KR920003407A - 스컴(scum)방지용 라인을 형성한 레티클(Reticle) - Google Patents
스컴(scum)방지용 라인을 형성한 레티클(Reticle) Download PDFInfo
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- KR920003407A KR920003407A KR1019900011094A KR900011094A KR920003407A KR 920003407 A KR920003407 A KR 920003407A KR 1019900011094 A KR1019900011094 A KR 1019900011094A KR 900011094 A KR900011094 A KR 900011094A KR 920003407 A KR920003407 A KR 920003407A
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도의 (가)는 본 발명 레티클을 도시한 도면, (나)는 본 발명 레티클로 회로를 웨이퍼상에 인쇄하는 과정을 설명하기 위한 도면, (다)는 제2도의 (나)도면에서 X부분만을 확대하여 도시한 확대도이다.
Claims (1)
- 레티클(1)에 테스트칩(4)과 메인칩(2)의 포맷(format)을 디자인하되, 테스트칩(4)의 상하좌우 주위에 스크라이브선(3)을 형성하고, 메인칩(2) 각각의 상하좌우 주위에 스크라이브선(3)을 다지인하되 가장 윗쪽횡에 있는 메인칩(2)들의 윗쪽에 존재하는 스크라이브선(3)이 스컴(scum)방지용 라인(6)의 기능을 하도록 스컴방지용 라인을 형성한 레티클.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900011094A KR920003407A (ko) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 스컴(scum)방지용 라인을 형성한 레티클(Reticle) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900011094A KR920003407A (ko) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 스컴(scum)방지용 라인을 형성한 레티클(Reticle) |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920003407A true KR920003407A (ko) | 1992-02-29 |
Family
ID=67538962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900011094A KR920003407A (ko) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | 스컴(scum)방지용 라인을 형성한 레티클(Reticle) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920003407A (ko) |
-
1990
- 1990-07-20 KR KR1019900011094A patent/KR920003407A/ko not_active IP Right Cessation
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Legal Events
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