KR970016777A - 도트 패턴을 갖는 마스크 - Google Patents
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
포토 마스크 제작시 마스크의 중앙에 도트 형태의 크롬 패턴을 삽입하여 마스킹 작업을 수행하게 되면, 마스크 중앙의 인텐서티를 낮추어 주게 되어서, 이 마스크로써 포토 리소그라피 공정을 수행하게 되면 웨이퍼의 임계면적을 개선하여 보다 작은 콘택을 제작할 수 있으며, 한계에 도달한 대구경비(Numerical Aperture)를 극복한 고해상도의 미세 패턴을 제적할 수 있게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2a도 내지 제 2c도는 본 발명에 의한 포토 마스크 제조 방법.
Claims (2)
- 투광 영역과 차광 영역을 갖는 마스크에 있어서, 투광 영역 중앙에 도트 형태의 차광 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 도트 패턴을 갖는 마스크.
- 제 1항에 있어서, 차광 수단은 크롬으로 된 것을 특징으로 하는 도트 패턴을 갖는 마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950031785A KR970016777A (ko) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 도트 패턴을 갖는 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950031785A KR970016777A (ko) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 도트 패턴을 갖는 마스크 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970016777A true KR970016777A (ko) | 1997-04-28 |
Family
ID=66616374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950031785A KR970016777A (ko) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 도트 패턴을 갖는 마스크 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970016777A (ko) |
-
1995
- 1995-09-26 KR KR1019950031785A patent/KR970016777A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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WITN | Withdrawal due to no request for examination |