KR960035144A - 부분 투광성 위상반전 마스크 - Google Patents

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KR960035144A
KR960035144A KR1019950006349A KR19950006349A KR960035144A KR 960035144 A KR960035144 A KR 960035144A KR 1019950006349 A KR1019950006349 A KR 1019950006349A KR 19950006349 A KR19950006349 A KR 19950006349A KR 960035144 A KR960035144 A KR 960035144A
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KR
South Korea
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partially transmissive
mask
intensity
transmissive phase
phase inversion
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Application number
KR1019950006349A
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English (en)
Inventor
김흥일
안창남
허익범
Original Assignee
김주용
현대전자산업 주식회사
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  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Abstract

본 발명은 위상반전 마스크를 사용한 리소그래픽 공정시 마스크의 정렬 불량으로 인한 패턴 불량을 방지하기 위한 부분 투광성 위상반전 마스크에 관한 것으로, 투명기판 위에 실질적인 노광에 기여하는 강도의 빛을 통과시키는 투광부와 실질적인 노광에 기여하지 않는 강도의 빛을 통과시키는 부분 투광부로 구성되는 부분 투광성위상반전 마스크에 있어서, 원하는 부분의 투광률을 감소시키기 위한 보조 패턴을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

부분 투광성 위상반전 마스크
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5A도는 본 발명의 일실시예에 따른 위상반전 마스크의 평면도, 제5B도는 제5A도에서 반복되는 최소 단위면적을 상세하게 나타낸 평면도.

Claims (2)

  1. 투명기판 위에 실질적인 노광에 기여하는 강도의 빛을 통과시키는 투광부와 실질적인 노광에 기여하지 않는 강도의 빛을 통과시키는 부분 투광부로 구성되는 부분 투광성 위상반전 마스크에 있어서, 원하는 부분의 투광률을 감소시키기 위한 보조 패턴을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 부분 투광성 위상반전 마스크.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보조 패턴은 투광부와 진폭(T)값의 제곱근에 부분 투광부를 곱한 값이 동일하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 부분 투광성 위상반전 마스크.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950006349A 1995-03-24 1995-03-24 부분 투광성 위상반전 마스크 KR960035144A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100546269B1 (ko) * 1998-03-03 2006-04-21 삼성전자주식회사 하프톤 위상반전마스크 및 그 제조방법

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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