KR940016578A - 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크 - Google Patents

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KR940016578A
KR940016578A KR1019920026897A KR920026897A KR940016578A KR 940016578 A KR940016578 A KR 940016578A KR 1019920026897 A KR1019920026897 A KR 1019920026897A KR 920026897 A KR920026897 A KR 920026897A KR 940016578 A KR940016578 A KR 940016578A
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photomask
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exposure machine
investigate
investigating
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KR1019920026897A
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황준
Original Assignee
김주용
현대전자산업 주식회사
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  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Abstract

본 발명은 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크에 있어서, 포토마스크 상에 형성되어지는 얼라인먼트 입력 마크를 X축과 Y축 각각에 대하여 격자모양으로 중복 배치하는 것을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크에 관한 것이다.

Description

노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 종래의 얼라인먼트 마크 형성도, 제 2 도는 본 발명의 일실시예에 따른 얼라인먼트 마크 형성도.

Claims (1)

  1. 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크에 있어서, 포토마스크 상에 형성되어지는 얼라인먼트 입력 마크를 X축과 Y축 각각에 대하여 격자모양으로 중복 배치하는 것을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920026897A 1992-12-30 1992-12-30 노광기의 성능을 조사할 수 있는 포토마스크 KR940016578A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101462074B1 (ko) * 2008-01-11 2014-11-17 상에이 기켄 가부시키가이샤 노광에 이용되는 포토마스크

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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