KR960005754A - 포토마스크 - Google Patents
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- KR960005754A KR960005754A KR1019940017982A KR19940017982A KR960005754A KR 960005754 A KR960005754 A KR 960005754A KR 1019940017982 A KR1019940017982 A KR 1019940017982A KR 19940017982 A KR19940017982 A KR 19940017982A KR 960005754 A KR960005754 A KR 960005754A
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
본 발명은 커패시터 모듈(module)형성에 이용 가능한 포토마스크에 관한 것으로, 크롬영역(10)과 비크롬영역(20)으로 이루어지는 포토마스크에 있어서, 상기 비크롬영역(20)의 중앙부에 집중되는 노광에너지를 완화시키기 위해 상기 비크롬영역(20)의 중앙부에 미세 크롬영역(50)을 형성하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도는 본 발명의 일실시예에 따라 형성된 다크필드마스크이다.
제2B도는 본 발명의 일실시예에 따라 형성된 마스크 패턴과 등광선을 나타낸 평면도이다.
Claims (1)
- 크롬영역(10)과 비크롬영역(20)으로 이루어지는 포토마스크에 있어서, 상기 비크롬영역(20)의 중앙부에 집중되는 노광에너지를 완화시키기 위해 상기 비크롬영역(20)의 중앙부에 미세 크롬영역(50)을 형성하는 것을 특징으로 하는 포토마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940017982A KR960005754A (ko) | 1994-07-25 | 1994-07-25 | 포토마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940017982A KR960005754A (ko) | 1994-07-25 | 1994-07-25 | 포토마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960005754A true KR960005754A (ko) | 1996-02-23 |
Family
ID=66689182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940017982A KR960005754A (ko) | 1994-07-25 | 1994-07-25 | 포토마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960005754A (ko) |
-
1994
- 1994-07-25 KR KR1019940017982A patent/KR960005754A/ko not_active Application Discontinuation
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |