KR940016446A - 포토마스크를 이용한 노광기의 성능 측정방법 - Google Patents
포토마스크를 이용한 노광기의 성능 측정방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 포토마스크를 이용한 노광기의 성능 측정방법에 있어서, 자 버니어를 갖는 포토마스크와 모 버니어를 갖는 포토마스크를 형성하는 제 1 단계와, 상기 형성한 자 버니어와 모 버니어를 갖는 각각의 포토마스크를 중첩하여 현상하는 제 2 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크를 이용한 노광기의 성능 측정방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 모 버니어 형성도. 제 2 도는 자 버니어 형성도, 제 3 도는 모 버니어와 자 버니어를 중첩하여 현상한 패턴 형성도, 제 4 도는 선폭 측정 패턴과 함께 자 버니어와 모 버니어 형성도.
Claims (2)
- 포토마스크를 이용한 노광기의 성능 측정방법에 있어서, 자 버니어를 갖는 포토마스크와 모 버니어를 갖는 포토마스크를 형성하는 제 1 단계와, 상기 형성한 자 버니어와 모 버니어를 갖는 각각의 포토마스크를 중첩하여 현상하는 제 2 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크를 이용한 노광기의 성능 측정방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 자 버니어 및 모 버니어를 선폭 측정 패턴과 함께 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크를 이용한 노광기의 성능 측정방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR940016446A true KR940016446A (ko) | 1994-07-23 |
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ID=67214900
Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940016446A (ko) |
-
1992
- 1992-12-30 KR KR1019920026887A patent/KR940016446A/ko not_active Application Discontinuation
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