KR960008985A - 반도체 소자 제조용 포토마스크 - Google Patents
반도체 소자 제조용 포토마스크 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 소자 제조용 포토마스크에 관한 것으로, 포토마스크내의 스크라이브 라인에 다수의 레졸루션 챠트를 삽입하여 포커스 상태를 모니터링하여 레벨링 보정을 용이하게 할 수 있도록 한 포토마스크에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 포토마스크 평면도.
Claims (3)
- 레벨링 보정을 용이하게 하기 위한 반도체 소자 제조용 포트마스크에 있어서, 프로덕션 다이(1) 주변의 스크라이브 라인(2)내에 다수의 레졸루션 챠트(3)가 삽입형성된 것을 특징으로 하는 포토마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 레졸루션 챠트(3)는 스크라이브 라인(2)의 사각 모서리에 각각 삽입형성된 것을 특징으로 하는 포토마스크.
- 제1 또는 2항에 있어서, 상기 레졸루션 챠트(3)는 다수의 도트 또는 다수의 홀로 형성된 것을 특징으로 하는 포토마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940020116A KR960008985A (ko) | 1994-08-16 | 1994-08-16 | 반도체 소자 제조용 포토마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940020116A KR960008985A (ko) | 1994-08-16 | 1994-08-16 | 반도체 소자 제조용 포토마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960008985A true KR960008985A (ko) | 1996-03-22 |
Family
ID=66697805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940020116A KR960008985A (ko) | 1994-08-16 | 1994-08-16 | 반도체 소자 제조용 포토마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960008985A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100512839B1 (ko) * | 2001-03-29 | 2005-09-07 | 가부시끼가이샤 도시바 | 반도체 장치의 제조 방법 |
-
1994
- 1994-08-16 KR KR1019940020116A patent/KR960008985A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100512839B1 (ko) * | 2001-03-29 | 2005-09-07 | 가부시끼가이샤 도시바 | 반도체 장치의 제조 방법 |
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