KR960035144A - 부분 투광성 위상반전 마스크 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 위상반전 마스크를 사용한 리소그래픽 공정시 마스크의 정렬 불량으로 인한 패턴 불량을 방지하기 위한 부분 투광성 위상반전 마스크에 관한 것으로, 투명기판 위에 실질적인 노광에 기여하는 강도의 빛을 통과시키는 투광부와 실질적인 노광에 기여하지 않는 강도의 빛을 통과시키는 부분 투광부로 구성되는 부분 투광성위상반전 마스크에 있어서, 원하는 부분의 투광률을 감소시키기 위한 보조 패턴을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5A도는 본 발명의 일실시예에 따른 위상반전 마스크의 평면도, 제5B도는 제5A도에서 반복되는 최소 단위면적을 상세하게 나타낸 평면도.
Claims (2)
- 투명기판 위에 실질적인 노광에 기여하는 강도의 빛을 통과시키는 투광부와 실질적인 노광에 기여하지 않는 강도의 빛을 통과시키는 부분 투광부로 구성되는 부분 투광성 위상반전 마스크에 있어서, 원하는 부분의 투광률을 감소시키기 위한 보조 패턴을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 부분 투광성 위상반전 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 보조 패턴은 투광부와 진폭(T)값의 제곱근에 부분 투광부를 곱한 값이 동일하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 부분 투광성 위상반전 마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950006349A KR960035144A (ko) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 부분 투광성 위상반전 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950006349A KR960035144A (ko) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 부분 투광성 위상반전 마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960035144A true KR960035144A (ko) | 1996-10-24 |
Family
ID=66553068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950006349A KR960035144A (ko) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 부분 투광성 위상반전 마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960035144A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100546269B1 (ko) * | 1998-03-03 | 2006-04-21 | 삼성전자주식회사 | 하프톤 위상반전마스크 및 그 제조방법 |
-
1995
- 1995-03-24 KR KR1019950006349A patent/KR960035144A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100546269B1 (ko) * | 1998-03-03 | 2006-04-21 | 삼성전자주식회사 | 하프톤 위상반전마스크 및 그 제조방법 |
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