KR970048935A - 포토마스크 제작방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 포토마스크 제작방법에 있어서, 각 다이(1)를 구분하는 스크라이브 레인(3)의 각 모서리에 버니어(4)를 형성하되 각 다이(1) 사이에 형성되는 스크라이브 레인(3)의 교차 지역에서 상기 각모서리에 형성된 버니어(4)의 조합에 의해 일정모양으로 가지도록 형성하는 단계; 및 상기 스크라이브 레인의 교차 지역에 형성된 버니어의 조합에 의한 일정모양의 변형을 검사하여 노광공정의 에러를 검출하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 포토마스크의 평면도,
제2도는 본 발명에 따른 포토마스크의 버니어의 형성도,
제3도는 본 발명에 따른 포토마스크를 사용하여 패턴 정확도를 검출하는 일예시도.
Claims (3)
- 포토마스크 제작방법에 있어서, 각 다이를 구분하는 스크라이브 레인의 각 모서리에 버니어를 형성하되 각 다이 사이에 형성되는 스크라이브 레인의 교차 지역에서 상기 각 모서리에 형성된 버니어의 조합에 의해 일정모양을 가지도록 형성하는 단계; 및 상기 스크라이브 레인의 교차 지역에 형성된 버니어의 조합에 의한 일정모양의 변형을 검사하여 노광공정의 에러를 검출하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을특징으로하는 포토마스크 제작방법.
- 제1항에 있어서, 상기 스크라이브 레인의 각 모서리에 형성된 버니어는 위치를 파악할 수 있도록 특정마크를 갖는 것을 특징으로 하는 포토마스크 제작방법.
- 제1항에 있어서, 상기 버니어의 선폭은 2∼5㎛인 것을 특징으로 하는 포토마스크 제작방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950062138A KR970048935A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 포토마스크 제작방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950062138A KR970048935A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 포토마스크 제작방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970048935A true KR970048935A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66620630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950062138A KR970048935A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 포토마스크 제작방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970048935A (ko) |
-
1995
- 1995-12-28 KR KR1019950062138A patent/KR970048935A/ko not_active Application Discontinuation
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