KR970048968A - 정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조 - Google Patents
정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조 Download PDFInfo
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- KR970048968A KR970048968A KR1019950046861A KR19950046861A KR970048968A KR 970048968 A KR970048968 A KR 970048968A KR 1019950046861 A KR1019950046861 A KR 1019950046861A KR 19950046861 A KR19950046861 A KR 19950046861A KR 970048968 A KR970048968 A KR 970048968A
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- KR
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- filter film
- polarizing filter
- mask structure
- standing wave
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Abstract
본 발명은 정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조에 관한 것이다.
본 발명은 마스크기판상에 형성된 소정의 패턴의 주위에 편광 필터막이 형성된 것을 특징으로 하는 정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조를 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 마스크구조.
Claims (2)
- 마스크기판상에 형성된 소정의 패턴의 주위에 편광 필터막이 형성된 것을 특징으로 하는 정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조.
- 제1항에 있어서, 상기 편광필터막은 상기 패턴이 형성된 기판면에 형성하거나 패턴이 형성된 면과 그 뒷면에 형성하는 것을 특징으로 하는 정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950046861A KR970048968A (ko) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950046861A KR970048968A (ko) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970048968A true KR970048968A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66592729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950046861A KR970048968A (ko) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 정상파 효과를 감소시키기 위한 편광필터막을 갖춘 마스크구조 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970048968A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100508075B1 (ko) * | 1997-12-04 | 2005-11-11 | 삼성전자주식회사 | 포토마스크 |
-
1995
- 1995-12-05 KR KR1019950046861A patent/KR970048968A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100508075B1 (ko) * | 1997-12-04 | 2005-11-11 | 삼성전자주식회사 | 포토마스크 |
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