KR940016578A - 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크 - Google Patents
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- KR940016578A KR940016578A KR1019920026897A KR920026897A KR940016578A KR 940016578 A KR940016578 A KR 940016578A KR 1019920026897 A KR1019920026897 A KR 1019920026897A KR 920026897 A KR920026897 A KR 920026897A KR 940016578 A KR940016578 A KR 940016578A
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Abstract
본 발명은 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크에 있어서, 포토마스크 상에 형성되어지는 얼라인먼트 입력 마크를 X축과 Y축 각각에 대하여 격자모양으로 중복 배치하는 것을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 종래의 얼라인먼트 마크 형성도, 제 2 도는 본 발명의 일실시예에 따른 얼라인먼트 마크 형성도.
Claims (1)
- 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크에 있어서, 포토마스크 상에 형성되어지는 얼라인먼트 입력 마크를 X축과 Y축 각각에 대하여 격자모양으로 중복 배치하는 것을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019920026897A KR940016578A (ko) | 1992-12-30 | 1992-12-30 | 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019920026897A KR940016578A (ko) | 1992-12-30 | 1992-12-30 | 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR940016578A true KR940016578A (ko) | 1994-07-23 |
Family
ID=67215268
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019920026897A KR940016578A (ko) | 1992-12-30 | 1992-12-30 | 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR940016578A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101462074B1 (ko) * | 2008-01-11 | 2014-11-17 | 상에이 기켄 가부시키가이샤 | 노광에 이용되는 포토마스크 |
-
1992
- 1992-12-30 KR KR1019920026897A patent/KR940016578A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101462074B1 (ko) * | 2008-01-11 | 2014-11-17 | 상에이 기켄 가부시키가이샤 | 노광에 이용되는 포토마스크 |
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