하도록 개구부에 임의의 각도로 제2소재 시스템을 증착하는 단계를 구비하며, 상기 제1소재층은 기판면의 일부를 노광시키는 제1횡방향 크기를 가지는 개구부를 규정하며 제2소재층은 제1횡방향 가로 크기보다 작은 제2횡방향 크기를 가지는 구멍을 규정하며, 상기 제2소재층은 기판의 노광면을 쉐도우 영역과 넌 쉐도우 영역으로 나누기 위해 개구부 내의 기판의 노광면의 일부를 덮는 것을 특징으로 하는 소재 부품을 소재 기판 상에 패터닝하는 방법.
- 세가지 소재 부품을 지지 기판에 패터닝 하는 방법에 있어서, 지지 기판을 제공하는 단계와, 기판 상에 제1소재층과 제1소재층 상에 제2소재층을 형성하는 단계와, 넌쉐도우 영역의 기판 상에 제1소재 시스템의 부품을 형성하도록 구멍에 수직인 제1소재 시스템을 증착하는 단계와, 제1쉐도우 영역의 기판 상에 제2소재 시스템의 부품을 형성하도록 구멍에 임의의 각도로 제2소재 시스템을 증착하는 단계와, 제2쉐도우 영역의 기판 상에 제3소재 시스템의 부품을 형성하도록 개구부에 또 다른 임의의 각도로 제3소재 시스템을 증착하는 단계를 구비하며, 상기 제1소재층은 기판의 일부를 노광시키는 제1횡방향 크기를 가지는 개구부를 규정하며 제2소재층은 제1횡방향 크기보다 작은 제2횡방향 크기를 가지는 구멍을 규정하며, 상기 제2소재층은 노광된 기판을 제1쉐도우 영역, 넌 쉐도우 영역 및 제2쉐도우 영역으로 분리하기 위해 개구부내의 노광 기판의 일부를 덮으며, 상기 제1소재 시스템은 제1칼라 유기발광 다이오드를 형성하며, 상기 제2소재 시스템은 제2칼라 유기 발광 다이오드를 형성하며, 상기 제3소재 시스템은 제3칼라 유기 발광 다이오드를 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 지지 기판 상에 유기 발광체를 포함하는 소재 시스템의 부품을 패터닝 및 보호막을 씌우는 방법에 있어서, 지지 기판을 제공하는 단계와, 기판 상의 제거 가능한 소재층과 상기 제거 가능한 소재층 상의 금속층을 형성하는 단계와, 넌쉐도우 영역의 기판 상에 유기 발광체를 포함한 제1소재 시스템을 형성하도록 개구부에 수직인 제1소재 시스템의 증착과 쉐도우 영역의 기판상에 유기 발광체를 포함하는 제2소재 시스템을 형성하도록 개구부에 임의의 각도로 제2소재 시스템을 증착하는 단계와, 제1소재 시스템 상에 보호막을 형성하도록 개구부에 수직인 보호막 소재의 증착과 제2소재 시스템 상에 보호막을 형성하도록 구멍에 임의의 각도로 보호막 소재를 증착하는 단계와, 제거 가능한 소재의 제1층 및 제거 가능한 소재층 상에 제2금속층을 제거하는 단계를 구비하며, 상기 제거 가능한 소재층은 기판의 일부를 노광시키는 제1횡방향 크기를 가지는 개구부를 규정하며, 상기 금속층은 제1횡방향 크기보다 작은 제2횡방향 크기를 가지는 구멍을 규정하며, 상기 금속층은 노광 기판을 쉐도우 영역과 넌쉐도우 영역으로 분리하도록 개구부내의 기판의 일부분을 덮는 것을 특징으로 하는 지지 기판 상에 유기 발광체를 포함하는 소재 시스템의 부품을 패터닝 및 보호막을 씌우는 방법.
- 지지 기판 상에 위치한 소재의 증착물에 보호막을 씌우는 방법에 있어서, 지지 기판을 그 위에 위치된 소재 증착물로 제공하는 단계와, 기판 상에 제1소재층과 상기 제1소재층 상에 제2소재층을 개구부의 수직인 방향으로 말단에 위치한 소스로부터 보호 물질을 증착하고, 말단에 위치한 소스 또는 증착 소재 상에 보호막을 형성하도록 수직 방향 둘레에 기판 중의 하나를 흔드는 단계를 구비하며, 상기 제1소재층은 증착 소재보다 큰 제1횡방향 크기를 가지는 개구부를 형성하고 증착 소재를 노광하고, 제2소재층은 제1횡방향 크기보다 작은 제2횡방향 크기를 가지는 구멍을 규정하며 증착 소재를 씌우는 것을 특징으로 하는 지지 기판 상에 위치한 소재의 증착물에 보호막을 씌우는 방법.
- 지지 기판 상에 위치한 소재 부품에 보호막을 씌우는 방법에 있어서, 지지 기판을 그 위에 위치한 소재 부품으로 제공하는 단계와, 기판 상에 제1소재층과 제1소재층 상에 제2소재층을 형성하는 단계와, 넌쉐도우 소재 부품에 보호막을 형성하도록 구멍에 수직인 보호막 소재를 증착하고, 쉐도우 소재 부품에 보호막을 형성하도록 개구부에 임의의 각도로 보호막을 증착하는 단계를 구비하며, 상기 제1횡방향 크기는 소재 부품을 노광하고 제2소재층은 제1횡방향 크기보다 작은 제2횡방향 크기를 가지는 구멍을 규정하며, 제2소재층은 소재 부품을 쉐도우 영역과 넌쉐도우 영역으로 분리하도록 개구부에 적어도 하나의 소재 부품을 씌우는 것을 특징으로 하는 지지 기판 상에 위치한 소재 부품에 보호막을 씌우는 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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