KR950704805A - 초점평가용 패턴 및 초점평가 방법(A Focal Point Evaluation for the pattern and the Method Thereof) - Google Patents

초점평가용 패턴 및 초점평가 방법(A Focal Point Evaluation for the pattern and the Method Thereof)

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KR950704805A
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Abstract

그 주위가 스텝퍼의 해상(解喪) 한계 이하의 미세패턴 혹은 해상 한계 이하의 거리 이간된 미세패턴이 있는 레티클을 사용하여 여러가지의 웨이퍼 위치에서 웨이퍼 상에 그 패턴을 전사하고, 그 패턴치수를 측정하도록 했기 때문에 베스트 포커스 위치(초점이 맞는 웨이퍼 위치)가 쉽게 판정할 수 있다.

Description

초점평가용 패턴 및 초점평가 방법(A Focal Point Evaluation for the Pattern and the Method Thereof)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1의 초점평가용 레티클 패턴을 표시하는 도면, 제2도는 제1도의 레티클 패턴의 전사(轉瀉)패턴을 표시하는 도면, 제3도는 웨이퍼 위치와 전사패턴의 X측 방향 치수와의 관계를 표시하는 도면, 제4도는 웨이퍼 위치와 전사패턴의 X축 방향 치수와의 관계를 모식적으로 표시하는 도면, 제5도는 본 발명의 제2의 초점평가용 레티클 패턴을 표시하는 도면, 제6도는 제5도의 레티클 패턴의 전사패턴을 표시하는 도면.

Claims (7)

  1. 제1의 패턴부와, 상기 제1의 패턴부의 끝부(端部)의 최소한 일부에 해상 한계 이하의 선폭으로 그려진 제2의 패너부와를 가지는 것을 특징으로 초점평가용 패턴.
  2. 1의 패턴부와, 상기 제1의 패턴부의 끝부의 최소한 일부에 인접하여 그려진 제2의 패턴부이며, 해상 한계 이하의 간격으로 이간하여 배치된 적어도 2개의 미세패턴을 가지는 제2의 패턴과를 가지는 것을 특징으로 하는 초점평가용 패턴.
  3. 제1항 및 제2항에 있어서, 상기 제1의 패턴부가 구형모양인 것을 특징으로 하는 초점평가용 패턴.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제2의 패턴부가 삼각모양인 것을 특징으로 하는 초점평가용 패턴.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2의 구형모양인 것을 특징으로 하는 초점평가용 패턴.
  6. 제1항 및 제2항에 있어서, 상기 제2의 패턴부가 상기 제1의 패턴부의 전주변에 걸쳐서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 초점평가용 패턴.
  7. 제1의 패턴부와, 상기 제1의 패턴부의 끝부의 최소한 일부에 해상 한계 이하의 선폭으로 그려진 제2의 패턴부와를 가진 초점맞추기 패턴을 웨이퍼 상에 전사하는 공정에 있어서, 상기 초점평가용 패턴과, 상기 웨이퍼간의 거리를 변화시켜서 복수회 전사하는 공정과, 상기 복수회의 전사로 상기 웨이퍼 상에 전사된 각 전사패턴의 제1의 끝부에서, 상기 제2의 패턴부에 대응하는 제2의 끝부까지의 거리를 측정하는 공정과를 가지는 것을 특징으로하는 초점평가방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950702365A 1993-10-13 1994-10-12 초점평가용패턴및초점평가방법 KR100313191B1 (ko)

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