KR970002455A - 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크 - Google Patents
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- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/38—Masks having auxiliary features, e.g. special coatings or marks for alignment or testing; Preparation thereof
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Abstract
본 발명은 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크에 관하여 개시된다.
본 발명은 횡방향으로 형성되는 제1레이어와 종방향으로 형성되는 제2레이어 각각에 중첩되도록 제3레이어를 형성할 때, 횡방향으로 레이어를 형성시킬 포토마스크에는 횡방향의 버니어를 형성하고, 종방향으로 레이어를 형성시킬 포토마스크에는 종방향의 버니어를 형성하고, 횡방향 레이어 및 종방향 레이어 각각에 중첩될 레이어를 형성시킬 포토마스크에는 자 버니어를 형성한다. 모 버니어는 횡 방향 버니어와 종방향 버니어에 의해 형성된다.
따라서, 본 발명은 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 공정의 용이성으로 생산력을 증대시키며, 중첩도 실패에 의한 재 작업 및 웨이퍼 손실을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 제1, 2 및 3포토마스크를 사용하여 웨이퍼상에 형성되는 모 버니어 밍 자 버니어의 평면도.
Claims (3)
- 횡방향으로 형성되는 제1레이어와 종방향으로 형성되는 제2레이어 각각에 중첩되도록 제3레이어를 형성할 때 사용되는 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크에 있어서, 횡방향으로 형성되는 상기 제1레이어를 형성시킬 포토마스크에는 횡방향 버니어가 형성되는 제1포토마스크와, 종방향으로 형성되는 상기 제2레이어를 형성시킬 포토마스크에는 종방향 버니어가 형성되는 제2포토마스크와, 상기 제1 및 2레이어 각각에 중첩되도록 형성되는 상기 제3레이어를 형성시킬 포토마스크에는 자 버니어가 형성되는 제3포토마스크와, 상기 제1, 2 및 3포토마스크의 조합에 의해 모 버니어와 자 버니어가 중첩되도록 하는 것을 특징으로 하는 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 모 버니어는 상기 횡방향 버니어와 상기 종방향 버니어의 중첩된 부분인 것을 특징으로 하는 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 모 버니어는 상기 자 버니어보다 큰 것을 특징으로 하는 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950016418A KR0172753B1 (ko) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950016418A KR0172753B1 (ko) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970002455A true KR970002455A (ko) | 1997-01-24 |
| KR0172753B1 KR0172753B1 (ko) | 1999-03-20 |
Family
ID=19417583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950016418A KR0172753B1 (ko) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | 멀티-레이어 중첩을 위한 포토마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0172753B1 (ko) |
-
1995
- 1995-06-20 KR KR1019950016418A patent/KR0172753B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0172753B1 (ko) | 1999-03-20 |
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