KR970012001A - 마스크 제조방법 - Google Patents
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Abstract
마스크 제조방법이 개시되어 있다. 본 발명은 마스크 제조방법에 있어서, 마스크 기판의 한 쪽 표면에 크롬패턴을 형성하는 단계; 및 상기 크롬패턴이 형성된 마스크 기판의 일정 부분 표면에 표면손상층을 형성하는 단계를 구비하여, 상기 표면 손상층을 통과하는 빛의 투과율을 저하시키는 것을 특징으로 하는 마스크 제조방법을 제공한다.
본 발명에 의하면, 표면이 낮은 부위와 표면이 높은 부위에 사진공정에 의한 감광막패턴 형성시 그 폭을 일정하게 형성 할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3A도 내지 제 3C도는 볼 발명의 일 실시예에 의한 마스크의 제조방법 및 이를 사용하여 반도체기판에 감광막 패턴을 형성한 결과를 보여주는 단면도들이다.
Claims (2)
- 마스크 제조방법에 있어서, 마스크기판의 한 쪽 표면에 크롬패턴을 형성하는 단계; 및 상기 크롬패턴이 형성된 마스크기판의 일정 부분 표면에 표면손상층을 형성하는 단계를 구비하여, 상기 표면손상층을 통과하는 빛의 투과율을 저하시키는 것을 특징으로 하는 마스크 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 표면손상층은 전자 빔 또는 RIE공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조방법.※ 참고 사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950026925A KR970012001A (ko) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 마스크 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950026925A KR970012001A (ko) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 마스크 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970012001A true KR970012001A (ko) | 1997-03-29 |
Family
ID=66595508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950026925A KR970012001A (ko) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 마스크 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970012001A (ko) |
-
1995
- 1995-08-28 KR KR1019950026925A patent/KR970012001A/ko not_active Application Discontinuation
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