KR980003791A - 하프톤 위상 반전 마스크 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 하프톤 위상 반전 마스크에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 마스크는 유리판이 있고 상기 유리판 전면에 위상 반전층이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명에 의한 마스크를 사용하면, 실제공정에서 사이드 로브패턴이 형성될 수 있는 환경을 피할 수 있으므로 효과적으로 HTPSM를 사용할 수 있다. 또한, 감광막 패터닝 공정을 원활히 수행할 수 있고 감광막의 손실을 막을 수 있으므로 경제적은 공정이 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도 내지 제8도는 본 발명의 제2실시예에 의한 하프톤 위상 반전 마스크 제조방법의 일 실시예를 단계별로 나타낸 도면들이다.
제9도 내지 제11도는 본 발명의 제2실시예에 의한 하프톤 위상 반전 마스크 제조방법의 다른 실시예를 단계별로 나타낸 도면들이다.
Claims (2)
- 유리판과 상기 유리판 전면에 형성된 위상 반전층을 구비하는 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 반전 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 위상 반전층 상에는 상기 위상반전층의 중앙을 노출시키는 크롬층 패턴을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 하프톤 위상 반전 마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023985A KR980003791A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 하프톤 위상 반전 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023985A KR980003791A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 하프톤 위상 반전 마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980003791A true KR980003791A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960023985A KR980003791A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 하프톤 위상 반전 마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980003791A (ko) |
-
1996
- 1996-06-26 KR KR1019960023985A patent/KR980003791A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |